[영상] SK트리켐, D램 하프늄 프리커서 특허무효심판 승소

<인터뷰 원문>

진행 디일렉 이수환 전문기자, 이도윤 편집국장
출연 디일렉 한주엽 대표

-오늘 마지막 순서입니다. 한주엽 대표 모셨습니다. 안녕하십니까. “안녕하십니까.” -오늘 하프늄(Hf) 관련해서 특허 관련 얘기를 하실 거죠? 어떤 내용입니까? “D램의 하이K(High-k, 고유전율) 물질들을 커패시터에 바른다라는 내용들은 이미 저희가 유튜브를 통해서 굉장히 많은 내용을 전해드렸고. 왜 바르는지 어떤 물질들로 진화되어 왔는지에 대해서 얘기를 했고. 현 세대에 지금 계속 늘어나고 있는 선단 공정의 D램에서는 하이K 물질로 하프늄(Hf)을 바릅니다. 하프늄(Hf)만 바르는 건 아니고 정확하게 얘기하면 지르코늄(Zr) 바르고 알루미늄(Al) 바르고 하프늄(Hf) 바르고 알루미늄(Al) 바르고. 그다음에 타이타늄(Ti)을 발라서 마무리하는 공정인데. 그전에 지르코늄(Zr)만 쓸 때는 하프늄(Hf) 자리에 지르코늄(Zr)을 썼었죠. 그런데 중간에 하프늄(Hf)으로 재료가 바뀌고. 그건 여러 가지 물질 특성들이 있으니까 하프늄(Hf)을 쓰게 된 지 시간이 좀 됐고요. 특허를 일본의 트리케미칼이 갖고 있습니다.” -SK랑 합작사 했던 그 트리켐이죠? “SK머트리얼스랑 합작사. SK트리켐을 만든 일본의 트리케미칼이 그 하프늄(Hf) 특허에 대해서 갖고 있고 원천 특허죠. 원천 특허를 갖고 있고. 그 특허의 국내 실시권은 SK트리켐이 가지고 있는데. 작년인가요? 지금은 머크에 인수된 당시에는 버슘머트리얼즈(현재 머크, 이하 버슘)이라는 회사. 버슘머트리얼스가 무효 소송을 걸어요.” -일본 트리케미칼을 상대로 넣은 거죠? “SK트리켐을 상대로 소송을 건 것으로.” -국내 법원에. “네. 특허심판원에 특허 무효를 신청을 했는데 그 결과가 나왔습니다.” -원래 올해 2월에 보면 나온다고 하지 않았나요? “그때 공판하고 이렇게 진행하는 과정이었고요. 결과가 지난달 말일 제가 지난주에 제가 전화를 받았으니까 빨리 전해드렸어야 되는데. 저희가 그때 디엔에프하고 솔브레인 얘기도 있고 해서 이거 한번 확인되면 이거 쓰고 연관된 내용들이니까 같이 얘기하면 좋겠다 싶어서 좀 묵혀놨는데. 오늘 그냥 얘기하시죠. 그래서 SK트리켐이 이겼어요. 무효 신청이 기각이 되었다. 기각이 되었고. 기각된 이유는 거기서 인정이 안 되니까 인용 안 해주고 기각을 시켰고 머크 쪽에서는 항소. 다시 재심을 요구할지에 대해서 지금 내부 논의를 하고 있다고 합니다. 그런데 저희가 예전에 몇 번 기사로 얘기를 했는지 영상으로 얘기했는지. 이 복잡한 D램 하이K 재료 시장의 역학 구도에 대해서 여러 번 말씀을 드렸는데. 크게 보면 지금 하이K 프리커서를 쓰는 회사는 국내 2개죠. 삼성전자와 SK하이닉스가 쓰고 있고 삼성전자는 아데카라는 일본 회사로부터 하프늄(Hf). 지금 하프늄(Hf)만 말씀드리는 겁니다. 