오버레이 계측 시스템 아처750, 트랜지스터 3D 구조 모니터링 스펙트라셰이프 11k
반도체 공정 계측장비 전문업체 KLA는 신형 오버레이 계측 시스템인 아처(Archer) 750과 트랜지스터 및 메모리 셀 등의 3D 구조를 모니터링할 수 있는 스펙트라셰이프(SpectraShape) 11k 출시했다고 26일 밝혔다.
아처 750은 칩 생산 시 각 레이어가 제대로 정렬됐는지를 검증하는 장비다. 이전에는 산란계측(scatterometry-based) 기반 오버레이 장비에서만 가능했던 생산성 수준을 달성했다고 KLA는 설명했다. 스펙트라셰이프 11k는 광학 임계치수(CD:Critical Dimension) 및 형상을 계측하는 장비다. 회사는 이전에는 접근 불가능했던 웨이퍼 형상을 볼 수 있게 해 준다고 강조했다.
존 매드슨 KLA 계측 부서 부사장은 "첨단 칩에 새로운 구조와 신규 물질이 접목되면서 IC 업체는 원자 단위로 측정을 해야 하는 상황에 직면해 있다"면서 "KLA 장비는 고품질 칩을 비용 효율적으로 생산할 수 있게끔 돕는다"고 말했다.
아처750과 스펙트라셰이프 11k는 글로벌 IC 제조업체 인증을 거쳐 현재 생산 라인 내에서 가동 중이다.
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