과학기술정보통신부는 나노종합기술원에 국내 첫 12인치 웨이퍼 반도체 테스트베드를 구축을 완료했다고 16일 밝혔다. 오는 17일부터 국내 산·학·연에 공식 서비스를 개시할 예정이다. 

나노종합기술원은 향후 국내 반도체 소부장 기업이 종기원 테스트베드를 활용해 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 할 수 있다고 설명했다. 과기정통부는 2019년 8월 나노종합기술원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정했다. 총 450억원의 예산을 들여 핵심 장비 10대를 구축했다. 

이조원 종기원 원장은 "현재 12인치 테스트베드는 40나노 패턴 웨이퍼 제작이 가능한 인프라로 구축됐다"며 "반도체 핵심소재(감광제 등)와 장비 개발을 집중 지원할 예정"이라고 말했다. "향후 20나노급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축과 공정기술 개발을 추진할 계획"이라고도 했다.

이나리 기자 다른기사 보기