반도체 장비업체 ACM리서치가 화학 기상증착 장비인 울트라퍼니스를 공개했다.

ACM리서치는 11일 중국과 한국 지사의 협업으로 울트라퍼니스를 개발했다고 밝혔다. 해당 제품은 건식 공정용이다.

울트라 퍼니스는 최대 100장의 12인치(300mm) 웨이퍼 배치 공정을 할 수 있게 설계됐다. 일부 구성 요소와 레이아웃을 바꾸면 다른 공정에도 적용할 수 있다.

김영율 ACM리서치코리아 대표는 "최근 중국의 한 반도체 회사에 장비 납품을 완료했다"며 "아직 국내 기업(삼성전자, SK하이닉스)에 공급할 구체적인 계획은 없는 상태"라고 말했다.

설령 장비가 국내 공급에 성공하더라도 납품까진 다소 시간이 걸릴 전망이다. 회사 관계자는 "당초 이번 달 중국 지사에서 테스트를 마치기로 했으나 신종 코로나 바이러스(코로나 19)때문에 일정을 미뤘다"며 "오는 7~8월 완료를 목표하고 있다"고 밝혔다.

이어 "(생산) 라인이 가동되면 관련 데이터를 바탕으로 (국내 기업에 납품을) 타진할 예정"이라고 전했다.

이혜진 기자 다른기사 보기