-이번 시간은 제가 주로 얘기를 하려고 합니다. 이수환 기자 모시고 제가 주로 얘기할 겁니다. 안녕하십니까.
“안녕하세요. 이수환입니다. 또 나왔습니다.”
-에스앤에스텍이라는 회사는 EUV와 관련해서.
“펠리클 때문에 많이 알려졌죠.”
-원래 블랭크 마스크를 잘 하던 회사였죠. 기존에 반도체든 디스플레이든 그래서 저희가 많이 다뤘던 회사인데. 저희가 얼마 전에 EUV 블랭크 마스크 생산과 관련한 여러 가지 정황에 대해서 보도를 한 게 있습니다. 내용의 골자는 이런 거였어요. 비코(Veeco)라는 회사로부터 IBD(Ion Beam Deposition, 이온빔 증착) 그러니까 이온빔으로 증착을 하는 장비를 도입을 추진 중이다. 제가 듣기로는 이미 도입했다라는 것도 얘기도 있었던 것 같고. 하여튼 여기 거를 도입한다라는 것은 EUV용 블랭크 마스크를 만들기 위해.
“준비를 하는 거죠.”
-여기 장비가 없으면 못 만든다고 하니까요. 그래서 그런 내용을 저희가 전해드렸고. 기존에 블랭크 마스크 같은 경우는 EUV용하고는 재료가 좀 달라요. 기존에 쓰던 거는 쿼츠(Quartz).
“인공 수정(水晶)이죠.”
-석영이라고. 그래서 쿼츠(Quartz) 위에다가 메탈로 패턴을 만드는 거고 그리고 기존 같은 경우는 위에서 아래로 쐈잖아요. 노광 장비에서. 그래서 ArF나 KrF 광이 쿼츠를 통과하느냐 혹은 패턴에 막혀 있느냐에 따라서 밑에 웨이퍼의 패턴이 형성되는 거였는데. 저희가 과거에 EUV와 관련된 얘기를 여러 번 했을 때 EUV라는 빛의 어떤 특성이 흡수가 된다.
“엄청 다루기 까다롭죠.”
-흡수가 많이 되고 심지어는 공기에도 흡수가 되다 보니까 진공 상태에서 작업을 하게 되는 그런 특성을 갖고 있어서, 말하자면 EUV는 쿼츠를 통과할 수가 없대요.
“통과를 못하고.”
-그래서 어떻게 마스크를 만드냐면 몰리브덴(Mo)이라고 하는데 몰리브덴(Mo)하고 실리콘(Si), 몰리브덴을 ‘Mo’라고 하겠습니다. 실리콘이 ‘Si’라고 하면 Mo, Si, Mo, Si. 이런 식으로 여러 층으로 쌓은 어떤 구조로 만들어야 되고 40층 이상을 쌓아야 합니다.
“많이 쌓네요.”
-그걸 쌓는 용도로 비코(Veeco)의 IBD(이온빔 증착) 장비가 활용이 된다고 하는데. 중요한 건 몰리브덴(Mo)하고 실리콘(Si)을 다층으로 쌓는 것은 일본의 호야라든지 아사히글라스라든지 그거는 이제 그대로 다 그 기술을 사용을 하는 건데 흡수체, 빛을 흡수하는 흡수체를 뭘로 할 것이냐가 결국은 키포인트라고 하는데 일반 메탈 금속체 같은 경우는 일반 스퍼터로도 가능한데.
“가능하겠죠. 때려주면.”
-지금 EUV 같은 경우는 흡수체를 뭘로 쓰느냐. 흡수체가 이제 탄탈륨계를 쓴다고 그래요. 이게 한 70나노미터 두께 정도는 만들어줘야 흡수가 잘 된다. 그런데 흡수는 잘 되는데 이게 또 아까도 말씀드렸지만 EUV는 위에서 아래로 바로 쏘는 게 아니고.
“반사를 여러 번 하죠.”
