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[영상] 옥사이드 식각 장비 개발 본격화하는 APTC
[영상] 옥사이드 식각 장비 개발 본격화하는 APTC
  • 장현민 PD
  • 승인 2022.03.21 16:15
  • 댓글 0
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<자막원문>

인터뷰 진행: 한주엽 디일렉 대표

출연: 장경윤 디일렉 기자

-반도체 담당하는 장경윤 기자 모셨는데요. “안녕하세요.” -에이피티씨(APTC) 얘기를 하려고 하는데. 국내 유일한? 유이한. “유이한이죠.” -세메스라는 삼성전자 반도체 장비 자회사가 있으니까요. 근데 세메스는 대기업군이고 계열사가 있으니까 논외로 치고. 중견기업 중에 식각 장비하는 회사는 에이피티씨가 유일하지 않습니까? “그렇습니다. 국내에서는 지금 세메스 제외하면 유일한 상황입니다.” -오늘 기사를 쓰시고 올라와서 바로 영상 촬영 라이브를 하는 건데. 옥사이드 식각장비를 본격적으로 개발하기 시작하였다라고 했는데. 이게 지금 식각이라는 게 뭘 깎아내는 건데 뭘 깎아내느냐에 따라서 나뉘죠? “식각은 “깍아낸다” 한마디로 제거를 한다는 것인데. 무엇을 식각을 하느냐라고 하면 웨이퍼 위에 산화막이 있고 그리고 그 위에 게이트 층이 있습니다. 이 두 가지를 제거를 해줘야 되는데. 산화막을 제거한다고 하면 옥사이드 식각 장비가 되는 거고요. 게이트 층을 제거하는데 게이트 층의 소재가 메탈이면 메탈 식각 장비, 폴리실리콘이면 폴리실리콘 식각 장비가 되는데. 현재 반도체 업계에서 가장 일반적으로 쓰이는 건 폴리실리콘 식각 장비라고 볼 수 있습니다.” -에이피티씨가 상장할 때도 그랬고 매출을 낼 때도 그랬고 폴리실리콘 식각장비로 계속 매출을 내왔고 또 최근에 메탈 장비를 새로. “2020년 말부터 상용화에 들어가면서 장비를 늘리는 데 성공했습니다.” -근데 이제 메탈은 그렇게 큰 비중이 있는 건 아닌데. “아직까지는.” -폴리하고 옥사이드하고 거의 반반 정도 된다면서요? “시장 규모를 봤을 때는 저희가 수치를 이렇게 정확하게 말씀드릴 순 없습니다만, 두 시장의 규모가 거의 동일하다고 보시면 되는 상황입니다.” -동일한데 지금 폴리 장비만 했었고. 옥사이드 식각장비는 지금 개발을 어떻게 하고 있는 겁니까? “작년부터 개발에 착수했었는데. 작년 같은 경우에는 밑그림을 그렸다고 보시면 됩니다. 장비 디자인에서 하드웨어적인 사양을 잡고 이런 단계였다면 최근에는 그림이 어느 정도 그려졌으니 올해부터 제어시스템까지 포함해서 본격적으로 장비를 개발하는 과정에 있다고 보시면 될 것 같습니다.” -장비 모델명이 있는 것 같던데요? “장비 모델명은 'TIGRIS'라고 되어 있는데 뜻은 모르겠습니다.” -'TIGRIS'라는 장비를 개발하고 비교적 구체적으로 얘기가 나왔는데. 지금 목표가 어떻게 됩니까? “목표는 아무래도 개발하고 있으면 빨리 시제품을 생산하길 원할 텐데. 시제품 생산과 데모 테스트를 내년에 진행하는 걸 목표로 하고 있습니다.”
-내년에? “네.” -이게 기대되는 효과는 뭐가 있습니까? “아무래도 일단은 사업 다각화 측면에서 접근을 할 수 있는데 아까 말씀해주신 것처럼 폴리실리콘 쪽에 집중을 해왔다면 그 매출 규모가 폴리실리콘과 비견하는 옥사이드 쪽으로 매출을 확장할 수 있는데. 에이피티씨가 작년 매출이 연결 기준으로는 1,780억 원 정도로 나와 있습니다.” -엄청나게 늘었죠. “아마 거의 90%대 전년 대비 성장을 이뤄냈는데.” -2020년에 930억 원을 했는데 작년에 1,780억 원을 했으면. “사실상 거의 두 배로 볼 수 있습니다. 앞으로도 더 늘어날 가능성이 있는데 그렇다면 이 옥사이드 장비가 사실 아직 장비가 나오지 않았고 고객사가 얼마나 도입할지 모르기 때문에 얼마나 나올거라는 건 사실상 앞선 얘기지만, 그래도 저희가 단순히 시장 규모를 단순 비교를 해봤을 때는 폴리실리콘만큼은 나올 수 있기 때문에 매출이 두 배 성장을 할 수 있는 가능성.잘 됐을 때 얘기입니다.” -그게 이제 시기를 특정하기는 힘들지만, 지금 폴리실리콘 식각 장비만 갖고 작년에 1,780억 원을 했다고 하고 지금 계획대로, 언제가 될진 모르겠지만. 목표는 내년에 데모를 하고 좋은 결과가 나오면, 데모가 끝나고 나면 이제 넣는 거니까요. “그렇죠. 그리고 아무래도 반도체 업계의 최근 트렌드가 국산화에 대한 열망이 굉장히 크기 때문에. 지금 식각 장비 쪽에서 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)나 램리서치나 도쿄일렉트론이 굉장히 강세를 보이고 있지만, SK하이닉스에서도 국산화 장비 채택을 조금 더 늘리지 않을까 하는 기대감이 있습니다.” -옥사이드 식각 장비는 일본의 도쿄일렉트론하고 미국의 램리서치가 하는데. 대부분 많은 비중을 램리서치가 갖고 있다. 근데 그 시장을 에이피티씨가 비집고 들어갈 수 있다면 지금 하는 정도의 매출 정도는 가져올 수 있지 않겠나. “단순 계산으로 봤을 때는 그렇습니다.” -지금 SK하이닉스가 년에 식각 장비를 얼마나 사가요? “식각 장비가 반도체 제조공정에서 차지하는 비중이 굉장히 큰데. 한 30% 정도가 됩니다. 그래서 에이피티씨의 최대 고객사죠. SK하이닉스도 연간 3조~4조 원대에 투자를 하는 걸로 알고 있습니다.” -식각 장비를 사는 데만? “그렇습니다.” -그런데 3조~4조 원대에서 반이 폴리실리콘 식각 장비이고 반이 옥사이드 식각장비인데. 옥사이드 식각장비가 들어오면 그 정도 매출을 할 수 있겠다라는 기대감이 있겠다는 건데. “계산적으로는 그렇습니다.” -아무튼 이 회사 이익률도 되게 좋아요. 이익률이 거의. “반도체 업계 쪽에서는.” -엄청난 이익률이네요. 이런 얘기를 하면 또 구매 쪽에서 어떻게 나올지는 모르겠지만. 다음 주에 또 좋은 소식 갖고 와주시길 바랍니다. 고맙습니다. “감사합니다.”



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