지르코늄(Zr) 같은 경우는 아데카와 디엔에프까지 같이 공급을 했고요. 하프늄(Hf) 같은 경우는 어쨌든 아데카로부터만 받고 있고. SK하이닉스는 SK트리켐이 당연히 단독 공급을 하고 있죠. 작년에 SK트리켐 매출이 2200억원 정도 됐는데 그중에 1500억원이 하프늄(Hf) 매출이라고 그래요.” -하이닉스로 공급하는. “엄청난 매출이죠. 근데 이제 D램 캐파로 봤을 때는 삼성전자가 하이닉스보다 캐파가 훨씬 많은데 사용량은 훨씬 적어요. 왜 적냐? 프리커서를 증착시키는 그 장비의 어떤 형태가 삼성전자 같은 경우는 여러 개를 한 번에 넣어서 한 번에 빵 하는 퍼니스 타입이고 SK하이닉스는 원익이나 주성 장비로 한 장씩 돌리는 배치 타입이라고 해야 됩니까? 그런 차이여서 물질 사용량은 하이닉스가 훨씬 더 많다는 것이고요. 그래서 당연히 SK하이닉스의 프리커서 시장이 훨씬 크다 라고 얘기할 수 있는데. 문제는 하프늄(Hf) 특허는 일본의 트리케미칼이 갖고 있고 국내 실시권은 SK트리켐이 가지고 있는데. 삼성전자는 아데카 거를 그냥 썼단 말이죠. 그 썼던 거에 대해서는 아마 그냥 무시했던 것 같아요.” -그럼 원래 아데카는 트리케미칼로부터 어떠한 특허 관련 컴플레인이나 이런 건 없었어요? “일단 삼성 상대로는 트리케미칼 쪽에서는 걸지 못했고 SK트리켐도 걸지 않고 있었어요. 왜 그랬는지 모르겠지만 삼성도 저 정도 특허면 우리가 무효시키려면 시킬 수 있을 것 같다라는 생각을 했는지 어쨌는지. 또 다른 얘기는 아데카가 일본에서 원재료를 트리케미칼 쪽에 거래가 좀 있어서 고객이기도 하기 때문에 안 건든 거 아니냐. 이런 얘기들이 있었는데. 지금 이제 버슘(현재 머크)죠. 회사 이름이 머크퍼포먼스머티리얼즈로 돼 있는데. 특허심판원에 특허 무효 소송을 걸었다는 얘기를 듣고 삼성이 화들짝 놀랐대요. 왜 긁어부스럼을 만드냐 그냥 쓸 수 있는 걸 쓰고 있고 아무 문제 없는데 만약에 지면 국내에서 특허를 인정해 주는 거 아니냐. 국내 특허심판원이 SK트리켐에 대해서 특허를 공식적으로 인정 짓게 되면 인정해 주는 거 아니냐라고 하면 지금 그렇게 됐거든요. 기각이 됐기 때문에 물론 또 항소할지 여부는 지금 논의 중이라고 하니까. 그렇게 됨으로써 이제 SK트리켐이 삼성을 상대로.” -문제를 삼을 수 있겠네요. “문제를 삼는다기보다 영업의 무기로 활용을 하고 있는 것 같아요. 우리 것도 좀 써주세요. 아데카 것만 쓰지 말고 우리 것도 좀 써주세요 라고 했는데. 저는 사실 이번에 처음 알았는데 삼성에 6대 공정이 있답니다. 반도체 쪽에 6대 공정을 몇 개 말씀드리면 예를 들어서 선택적 식각, 반도체 만들 때 그리고 하크(HARC, High Aspect Ratio Contact)라고 해서 낸드플래시 만들 때 구멍을 깊게 뚫는 이 기술에 대한 재료. 그리고 하이K 재료 이런 6개가 있는데. 