| 출처 : 아이지웨이 | 5월 27일
○KrF 포토 레지스트 공급 부족
- 몇 달 전 발생한 일본 7.3급 지진의 영향으로 신에츠가 공장 가동률을 정상 수준까지 회복시키지 못하고 있는 상황
- 신에츠의 KrF 포토 레지스트 공급이 부족해 중국 여러 반도체 공장이 가동 중단 위기에 빠져 중국 토종 업체 제품 검증과 도입을 추진
- 여러 중국 웨이퍼 공장 중국 토종 업체인 퉁청 신소재 자회사인 베이징 Kempur에 있는 KrF 포토 레지스트 인증을 추진
- TOK는 포토 레지스트 및 세트 시약에 집중하며 G라인, I라인, KrF와 ArF 시장 점유율을 보유
- 다우케미칼 포토 레지스트 사업부는 듀폰에 합병됐고 고객사는 인텔, IBM 등을 포함, 중국 대륙 시장 점유율은 그리 높지 않음
- 현재 전 세계 주요 기업인 JSR, TOK, 신에츠가, 다우 화학, 듀폰 등의 시장 점유율은 85% 이상
○베이징 Kempur 인증 추진
- 올해 들어 TSMC, 삼성, 인텔, UMC 등 웨이퍼 공장이 생산능력을 확장
- SMIC, 화훙, 광저우 위이신 등 여러 현지 웨이퍼 공장들이 생산량 확대와 제품 납품에 적극 나서면서 중국 국내 포토 레지스트 수요는 생산량보다 훨씬 많아지고 있는 상황임
- SEMI 데이터 따라 일본 대형 업체가 g 라인/I 라인, KrF、ArF 시장에서 점유율은 각각 61%, 80%, 93%를 차지함
- 남대광전지의 ArF 포토 레지스트는 이미 한 고객 인증을 통과
- 징뤼이 주식 KrF 포토 레지스트는 이미 중간 시험을 마치고 고객 테스트 단계에 들어갔음
- 퉁청신재료 KrF 포토 레지스트 프로젝트는 이미 "국가 02"의 특별 검사를 통과했고 지난해부터 중국 여러 웨이퍼 공장에 대량으로 도입됨
- 베이징 Kempur가 2004년에 설립됐으며 제품은 KrF(248nm), l-line, G-line, 포토 레지스트를 포함, 고객사는 SMIC, 산안광전 등을 포함
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