<인터뷰 원문>
-계속 이어가도록 하겠습니다. 한주엽 대표 모셨습니다. 한 대표님 이번에는 오늘 쓰신 기사예요.
“제가 요즘에 재료 얘기만 계속 쓰거든요.”
-이게 재밌으신가 봐요.
“그렇지는 않고 재료 얘기가 쓰다 보면 어려워요. 어렵긴 한데 이게 또 장비와 재료 산업은 다른 측면이 굉장히 많이 있는 것 같아요. 재료는 한 번 들어가기가 어려워서 그렇지, 들어가면 다음 세대가 될 때까지는 쭉 가는 것이거든요. 그리고 잘했을 때는 그다음 세대도 가는 거고. 또 협업이 잘 이루어지면 다음다음에 갈 거에 대해서 미리 우리가 공동으로 개발을 딱 주면 잘 성공해서 쭉 가는 거죠. 3D 낸드 쪽에 삼성전자가 처음에 상용화한 게 2013년입니까? 하여튼 처음에 2010몇 년도에 3D 낸드 초기 했는데, 그때 삼성이 KrF와 관련된 포토레지스트, 두꺼운 포토레지스트를 동진쎄미켐하고 같이 했는데. 계속 동진쎄미켐 혼자서 단독으로 넣고 있거든요. 물론 일본의 다른 포토레지스트 만드는 회사들이 그 정도를 못 만들어서일 수도 있는데, 이런 식으로 계속 갈 수 있기 때문에 재료는 아무튼 산업 자체가 장비처럼 곡선이 있는 것 같지는 않고. 일부 있긴 하겠지만 덜하죠.”
-그래서 화학이나 제약 쪽이 한번, 큰 기업도 많고요.
“그래서 제가 오늘 얘기하는 건 3D 낸드 플래시에 들어가는 두꺼운 포토레지스트 KrF용. 이게 말씀드리면 노광 공정이 요즘 EUV, EUV 많이 얘기하는데. 이게 130나노 정도까지는 KrF를 많이 썼어요. 이 빛 파장이 248나노미터인데. EUV라고 하는 게 13.5나노미터잖아요. 빛 파장이 짧을수록 더 미세하게 그릴 수 있는 거거든요. 근데 KrF는 130나노까지 했고, 90나노대 접어들면서 ArF 193나노미터짜리. 그리고 이걸로 쭉 오다가 한 30 몇 나노, 40 몇 나노 이렇게 오니까 이것도 해상력이 부족하니까. 그때는 광원으로 바꾼 게 아니고. 중간에 물을 넣어서 그래서 이머전이라고 하는데. 193나노미터 파장을 가지고 있는 그 빛을 물에서 굴절시켜서 해상력을 높인 게 이머전 장비, 그거를 ArF 이머전 장비라고 하는데. 그걸 많이 쓰다가 지금도 ArF 이머전 장비 많이 써요. 여러 공정 레이어에서는, 그러면서 최근에는 D램 같은 경우에는 10나노 초중반대 로직 같은 경우에는 10나노 미만이기 때문에 EUV를 쓰죠. EUV를 100% 다 쓰는 게 아니고. 우리가 칩 하나 만들려면 마스크를 여러 장을 써서 여러 번 레이어를 갖다 찍으면서 회로 패턴을 그리는데. D램의 경우에는 한 4개 레이어, 5개 레이어.”
-삼성 기준이겠네요.
“SK하이닉스도 크게 다르지는 않아요. 대부분 아직은 ArF 에칭 이머전 장비를 쓰고 있는데. 낸드는 위로 쌓아 올리다 보니까, ArF 이런 거 필요 없는 거예요. 삼성은 처음부터 옛날 장비인 KrF로 쌓아 올렸고. 그러니까 그걸로 노광을 했고. 위로 쌓아 올리는 방식으로 면적당 밀도를, 데이터 밀도를 높여왔기 때문에 그때 KrF 쓰면서 당시에 KrF PR도, 포토레지스트도 두꺼운 거를 개발을 했어요. 왜냐하면 이게 낸드 플래시 구조를 옆으로 잘라서 보면 계단식으로 돼 있거든요. 근데 계단이 예를 들어서 100개다. 100개면 100단인데, 이거를 한번 바르고, 빛 쬐고, 깎고, 또 하고. 이게 100번을 하게 되면 시간이 너무 걸리니까. 두껍게 해서 한 번에 한 10~20개씩 하자 해서 두꺼운 PR을, 그래서 삼성은 그렇게 해서 동진쎄미켐하고 계속 협력하고 있었는데. SK하이닉스는 이제까지 아이-라인을 주로 많이 썼다고 해요. KrF보다 훨씬 더 전에 노광 설비들을, 말하자면 예전에 SK하이닉스가 그렇게 마른 수건 쥐어짜는 기법으로 장비 투자 안 하고.”
-맞아요. 자기들이 알아서 하고.
“굉장히 열심히 해서, 하여튼 돈 투자 최소화하면서 막 했는데. 낸드도 그렇게 했던 거예요. 128단까지는 아이-라인 대부분 다 썼고 176단인가요. 거기까지는 대부분 아이-라인 쓰고 일부 크리티컬한 공정 레이어에서만 KrF를 썼는데. 이번에 238단에서는 KrF로 드디어 바뀌어요. 바뀌는데 우리도 이제는 두꺼운 포토레지스트를 해야겠다고 해서 했는데, 기존의 일본 기업들은 못 하고. 이번에 SK머티리얼즈퍼포먼스. 옛날에 2020년도에 SK가, 당시 SK머티리얼즈가 400억원에 인수한 금호석화, 전자소재 사업 부문에서 두께로 치면 15~16마이크로미터(µ) 정도의 아주 두꺼운(thick) KrF PR을 개발했고.”
