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독일의 화학기업 바커케미칼이 전구체 특수소재 ‘실란(silane)’을 개발했다. 실란은 반도체 제조 공정의 화학 증착 공정(CVD)에서 사용된다. 가열된 초고순도의 웨이퍼 표면과 반응해 유전 상수가 낮은 초박막 절연층을 형성한다. 연결 부품과 회로 사이에서 전자기 간섭을 막는다. 고집적 마이크로칩의 추세와 함께 주목받는다. 토마스 코이니 바커 실리콘 사업 총괄 사장은 “고도로 복잡한 고집적 컴퓨터 칩의 개발을 촉진할 제품이다. 인공지능, 자율주행, 클라우드 컴퓨팅 등 집중적인 연산 기능이 요구되는 애플리케이션에 필요한 만큼 중요성은 갈수록 커지고 있다”고 말했다. 바커는 반도체 소재 사업 포트폴리오를 계속해서 강화할 계획이다. 로랑 모리노 바커 실리콘부문 기능성솔루션사업부 총괄 로랑 모리노 부사장은 “실란과 같은 특수 소재는 개발 비용이 높고 품질 요건이 까다롭다”며 “앞으로도 계속 초점을 맞추고 사업을 확대할 계획”이라고 말했다.

이선행 기자 다른기사 보기