종합 화학업체 미원상사가 삼성전자 3D 낸드플래시 생산용 재료 생태계에서 매출을 보다 확대할 수 있을 것으로 전문가들은 2일 예상했다.
적층 단수가 높아질수록 재료 사용량이 늘어나기 때문이다. 삼성전자는 기존 6세대 제품(128단) 대비 적층 단수를 높인 7세대 3D 낸드플래시 양산을 앞두고 있다. 7세대 제품부터는 적층 작업을 마친 3D 낸드플래시 칩(Die) 두 개를 이어붙여 단수를 높이는 더블스태킹(Double Stacking) 공정으로 생산된다. 이 때문에 적층 단수가 늘어나는 이상의 재료 사용량 확대가 예상된다.
미원상사는 2019년 중반기 동진쎄미켐에 두꺼운(thick) 불화크립톤(KrF) 포토레지스트(PR)용 폴리머 재료 공급을 시작했다. 동진쎄미켐은 96단까진 국내 비상장 중소업체 엔씨켐에서 이 재료를 조달받아왔으나 128단용 재료부턴 전량 미원상사 제품으로 조달처를 변경했다. 이 재료 연간 사용량은 매출 기준으로 250~300억원 수준인 것으로 전해졌다.
업계 관계자는 "삼성전자가 말하는 6세대 128단 3D 낸드플래시 생산용 KrF PR에 미원상사 폴리머 재료가 들어가고 있다는 것도 세간에 알려지지 않은 사실"이라면서 "다음 세대에선 일부 경쟁사가 물량을 받아갈 가능성이 있긴 하나 전체 양이 늘어나는 만큼 실적에 좋은 영향이 있을 것으로 기대된다"고 설명했다.
PR은 노광 공정에서 쓰이는 핵심 재료다. 노광은 금속 설계 패턴이 새겨진 마스크 원판에 빛을 쪼여 회로 패턴을 형성하는 일련의 과정을 의미한다. 마스크를 투과한 빛이 PR와 반응해 패턴을 형성한다. PR은 폴리머 재료와 빛에 반응하는 PAG(Photo Acid Generators), 솔벤트 등으로 구성돼 있다. 팬케이크에 비유하자면 폴리머는 밀가루, PAG는 소금, 솔벤트는 물 정도로 생각할 수 있다.
3D 낸드플래시에 일반 PR가 아닌 두꺼운 PR를 바르는 이유는 공정 속도를 높이기 위함이다. 계단를 하나씩 만드는 게 아니라 여러 계단을 한 번에 형성하기 위해 두꺼운 PR를 바르고 한 번에 깎아낸다. 도포됐을 때 두껍다는 건 점도가 높다는 의미다. 높은 점도를 구현하면 균일도가 떨어지기 때문에 개발이 쉽지 않다.
삼성전자는 2013년 1세대 3D 낸드플래시를 양산하기 전부터 동진쎄미켐과 두꺼운 KrF PR를 개발하기 위해 협업했다. 동진쎄미켐은 삼성전자에만, 삼성전자는 동진쎄미켐으로부터만 이 재료를 공급 조달한다.
또 다른 업계 관계자는 "미원상사는 그간 반도체용 전자재료 시장에서 후공정 분야에 주력해왔으나, 핵심 전공정용 기초 재료 공급을 성사시키고 성공적으로 거래를 이어가고 있다는 점에서 향후 발전 가능성을 높게 평가받을 수 있다"고 설명했다.
