국내 반도체·디스플레이 장비 기업 디아이티가 SK하이닉스에 레이저 어닐링 장비 공급을 시작했다. 레이저 어닐링은 급속어닐링(RTA) 대비 뒤틀림 등 불량을 개선한 공정이다. 7일 업계에 따르면 디아이티는 최근 SK하이닉스로부터 레이저 어닐링 장비 퀄 테스트에 통과해 올 하반기부터 레이저 어닐링 장비를 소량 공급하기 시작한 것으로 알려졌다.  어닐링 장비는 이온 주입 공정 시 데미지를 입은 웨이퍼 복원에 사용된다. 이온 주입 공정은 3족 혹은 5족 원소(도펀트)를 주입해 웨이퍼에 전류가 흐르게 만드는 공정이다. 도펀트로는 붕소(B), 인(I), 비소(As) 등을 사용한다. 웨이퍼에 이온을 주입하면 3족·5족 원소와 실리콘(Si)이 공유 결합한다. 이 과정에서 도펀트가 결합하지 못하는 경우가 발생하는데, 이를 정상화시키는 게 어닐링 공정이다.  어닐링 공정은 열을 가해 도펀트와 Si를 연결한다. 히터를 이용한 퍼니스 방식에 이어, 현재 텅스겐 할로겐 램프를 이용한 급속어닐링 방식이 주류다. 퍼니스 방식은 고온 과정에서 공정을 진행해야 하는 단점이 있고, 급속어닐링은 웨이퍼 중앙 부분과 가장자리의 가열 온도가 달라 웨이퍼가 뒤틀리거나 단층이 발생하는 등의 문제가 있다.  레이저 어닐링은 이러한 문제점을 개선한 공정이다. 레이저 어닐링은 웨이퍼 결함부에 국소적으로 레이저를 조사해 열처리하는 방식이다. 퍼니스, 급속어닐링 방식 등의 열로 인한 불량품 문제에서 자유롭다. 현재 국내 반도체 업체들도 레이저 어닐링 공정을 도입 검토 중이다. SK하이닉스는 디아이티와 삼성전자는 이오테크닉스와 협력하고 있다. 업계 관계자는 "디아이티 레이저 어닐링 장비가 긴 평가 끝에 퀄 테스트 통과에 성공했다"며 "올 하반기에 소량 공급이 시작됐고 향후 수백억원 규모로 확대될 예정"이라고 말했다. 이어 "차세대 D램에 도입되기 때문에 확장성도 크다"고 덧붙였다.  신규 장비 공급이 본격화되면 디아이티의 실적 반등 속도도 빨라질 가능성이 높다. 지난 1분기 디아이티는 매출 241억원, 영업손실 15억원을 각각 기록했다. 이 가운데 자동광학검사(AOI) 부문 매출 비중은 93.7%에 달한다. 레이저 어닐링 장비 등을 판매하는 레이저 솔루션 부문 매출 비중은 2.7%에 불과하다. 디아이티는 SK하이닉스로의 레이저 어닐링 장비 공급에 대해 "고객사와 관련된 부분에 대해서는 확인해주기 어렵다"고 답변했다. 한편, 디아이티는 LG에너지솔루션의 배터리 검사장비 퀄 테스트도 진행 중인 것으로 알려졌다.

디일렉=노태민 기자 [email protected]
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