이솔이 기존에 선보인 SREM(Scanning reflection EUV microscope) 보다 훨씬 빠른 FREM(Full-field reflection EUV microscope)를 개발 중이다. FREM는 전세계에서 가장 빠른 EUV 검사장비가 될 것으로 회사 측은 기대했다.
김병국 이솔 대표는 지난 8일 《디일렉》이 개최한 ‘2022 반도체 EUV 글로벌 생태계 콘퍼런스’에서 이같은 기술 개발 현황을 소개했다. 김 대표는 이날 ‘EUV 장비 개발의 과제와 도전’이란 주제로 발표했다.
국내 반도체 펠리클 업체인 FST 자회사인 이솔(ESOL)은 삼성전자 반도체 사업부 출신인 김병국 대표가 지난 2018년 설립했다. 이솔이라는 이름은 ‘EUV 솔루션’의 줄임말이다. 사명(社名)처럼 EUV 공정에 필요한 다양한 솔루션과 장비를 개발한다.
김 대표에 따르면 EUV 장비 기술은 크게 3가지로 구성된다. 우선 EUV 광원이다. EUV 광학기술도 필요하다. 여기에 모든 것을 제어할 수 있는 ‘EUV 시스템’도 갖춰야 한다.
김 대표는 “어떤 EUV 광원을 쓸지는 그 목적에 따라 다르다”며 “이솔은 High Harmonic Generaton(HHG)를 활용해 자체적으로 EUV 광원을 생산하고 있다. 현재 EUV 장비 생산 기업 중 광원을 직접 만드는 곳은 ASML과 이솔이 유이하다”고 말했다.
현재 EUV 관련 장비를 만드는 기업은 여럿 있다. EUV 노광장비는 ASML이 독점하고 있으며 EUV 블랭크 마스크 검사장비와 패턴 검사장비는 일본 레이저텍이 100% 독점하고 있다. EUV 공정상의 결함을 수정하기 위한 ‘EUV 마스크 리뷰 설비’는 칼자이즈가 압도적인 광학기술을 바탕으로 우위에 서 있다.
이솔이 자랑하는 분야는 EUV 펠리클 투과율 검사장비다. 김 대표는 “펠리클 투과율 검사기는 전세계적으로 2~3개 기업이 경합을 벌이고 있다”며 “이솔 제품을 고객사가 약 10개월 쓰고 있는데 굉장히 만족스러워 한다. 펠리클 투과율 검사기는 우리가 최고 수준”이라고 자신했다. 특히 펠리클 투과율이나 반사율 정확도 측면에서 이솔의 장비는 압도적인 성능을 보이고 있다는 설명이다.
최근에는 EUV 마스크 리뷰 설비인 ‘SREM 330’ 개발을 마치고 현재 대형 고객사와 장비 세팅 작업을 진행 중이다.
뿐만 아니다. SREM 보다 속도 등에서 훨씬 빠른 FREM 장비도 순조롭게 개발 중이라고 덧붙였다. 김 대표는 “현재 개발 중인 FREM이 완성되면 세계에서 가장 빠른 EUV 검사가 될 것”이라며 “부가가치가 높고 최종 고객사가 원하는 높은 수준의 장비를 개발해 공급하는 것이 목표”라고 말했다.
디일렉=강승태 기자 [email protected]
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