테스트 웨이퍼 제공 및 전기적 특성 분석 서비스 제공 계획
반도체 중고장비 플랫폼 업체 서플러스글로벌이 신규 사업으로 추진한 R&D 파운드리 사업이 성과를 냈다.
서플러스글로벌은 신사옥인 R&D 파운드리 클린룸에서 300mm 테스트 웨이퍼를 첫 출하했다고 20일 밝혔다.
R&D 파운드리는 반도체 소부장 업체들이 초기 제품 개발을 수월하게 진행할 수 있도록 테스트베드를 제공하는 서비스다. 서플러스글로벌은 300mm 씬 필름(Thin Film) 테스트 웨이퍼 제작과, 웨이퍼의 전기적 분석을 통해 고객사 시제품의 성능을 평가하는 사업을 동시에 추진해왔다.
이번 서플러스글로벌의 테스트 웨이퍼는 기존 시중에 유통되는 제품 대비 청정도가 높은 환경 '100 클래스' 환경에서 제조된다. 100 클래스는 1 세제곱평방미터의 공기 중 0.5마이크로미터 이상의 입자가 100개 이하인 경우를 뜻한다.
시제품 평가는 테스트 웨이퍼에 실제 패턴을 새기는 대신, 패턴을 모사해 간접적으로 전기적 성능을 평가하는 방식으로 진행된다. 이를 통해 초기 개발에 필요한 테스트 신뢰성을 충족하면서, 소모되는 시간 및 비용은 줄일 수 있다.
서플러스글로벌의 R&D 파운드리 사업을 이끌고 있는 최준영 상무는 "금번 생산된 300mm PE TEOS 웨이퍼는 CMP 소재, 장비 성능 평가를 위한 테스트 웨이퍼로, 반도체 양산공정에 활용된 장비로 생산하고 계측해 생산성과 품질을 확보하는데 강점이 있다"며 "앞으로 자체 생산라인에서 열 산화물 테스트 웨이퍼 등을 생산해 공급범위를 넓혀 나갈 계획"이라고 말했다.
한편 서플러스글로벌은 반도체 관련 인력, 장비, 시설을 공유할 수 있는 반도체 장비 클러스터를 2021년 7월에 설립하고, 클러스터 내부에서 R&D 파운드리 서비스를 제공하고자 192평(634m2) 규모의 클린룸을 설치하고 이번달부터 가동을 시작했다.
김정웅 서플러스글로벌 대표는 "이번 출하는 웨이퍼 제공과 전기적 특성 분석 서비스를 모두 제공하는 서플러스글로벌의 R&D 파운드리 신사업의 첫 발자국"이라며 "반도체 중고장비를 활용해 다양한 테스트 웨이퍼를 생산하고, 전기적 분석을 통한 장비, 소재의 성능평가로 세계 반도체 R&D 생태계에 꼭 필요한 회사가 되겠다"고 밝혔다.
