미국 화학소재 기업 듀폰이 2800만달러(약324억원)를 투자해 한국에 극자외선(EUV) 노광공정용 포토레지스트(PR) 생산 공장을 짓는다. PR는 지난해 7월 일본이 우리나라를 상대로 발표한 수출규제 3대 품목 중 하나다.
산업통상자원부는 미국 현지시간 8일 듀폰이 'EUV용 PR 개발·생산시설 구축'을 위한 투자신고서를 코트라에 제출했다고 밝혔다. 기존 생산 공장이 있는 충남 천안에 2020년부터 2021년까지 투자를 한다.
투자처는 EUV용 PR와 화학기계연마(CMP) 패드 생산이다. PR는 웨이퍼에 패턴을 형성하는 포토 리소그래피 공정에서 사용되는 재료다. EUV용 포토레지스트는 일본 의존도가 높다. JSR, 신에츠, 도쿄오카공업(TOK) 등 일본 기업이 세계시장에서 90% 이상을 점유하고 있다.
CMP패드는 반도체 웨이퍼 표면을 화학적, 기계적 방법으로 연마해 평탄하게 만드는 과정에 사용되는 재료다. 듀폰은 CMP 분야 세계시장에서 80% 이상 점유율을 가진 선두업체다. 이번 투자로 수입대체 효과와 CMP 원재료 생태계가 강화될 것이라고 정부는 기대했다. 정부는 듀폰 투자 부지를 외국인투자지역으로 지정하고 임대료 감면 등 혜택을 제공한다.
존 켐프 듀폰 사장은 투자신고서를 제출하는 자리에서 "EUV용 포토레지스트 개발·생산을 위해 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 것"이라고 밝혔다.
산업부 관계자는 "소재·부품·장비, 신산업 분야 유망기업에 대해서는 선제적으로 투자 인센티브를 제안해 협상할 것"이라며 "투자가 결정되면 정부‧해당 지자체‧유관기관 등이 합동 TFT를 구성해 투자 애로해소 등 적극적으로 지원할 방침"이라고 밝혔다.