-그럼 이게 동진쎄미켐하고 같은 급이에요?
“동진쎄미켐도 그렇고, 삼성도 그렇고 우리가 KrF 3D 낸드에 쓰는 KrF PR의 두께가 몇 마이크로미터라고 얘기한 적은 없고. 그건 약간 서로 기밀이라고 생각하는지 없는데, 업계에서는 두께가 15~16마이크로미터면 거의 동등한 수준일 거라고 추정을 하는 것 같습니다. 왜냐하면 JSR 이런 쪽에서 두꺼운 거 개발하려고 했는데 10마이크로미터를 못 넘었다고 해요. 그러니까 한 50% 더 두꺼운 거죠. 두꺼워야 또 계단을 한 번에 빡 찍기가 좋으니까. 제가 듣기로는 퀄 통과했고요. 12월에 시양산 준비하고 있는 것 같아요.”
-12월에? 그러니까 다음 달이네요?
“그리고 내부에서는 이 물량은, 그러니까 두꺼운 거는 SKMP, 그러니까 SK머티리얼즈퍼포먼스 거니까. 다른 데는 안 줄 것이라고 얘기했는데. 상당한 매출의 상승이 일어날 것으로 예측이 됩니다.”
-SKMP.
“238단이 보도자료가 언제 나왔죠? 6월인가 중반기 정도에 나왔잖아요. SK하이닉스 개발했고, 양산한다고 나왔는지, 개발했다고 나왔는지…”
-개발했다고 나왔어요.
“개발했다고 나왔나요? 웨이퍼 투입량이 한 5K 정도밖에 안 된대요. 월에 5000장 정도. 왜냐하면 물량을 늘릴 수 있는 상황이 전혀 아니지 않습니까? 낸드 가격이 이렇게 떨어지고 있는데. 그런데 조만간 정상화되면 계속 증산이 될 거 아니에요. 176단인가 이거 서서히 페이드아웃시키면서 이쪽 물량이 확 늘어날 텐데. 그렇게 되면 SKMP 매출은 굉장히 올라갈 수 있을 것으로 보인다. SKMP가 작년에 매출이 622억원 했고. 영업이익이 86억원이었거든요. 굉장히 좋아진 거예요. 왜냐하면 전년도에 매출이 한 300억원 정도였고. 이익도 10억원이 안 됐거든요. 근데 거의 매출은 2배 성장하고 영업이익은 10배 이상 성장한 거니까. 어쨌든 SK 안으로 들어오면서 금호석유화학의 전자소재 사업 부문 구, 그 회사는 실적은 계속 올라갔는데. 이것까지 들어가게 되면, 여기도 수천억대 매출 가지고 있는 회사로 발돋움이 될 것 같고. SK의 그룹사… 이게 원래 SK머티리얼즈 밑에 다 붙어 있었는데. 합병하고 분리하고 이러면서 지금은 다 SK㈜ 밑으로 횡으로 다 붙어 있거든요. 최근에도 저희가 다뤘지만, SK트리켐이 작년 매출 2200억원 했는데. 그중에 1500억원이 하프늄 관련된 프리커서 매출이라고 저희가 전해드렸는데. 거의 쌍두마차처럼 성공 사례가 될 수 있지 않을까 저는 그렇게 생각하는데, 저희가 이 기사 써놓고 나서 SK머티리얼즈 전화 와서 얘기하는 거는 처음에 통과가 됐네, 안됐네. 안 됐다고 얘기하다가 추가로 더 확인해 보니까 또 테스트 중으로… 하여튼 저희 취재한 건 통과한 걸로 돼 있습니다. 저희는 그렇게 들었고요. 이게 되면 엄청난 성공 사례가 또 만들어지는 거죠.”
-여기는 비상장이죠?
“비상장이에요. 상장할지 모르겠네요.”
-상장하면 지분을 낮춰야 하니까, 시장에 팔아야 하니까.
“그래야 합니까? 근데 사실 우리가 SK머티리얼즈퍼포먼스랑 SK트리켐 얘기했지만, 그 옆에 붙어 있는 회사들이 여러 개가 있거든요. 머트리얼즈도 있고. 그리고 스페셜티·레조낙·에어플러스·제이엔씨, 이런 것이 다 있는데. 그 회사들 실적도 한번 뜯어볼 필요가 있을 것 같아요. 그래서 소재 부문이 제가 얘기 듣기로는 SK가 하이닉스 인수하기 전까지 계열사가 한 90 몇 개였다고 하는데. 하이닉스 인수하고 나서 200개가 넘었다고 그래요. 다 반도체 관련된 걸로. 하여튼 하이닉스가 있으니까 할 수 있는 여러 가지 인수 합병들. 그리고 해외에 레조낙이라든지 아까 얘기한 트리케미칼래버토리라든지 다 협상력의 발판이 될 수 있겠죠. 내부 캡티브마켓에 우리가 판다고 했을 때. 그래서 아무튼 SKMP는 하여튼 인수 잭팟이 아닌가. 400억원에 사서 몇천억 되고 이러면, 금방 또 하고. 하여튼 이것이 SK에서 추구하는 파이낸스 스토리의 아주 전형이 아닌가 싶습니다.”
-최 회장께서 얘기하시는, 근데 이런 거 쓰면 되게 싫어해요. SK에서 그렇죠?
“민감해하나 봐요. 밖에서 이런 얘기가 나오는 것 자체가 민감해하는 것 같은데.”
-왜 그런지 모르겠는데.
“그러니까 말입니다. 하여튼 제가 오늘 준비한 소식은 이 정도입니다.”
-오늘 96분 했네요.
“많이 했네요.”
-1시간 46분 했는데 장시간 시청해 주셔서 감사합니다. 다음 주에 뵙도록 하겠습니다.