-반사해서 들어보니까 위에서 아래로 바로 들어오는 게 아니라 약간 사각으로 들어온단 말이죠. 측면으로 6도 정도 꺾여서 들어온답니다. 그러니까 70나노미터 때문에 들어오다 보면 밑에 뭐라고 표현해야 됩니까? 제가 설명하려니까 어려운데. 그림자가 생기니까. 왜냐하면 위에서 아래로 들어오면 그림자가 안 생기는데 사각으로 들어오면 측면에 그림자가 생기니까 이거를 더 얇게 만들면서도 흡수를 하게 만드는 식의 개발이 일어나고 있답니다. 그래서 기존의 호야라든지 일본의 아사히글라스나 이런 데들은 지금은 탄탈륨계를 쓰고 있는데. 조금 더 다른 흡수율이 높은 그리고 더 얇게 만들 수 있는 그 흡수체를 개발을 하고 있다고 하고. 지금 몰리브덴(Mo)과 실리콘(Si)을 다층으로 쌓는 그 장비는 비코(Veeco)의 장비이긴 하지만 결국은 중요한 건 그 흡수체를 어떤 걸로 할 것이냐라는 건 베일에 쌓여 있다라는 말씀을 드리려고 제가 지금 길게 얘기를 했는데. 어쨌든 그런 것들을 잘 만들었을 때 국내에 삼성전자나 SK하이닉스에서 블랭크 마스크를 사갈 수 있고 또 한 가지 블랭크 마스크를 실제로 생산하기 전에는 아마 디펙(결함)을 잡아낼 수 있는 검사 장비가 되게 비싼 거를.
“엄청나게 비싸죠.”
-KLA나 이런 곳에서 사와야 되는데 아직 그 장비는 안 산 것 같아요. 사지 않은 것 같아서 임박했다 또는 아니다라는 걸 우리가 판단할 때는 검사 장비가 들어와야 되는 건데. 어쨌든 에스앤에스텍 측에서 저희 쪽에 보도 나갈 때 얘기를 했던 건 “정확한 일정을 밝힐 수는 없지만 계획대로 개발이 순조롭게 진행되고 있다.”라고 했는데. 좀 더 기다려봐야 될 것 같다는 것을 전해드리기 위해서 오늘 영상을 찍었습니다. 에스앤에스텍에 이어서 제가 또 드릴 말씀은 동진쎄미켐에 대한 내용입니다. 동진쎄미켐은 PR(포토레지스트) 사업 되게 잘하는 회사 아닙니까?
“엄청 잘하고 또 2019년 아시겠지만, 일본 수출규제 이후에 더 부각을 받고 있죠.”
-그래서 여기가 상당히 많은 매출 3000~4000억원 정도 연에 매출을 한다고 하는데. 그게 삼성전자 3D 낸드플래시 생산 공정에 쓰이는 두꺼운(Thick) KrF PR. 그러니까 위로 쌓아 올려야 되니까 기존에 얇게 펴서 발라지는 PR(포토레지스트)보다는 좀 더 두꺼운(Thick), 발라지면 두껍게 발라지는 그래서 Thick KrR PR라고 하는데 KrF 노광을 하니까요.
“그렇죠.”
-처음에 삼성전자가 3D 낸드플래시를 처음 개발할 때부터 동진쎄미켐이랑 그런 두꺼운(Thick) PR에 대해서 개발을 같이 했고 꽤 오랜 기간 여기서 독점적으로 공급을 하고 있었는데. 삼성전자 입장에서는 한 곳에서만 이렇게 공급을 받으면 불안하니까.
“불안하니까. 반드시 두 군데 정도는 가져가고 싶어 하더라고요.”
-물론 동진쎄미켐에 삼성전자 지분도 있고 또 워낙 돈독한 관계를 맺고 있기 때문에. 그런 의심이나 이런 것들은 하지는 않겠지만 그래도 한 군데서 받는 것보다는 조달처를 다변화 해놓으면 그래도 불안감이 상쇄된다라고. 당연한 거죠. 그거는 모든 부품들이 다 그렇지 않습니까?