이거는 나름 우리만 갖고 있는 핵심적인 아주 차별화된 기술이기 때문에 재료를 공급하면 우리한테만 공급해야 된다라는 계약 그런 게 있대요.” -종신 계약 같은 느낌이네요. “그러니까 우리한테 넣으려면은 SK하이닉스에 넣지 마라 마이크론에 넣지 마라 뭐 이런 거겠죠. 하이K가 그런 물질이고 그러니까 아데카는 마이크론과 하이닉스는 거래가 없거든요. 삼성한테만 공급을 하고 있고 그거에 대해서 삼성은 아데카에 물량을 주고 있고 이런 건데. 디엔에프가 있지만 디엔에프는 또 지분 투자도 했기 때문에 하이닉스랑 거래는 없거든요. 그러니까 트리켐이 그렇게 특허를 갖고 요구를 하고 있긴 하지만 과연 들어갈 수 있을지. 그런데 일단 지금 샘플을 한번 받아보겠다라는 준비 정도는 하고 있는 것으로 저는 이제 파악을 하고 있고요. 만약에 저는 그런 가능성은 좀 그리 크지 않다라고 생각되거든요. 지금 말씀드린 그런 6대 핵심 공정에 대해서 하이닉스에도 공급하고 삼성에도 공급하는 회사는 이때까지 없었기 때문에. 그런 내부 규정을 깰 것인가라는 것은 깨지 않을 것 같다라는 것이고. 근데 만약에 넣게 된다면 SK트리켐 입장에서는 대박이죠.” -대박이네요. “작년에 2200억원 했는데. 그것도 설립된 지 얼마 안 됐는데 매출이 이렇게 올라간 거고. 아무튼 근데 또 항소를 할 것 같은. 단정적으로 얘기하기는 어렵지만 하지 않겠습니까? 칼을 뽑았는데 1심에서 그거 기각됐다고 무효 소송에 대해서 항소를 안 할 것 같지는 않은데 그 내용을 좀 지켜봐야 되는데. 이게 또 재미있는 여러 가지 포인트들이 있는 게 SK트리켐의 하프늄(Hf) 하이K 특허 실시권이 무효화되기를 바라던 여러 회사들이 있었습니다. 여러 회사들. 첫 번째.” -어디입니까? “레이크머티리얼즈라는 회사 지금 상장돼 있죠. 레이크머티리얼즈는 직접 거래를 하고 싶었나 봐요.” -당연히 직거래하고 싶었겠죠. -실시권이 무효가 되면. “무효가 되면 내가 하이닉스에 직접 공급을 하겠노라고 컨택을 했던 여러 가지 정황 증거들 제가 얘기도 듣고 해서 했는데. 무효가 안 돼서 지금 약간 울상인 것 같구요.” -실망을 많이 한 거네요. “근데 뭐 SK트리켐도 돌아가는 상황을 모르지는 않을 테니까. 얼마나 밉겠습니까.” -대안은 있는 건가요? “아니 그래서 지금 트리켐이 공장을 다 지었어요. 내가 직접 이제 만들겠다 해서 그래서 SK하이닉스로부터 퀄 테스트를 지금 신청을 해놓은 상태이고 샘플도 갔고. 근데 아직 퀄은 안 난 것 같고요. 근데 퀄 나면 레이크 물량 줄겠죠.” -레이크는 엄청난 악재네요. “지금 SK트리켐 물량을 직접 자기네들이 만들어서 하이닉스에 공급하기 시작하면 레이크 물량 줄어들 수밖에 없다. 또 다른 얘기는 아까 특허 무효 소송을 건 머크도 사실은 처음에 양쪽 시장을 다 본 거겠죠. 근데 삼성에 공급하려고 봤더니 삼성 얘기가 “야 우리가 6대 공정에 들어가는 재료는 하이닉스에 공급하면 우리한테 공급 못해”라는 걸 이제 알게 됐죠. 