디스플레이 장비 업체 아바코가 LG디스플레이와 애플용 패널 생산라인에 필요한 장비 협의에 들어갔다. 최종 고객사인 애플 승인과 LG디스플레이 투자 결정이 나오면 장비 수주로 이어질 수 있다. 5일 업계에 따르면 아바코는 최근 LG디스플레이와 애플 아이폰 유기발광다이오드(OLED) 패널 생산에 사용할 수 있는 산화물(옥사이드) 반도체 스퍼터 사양 협의에 들어갔다. 스퍼터가 수행하는 스퍼터링 공정은 진공 증착법 일종이다. 이온화한 아르곤 가스를 가속해서 타깃에 충돌시키면 타깃이 떨어지며 유리기판 위에 박막을 만든다. 타깃은 패널에 얇게 코팅돼 투명성·전도성을 확보한다. 아바코가 LG디스플레이와 사양을 협의 중인 산화물 반도체 스퍼터는 저온다결정산화물(LTPO) 박막트랜지스터(TFT) 방식 패널에 필요한 장비다. 이제껏 아이폰 OLED 패널은 저온다결정실리콘(LTPS) TFT를 적용해왔다. 기존 LTPS 공정에 산화물 반도체 공정을 추가하면 LTPO TFT를 만들 수 있다. LTPO는 120헤르츠(Hz) 화면주사율 지원에 적합한 사양이다. 아이폰은 올해 하반기 나올 신제품의 상위 라인업(프로)에 LTPO를 처음 적용한다. 해당 아이폰 OLED 패널은 삼성디스플레이만 공급한다. LG디스플레이는 내년 아이폰 모델 적용을 목표로 LTPO TFT 투자를 계획 중이다. 아바코는 지난해 8월 '디스플레이 산화물 반도체 제조용 스퍼터에 장착해 플라스마 상태 모니터링 후 제어 프로그램과 연계해 공정 제어를 수행하는 시스템'을 개발했다고 밝혔다. 회사에선 'MTO 인라인 스퍼터 플라스마 모니터링 및 가스 제어 시스템'이라고 부른다. 또 아바코는 산화물 검사장비인 '산화물 반도체 인듐·갈륨·아연·옥사이드(IGZO) 스퍼터 단층막 전기특성 검사장비(OSTECA-LIPD)'도 개발했다. 회사 차원에서는 개발을 마쳤지만 실제 납품하려면 애플 요구사항에 따라 사양을 개선하는 과정을 추가로 밟아야 한다. 애플이 아바코 장비를 승인하고 LG디스플레이가 LTPO TFT 전환 투자를 결정하면 이미 양산 가동 중인 LG디스플레이의 경기 파주 E6-1과 E6-2 라인, 그리고 내년에 양산 가동 예정인 E6-3 라인에도 장비 공급을 기대할 수 있다. 아바코는 LG디스플레이 경북 구미 E5 라인에도 애플워치용 LTPO TFT 스퍼터를 공급했다. 아바코는 올해 회사 전체 수주 규모가 3000억원에 이를 것으로 예상하는 것으로 파악됐다. 애플 아이폰용 LTPO TFT 스퍼터, 신규 사업인 적층세라믹콘덴서(MLCC) 외관 검사기 예상 수주액을 포함한 수치다. 지난해 말 수주잔고는 1300억원이었다. LTPO TFT 분야에서 아바코 경쟁사는 일본 알박(Ulvac)이다. LG디스플레이는 6세대(1500x1850mm) 유리원판 투입 기준 생산능력이 각각 월 1만5000(15K)장씩인 파주 E6-1과 E6-2 라인 일부를 LTPS에서 LTPO로 전환할 전망이다. LTPO는 LTPS 공정에 산화물 TFT 공정을 추가해 생산수율이 떨어지고 전체 OLED 패널 생산능력도 줄어든다. LG디스플레이는 하반기 투자심의에서 LTPO 투자 여부를 결정할 전망이다. LTPO를 적용한 라인에서는 LTPS 방식 패널을 만들 수 있지만 반대로는 안 된다.