SK하이닉스는 산업 AI 전문 스타트업 '가우스랩스'에서 지난해 11월 출시한 가상 계측 AI솔루션 Panoptes VM(Virtual Metrology)을 최근 양산 팹(Fab)에 도입했다고 10일 밝혔다.
Panoptes VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. Panoptes라는 이름은 그리스 신화에 나오는 눈이 백 개 달려 모든 것을 보는(the all-seeing) 거인 '판옵테스'에서 따왔다. 제조 공정 중 벌어지는 모든 일을 모니터링 하겠다는 의미를 담았다.
제조 공정에서 발생하는 실제 데이터에 AI 기술을 활용한 가상 계측 모델은 실제 계측 장비와 유사한 예측 정확도를 보인다. 이러한 가상 계측을 통해 제조사는 100% 전수 검사하는 것과 같은 효과를 볼 수 있다.
Panoptes VM이 우선적으로 도입된 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심적인 과정으로, 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 그러나 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측하는 것은 매우 어렵다.
SK하이닉스는 이를 해결하기 위해 박막 증착 공정에 Panoptes VM을 도입했다. 그 후 Panoptes VM을 통해 분석된 데이터 결과값을 APC(공정 진행 시 장비의 최적 공정 조건을 찾아주는 솔루션)와 연동해 공정 산포 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상되는 효과를 얻었다. 향후 SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다.
이번 AI 솔루션 도입에 대해 SK하이닉스 제조/기술 김영식 부사장은 "SK하이닉스는 가우스랩스와의 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다"며 "반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것이며, 이번 Panoptes VM 도입은 시작일 뿐"이라고 밝혔다.
디일렉=장경윤 기자 [email protected]
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