근데 아까 제가 말씀드렸다시피 캐파는 삼성이 훨씬 크지만 재료 사용량은 하이닉스가 훨씬 크거든요. 그러니까 머크 입장에서는 “저희는 그렇게 하기 힘들 것 같은데요”라고 해서. 그런데 이제 삼성도 어쨌든 하프늄(Hf) 하이K 물질 사용량이 월에 지금 몇 십억원 정도인데 굉장히 지금 세대가 바뀌고 있기 때문에 물량이 계속 늘어날 거거든요. 아데카 한 곳만 보고 갈 수는 없어요. 지금 지르코늄(Zr) 계열의 하이K 물질도 디엔에프 쪽에도 일부 받듯이 지금 아데카뿐만 아니라 하프늄(Hf)도 딴 데서 받아야 되는데. 그 니즈를 파악한 레이크머티리얼즈가 “저희가 할 수 있습니다”라고.” -서로가 서로에... -막장 드라마. ““저희가 할 수 있습니다”라고 얘기를 했고 삼성이 승인을 한 것 같아요. 했는데 그러면 “하이닉스 물량 다 포기해야 된다.” “포기할 수 있다.” 지금 얘기가 그렇게 된 거예요. 그래서 지금 이게 어떻게 흘러갈지에 대해서는 저는 사실 좀 너무 흥미진진합니다. 이게 지금 특허가 무효가 돼야 되는 것들이거든요. 안 되면 이거 다 안 되는 거죠. 특허가 만약에 무효가 안 되면요. 레이크가 완전 여기저기서 미움털 박힐 수도 있는데. 그거 지금 삼성한테 가서 그런 얘기를 했다라는 것도 하이닉스 쪽에서 다 알고 있는 것 같아요.” -그렇겠죠. “레이크가 하이K 하프늄(Hf)만 하는 게 아니거든요 레이크가 지르코늄(Zr)도 해요. 그것을 또 트리켐에도 넣고 있고 지르코늄(Zr)계는 머크에도 공급을 일부 하고 있는 것도 있는데 하이닉스로 가는 물량인데. 삼성에 만약에 특허가 무효가 돼서 삼성으로 고객사를 잘 갈아타면 다행이지만 무효가 안 되면 이 미운털을 어떻게 뽑을 것인가에 대한... 하여튼 재밌어요. 지금 단기적으로는 좀 안 좋을 것 같긴 해요. 지금 레이크머티리얼즈가 SK트리켐에 하이닉스향으로 공급하는 그 하프늄(Hf) 물질은 트리켐이 직접 하겠다라고 지금 하고 있고. 근데 지금 또 하나 또 변수가 있는 것이 솔브레인입니다. 솔브레인과 디엔에프죠. 어제 우리가 그 디엔에프를 솔브레인이 품는다. 그래서 제가 여기저기 좀 찾아보니까 또 하이K 하프늄(Hf) 물질에 대한 특허를 일본의 트리케미칼이랑 같이 썼다라고 돼서 그런 거에 대한 호재가 아니겠는가라고 얘기를 했지만 이 역시도 실시권이 없대요.” -특허만 같이 갖고 있는 거예요? “아니 그러니까 저는 왜 그렇게 했는지 모르겠는데. 특허 문서에 이름은 같이 올려져 있는데 솔브레인이. 그것의 권리를 주장할 수 있는 실시권을 가지고 있지 않다라고 저는 취재 결과 왜 그렇게 했는지 모르겠어요. 아마 실무선에서 그냥 “어쨌든 뭐 이래저래 같이 한 거니까 이름만 올려줘 실시권은 우리가 주장하지 않겠어” 라고 그렇게 한 건지 그래 그러면 이제 밖에서 봤을 때 내가 특허권 했다 했는데 '앙꼬 없는 찐빵'처럼 그냥 눈 가리고 아웅하려고 그렇게 이름을 올린 건지 어떤 건지 잘 모르겠지만 아무튼 실시권이 없다. 