“앞날을 알 수가 없으니까요. 갑자기 공장에서 문제가 있을 수도 있고요.”
-그래서 삼성전자가 다변화를 위해서 저희가 한 2년 전인가도 일본의 도쿄오카공업(TOK)이라는 회사가 두꺼운(Thick) KrF용 PR를 가져와서 평가했다라는 내용도 보도도 해드리고 했는데. 결과적으로 다 안 됐대요.
“왜 안 됐는지는?”
-특성을 잘 못 맞춘다고 하고 심지어 삼성전자에서는 동진쎄미켐을 배제하고 어떤 개발 건에 대해서는 한 네다섯 군데에 “한번 가져와봐라”해서 테스트를 다 해봤는데도 삼성이 요구하는 어떤 수준을 맞추지 못해서 다시 동진쎄미켐에 얘기를 하게 되는.
“살짝 무안하네요.”
-그래서 어찌 됐건 간에 짧게 그냥 말씀을 드리자면 독점 체제는 계속될 것 같다. 향후 계속적으로 독점을 할 것 같다라는 게 저희가 전해드릴 내용의 핵심이고 기존에 그냥 일반 대비 두꺼운 정도가 어느 정도 두꺼운 거냐면 한 30% 정도 두꺼웠데요. 예를 들어 10cm였다면 한 13cm 정도의 두께가 되야 된다라는 걸 맞춰야 되는데. 두께만 맞춰야 되는 건 아니고 또 다양한 요소들에 대해서 특성을 맞춰야 되는 것들이 있으니까. 동진쎄미켐 입장에서는 좋은 소식이고요. 여기가 지금 작년에 매출 1조원 넘게 했어요. 매출을 1조1613억원 정도 했고. 이익도 한 1318억원 정도 했으니까 10% 이상 이익도 나는 거고 또 두꺼운(Thick) KrF PR 쪽도 성과가 있지만 올해 초에는 또 EUV용 PR도 일부 테스트를 받는다고 그래서 동진쎄미켐에 굉장히 좋은 소식이었다라고 보도가 많이 되곤 했는데. 그 내용을 저희가 조금 알아보니까 하도 정부에서 이렇게 소재에 대한 국산화나 이런 것들이 있고 또 하다 보니까. 굳이 안 써도 되는 레이어에 또 동진쎄미켐 거를 받아서 그러니까 말하자면 EUV가 아니고 ArF 이머전을 써도 되는 레이어에 조금 느슨한 레이어죠. 쉽게 얘기하면 패턴 사이가 좀 느슨한 곳을 동진쎄미켐 거를 굳이 EUV PR을 가져와가지고 테스트한다라는 게 보도가 되어서 많이 회자가 되었는데. 또 쓰다 보니까 괜찮아서 조만간 양산 라인에 투입된다 이런 얘기도 좀 있는 것 같고요. 또 반도체 쪽은 아니지만 배터리 쪽에서도 좋은 소식이 있습니까?
“잘 아시겠지만 동진쎄미켐이 2년 전에 스웨덴 노스볼트의 CNT 도전재. 양극재와 활물질하고 밑에 있는 극판하고 서로 전기가 안 통하기 때문에 전기전도성을 주기 위한 브릿지 역할이죠. 도전재. 이걸 노스볼트에다가 공급을 성공했고요. 스웨덴 현지에 공장까지 세웠어요. 이 공장은 뭘 만드는 공장은 아니고요. CNT를 받아와서 반죽을 해주는 겁니다. 믹싱해서 그걸 노스볼트에 공급해주는 공장인데. 최근에 들리기로는 이 CNT 외에 다른 소재들도 지금 얘기가 오고 가는 걸로 얘기를 들었습니다.”
-장기 계약이 하나 있을 것 같다는 얘기도 있고 한데. 그건 정확하게 저희가 확인이 되면 전해드리도록 하겠습니다.
