중국 MEMS업체 한왕일렉트로닉스(罕王电子光学器件, Hanking Electronics)가 지난 19일 랴오닝성(河北) 션푸신구(沈抚新服)에서 'MEMS전용 200mm 웨이퍼 생산라인' 후공정 생산기념식을 했다고 밝혔다. 지역 공산당 기관지 랴오닝일보(河北日报)는 "세계 일류 수준의 중국 최초 200mm웨이퍼 생산라인"이라며 22일자 신문 2면에 해당 기사를 실었다.
랴오닝일보는 "이 라인에서 올해 2000만개 MEMS칩이 생산될 것"이라며 "매출액으로는 2억위안(약 335억원)에 달한다"고 보도했다. 또 "후공정이 안정적으로 운영되면 연내 전(前)공정 생산을 시작, 200mm웨이퍼 MEMS 칩 설계와 대규모 양산이 본격 실현될 것"이라고도 했다. 이어 "(그렇게 되면) 연 생산액이 연 2조원을 넘을 것"이라고 했다.
한왕일렉트로닉스의 모회사인 한왕그룹에 따르면, 양메이(杨梅苗) 한왕그룹 회장은 기념식 자리에서 "올해 계획대로 오는 7월 MEMS생산라인 전체가 가동되면 연생산능력 200mm웨이퍼 36만장, MEMS칩 30억개를 달성한다"고 말했다. 이어 랴오닝일보 보도내용와 같이 "연 생산액이 연 2조원을 넘을 것"이라고도 했다.
랴오닝일보 기사와 한왕그룹 자료를 종합하면, 한왕일렉트로닉스의 '세계 일류 수준의 중국 최초 200mm웨이퍼 생산라인' 월 생산능력은 200mm웨이퍼 3만장으로, 연간 MEMS칩 생산량은 30억개다. 한왕일렉트로닉스는 올해 7월부터 전공정 생산을 계획하고 있으며, 전·후공정 생산라인이 모두 가동돼 위와 같은 생산량을 달성할 경우 연생산액은 2조원을 넘을 것으로 추정된다. 이번에 생산기념식을 한 후공정라인의 올해 생산량은 2000만개이며 매출액으로 환산하면 우리돈 335억원에 해당한다.
2011년 설립된 한왕일렉트로닉스는 월 생산능력 1만장의 중국 최초 200mm웨이퍼 MEMS센서 생산라인을 갖추고 있다고 밝히고 있다. 2016년 한왕일렉트로닉스는 미국 맥심 인터그레이티드(Maxim Integrated)의 MEMS사업부문을 인수하며 MEMS생산라인을 함께 사들였다. 이어 작년말 200mm웨이퍼 MEMS생산라인을 준공했다고 한다.
이번에 후공정 생산기념식을 한 200mm웨이퍼 생산라인은 작년말 준공된 생산라인이며, 2016년 맥심에서 사들인 MEMS라인에서 200mm웨이퍼 월 생산능력 1만장을 보유하고 있던 것으로 추정된다. 한왕일렉트로닉스는 현재 IDM과 MEMS 파운드리 사업을 같이 하고 있다.
2011년 맥심은 오스트리아에 본사를 둔 MEMS·센서업체 센서다이나믹스( SensorDynamics)를 1억6400만달러(274억원)에 인수하며 기존 MEMS사업부문에 포함했었다. 한왕일렉트로닉스가 맥심의 MEMS사업부문을 사들이면서 센서다이나믹스도 한왕일렉트로닉스에 함께 인수됐다. 한왕일렉트로닉스의 맥심 MEMS사업부문 인수금액은 공개되지 않았다.
