에프에스티 자회사인 EUV(극자외선) 솔루션 전문업체 이솔이 기존 EUV 펠리클 검사장비의 크기를 줄인 '경량화' 버전 개발에 착수했다. 더 작은 장비 크기와 낮은 가격을 원하는 고객사들의 수요에 대응해, 매출처를 폭넓게 확대하기 위한 전략이다. 16일 업계에 따르면 이솔은 지난해 국내에서 첫 상용화한 EUV 펠리클 검사장비의 크기 및 가격을 낮춘 신규 모델을 개발하고 있다. EUV 펠리클은 EUV 노광공정에서 포토마스크를 이물질로부터 보호해주는 초박막 필름이다. EUV는 기존 불화아르곤(ArF) 대비 파장이 짧아 광원 손실이 크게 발생한다. 때문에 EUV 펠리클의 투과율이 최소 90%를 넘어야 공정 수율에 문제가 생기지 않는다. 다만 EUV 및 EUV 펠리클은 현재까지 일부 업체만이 개발에 뛰어든 선행기술로, EUV 펠리클의 투과율을 검사할 수 있는 인프라 역시 부족한 실정이다. 그간 관련 업체들은 ArF 등 기타 광원을 활용해 간접적으로 투과율을 측정하거나해외 업체 혹은 국내 연구기관에 별도로 투과율 분석을 의뢰해야 했다. 이에 이솔은 지난해 4분기 EUV 펠리클 검사장비인 'EPTR'을 개발했다. EPTR은 EUV 파장을 활용해 직접 EUV 펠리클의 투과도 및 반사도를 고속으로 측정할 수 있는 것이 특징으로, 한 고객사의 팹에 설치 완료돼 지난해 말부터 본격적으로 가동을 시작했다. EUV 펠리클 검사장비가 국내에서 상용화된 것은 당시가 처음이다. 또한 이솔은 기존 EPTR에서 일부 기능을 축소하는 대신, 기기 사이즈를 줄이고 가격을 낮춘 경량화 버전을 개발 중이다. 현재 EUV 관련 장비는 최소 수십억원 이상의 가격을 형성하고 있어 설비 도입에 부담을 느끼는 고객사들이 적지 않다. 이러한 잠재 고객사의 수요에 대응하고, 장비 다변화로 국내외 고객사를 폭넓게 확보하겠다는 전략으로 풀이된다. 이동근 이솔 부사장은 "EUV 관련 장비가 매우 고가에 속하는 만큼, 고객사가 원하는 수준의 기기 사이즈와 가격을 맞춰줄 수 있는 능력이 사업적으로 매우 중요하다"며 "EPTR의 경우 다른 EUV 관련 장비에 비해 기술적 난이도가 높지 않아 충분히 경량화를 실현할 수 있다"고 설명했다. 이솔은 국내 반도체 펠리클 제조업체 에프에스티(FST)의 자회사로, 삼성전자 반도체사업부 출신의 김병국 대표가 2018년 1월 설립했다. 현재까지 EUV 펠리클 검사장비를 비롯해 EUV 마스크 결함 검사장비, EUV 포토레지스트 평가 장비 등을 개발하는 데 성공했다.