그게 있었으면 여기도 뭘 하려고 해서 공급을 하고 있었을 텐데 못 하고 있거든요. 그러니까 결국은 솔브레인도 머크가 다시 항소를 하면 그 특허가 무효가 되면 팔 수 있고 무효가 안 되면 못 판다.” -결국에는 머크가 항소를 하고 그 결과에 따라서 SK트리켐이 최종 승소를 하게 될 경우. “그러면 SK트리켐은 삼성에는 못 넣지만 하이닉스로 갈 가능성은 열리는 거죠.” -트리켐은 최종 승소를 하게 되면 삼성한테도 입김이 있는 거고 우리 거 써야. “트리켐이 이기면? 그렇죠.” -안 그러면 우리 소송 다 걸어버릴 거야. 이렇게 할 수 있잖아요. 너희 공급하는 데에 대해서. “근데 글쎄요. 그렇게 되면 또 다른 사람들이 몰려들어서 특허 무효 심판을 또 걸지. 근데 한 번 이게 유효하다고 기각이 됐는데 그걸 뒤집을지 잘 모르겠거든요.” -그러니까 뒤집혀지면? “뒤집혀지면 삼성도 편안하고 레이크도 편안하고 솔브레인, 디엔에프도 편안하고 모두가 다 편안하고 트리켐만 불편한 상황이 되는데. 하여튼 이게 지금 이쪽 업계의 굉장한 이슈입니다. 근데 제가 아까 말씀드렸다시피 삼성의 6대 공정 안에 들어가는 재료이거든요. 삼성은 우리가 가장 중요하게 생각하는 이 6개 공정의 재료는 “난 하이닉스랑 공유 안 하겠어”라는 이 내규가 확실하게 서 있기 때문에 트리켐이 이긴다고 해서 과연 트리켐 거를 받을까? 잘 모르겠어요. 이게 너무 재밌어요. 저는 이런 상황들이 그런데 이제 아무튼 특허. 왜 저는 솔브레인이 실시권을 가져오지 못했는가가 일단 하나는 그것은 의문이고. 그건 좀 더 취재를 해봐야 될 것 같고 또 하나는 레이크가 어쨌든 지금 양산 라인을 넣고 있는 거 아니겠습니까? 그러니까 레이크의 실력이 대단히 있다라는 생각이지만 너무 이제 왔다 갔다 하는 부분들이 좀 있어서 그 미운털을 어떻게 잘 뽑아내고 할 수 있을 것인가 그리고 지금 어쨌든 머크가 이 특허를 이겨야지만 솔브레인도 좋고 디엔에프도 좋고 레이크도 좋고 삼성도 좋고 아데카도 좋고 하여튼 모두가 행복해지는 그런 상황입니다.” -세계 평화가 잘 지켜져야 할 텐데... “아니 근데 SK트리켐 입장에서는 뺏길 수 없는 싸움이죠. 작년 매출 중에 2200억원 중에 1500억원 가까이가 하프늄(Hf)에서 나왔는데. 우리가 2배 가까이도 늘릴 수 있는데. 왜냐하면 지금 그 하프늄(Hf) 물량은 계속 늘어나고 있거든요. 지금 10나노대 중반 후반이 지금 매스로 많이 찍히고 있는 D램이 자꾸 이제 내려오면 하프늄(Hf) 이용량이 계속 늘어나기 때문에 이 시장을 놓칠 수는 없다. 그렇게 생각할 것 같습니다.” -항소하더라도 결과 나오기까지는 굉장히 오랜 시간이 걸릴 수밖에 없겠죠? “시간이 더 걸리겠죠. 걸릴 거라고 저는 보고 있습니다.” -오늘 라이브 이상으로 마치도록 하겠습니다. 시청해 주셔서 감사합니다. -고맙습니다.

장현민 PD 다른기사 보기