나노종합기술원이 국내 반도체 소부장 기업 지원을 위한 '12인치 반도체 소부장 테스트베드' 설명회를 개최했다. 설명회에는 반도체 업계 관계자들이 참여해 테스트베드 사업과 애로 사항 등을 나눴다.
나노종합기술원은 26일 판교 한국반도체산업협회 회관에서 '12인치 반도체 소부장 테스트베드 설명회'를 가졌다.
12인치 테스트베드는 2021년 3월부터 운영을 시작했으며, 국내 소부장 기업과 연구기관의 소재, 부품, 장비 기술개발 및 실증 성능 평가를 지원하기 위해 설립됐다.
현재 해당 시설은 300평 규모로 운영되고 있으며, Arf 이머전 스캐너, CD-SEM, 드라이 에처 장비 등을 보유하고 있다.
국내 최초 12인치 테스트베드가 구축되면서 국내 소부장 기업들의 관심도 뜨겁다. 지난해에는 총 81개 기관이 3444건의 서비스를 이용했다.
임성규 나노종합기술원 부장은 "테스트베드 설립 이후, 소부장 국산화에서 성과를 거두고 있다"며 "앞으로도 나노종합기술원은 기업들의 원천 기술 개발 후 사업화 과정에서 죽음의 계곡을 극복하는 가교 역할을 수행하겠다"고 말했다.
테스트베드 설명회 후에는 기업 관계자들의 의견이 쏟아졌다. 한 기업 관계자는 "제품 개발을 위해서는 시의성이 가장 중요한데, 시간이 오래 걸리는 등의 문제 해결이 필요하다"고 주장했다.
또 다른 기업 관계자는 "기업에서 사용하기에도 비용 부담이 큰데, 연구기관 등에서 테스트베드 사용하기에는 비용이 너무 높다"고 의견을 제시했다.
이에 대해 나노종합기술원 관계자는 "빠른 서비스 제공을 위해 플랫폼 형태의 지원을 준비하고 있다"며 "비용 부분에 대해서도 고민을 해보겠다"고 답변했다. 이어 "추후 테스트베드 이용자들의 애로사항을 청취하기 위해 지속적으로 설명회를 개최하겠다"고 덧붙였다.
이날 나노종합기술원은 테스트베드 지원 우수사례도 소개했다. 반도체 소재 기업 와이씨켐은 2021년부터 2022년까지 테스트베드 지원을 통해 Arf 이머전 레스트 개발에 성공했다. 해당 제품은 현재 국내 반도체 기업의 테스트를 받고 있는 것으로 알려졌다.
엘오티베큠도 테스트베드 지원을 통해 반도체 공정용 진공 펌프 국산화에 성공했다. 해당 제품은 실증 평가를 진행 중에 있으며, 원익IPS에 공급될 예정이다.
디일렉=노태민 기자 [email protected]
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