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티씨케이 반도체 핵심 특허 일부 무효 SIC 링 시장 재편 신호탄인가
티씨케이 반도체 핵심 특허 일부 무효 SIC 링 시장 재편 신호탄인가
  • 박혜진 PD
  • 승인 2021.04.30 15:55
  • 댓글 0
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한: 오늘 도카이카본 코리아 티씨케이 얘기 한번 해보도록 하겠습니다. 이차장님 안녕하세요?

이: 안녕하세요. 이수환입니다.

한: 티씨케이 얘기 저희가 3월 30일 날 영상으로 한번 다뤘잖아요?

이: 했었죠.

한: SiC 링 다루는 전문회사라고 다양한 내용들을 저희가 그 안에 담았는데 이 영상 다시 처음 보는 분들을 위해서 티씨케이의 주력 제품인 SiC 링이 어떤 역할을 하는 부품이라 얘기를 좀 해주시죠.

이: 간단하게 말씀드리면 반도체 웨이퍼가 챔버 안에 들어가서 일련의 공정들을 거치잖습니까? 근데 일련의 공정들을 거칠 때 특히 식각 공정들 뭔가 깎아낼 때 웨이퍼를 잡아주고 보호해주는 역할을 쿼츠나 실리콘류를 썼는데 소모성 부품이거든요. 비싼데 이걸 오래 쓸 수 있고 그만큼 원가 절감이 가능한 SiC 링으로 대체한다는 거죠.

한: 말씀하신 원가 절감이라는 것은 오래 쓸 수 있기 때문에 챔버 뚜껑을 여닫는 횟수를 줄일 수 있다는 측에서 원가 절감이라고 말씀하신 거죠?

이: 네, 맞습니다.

한: 3D 낸드나 이런 쪽에서 많이 쓰이지 않습니까?

이: 낸드가 또 식각 공정이 굉장히 많이 들어가잖아요? 홀을 깊게 뚫어야 하니까 그러다 보니까 웨이퍼 투입되면 한 달 되는 시간에 갇혀있어야 하는데 뚜껑 열고 닫는 그 기회비용을 날린다는 건 굉장한 반도체 업체 입장에서는 아쉬운 비용들이죠.

한: 근데 지금 티씨케이 같은 경우는 거의 독점을 하고 있다시피 하고 있고 80% 이상 점유율을 차지하고 있다 하니까요. 그리고 영업 이익률도 30% 중반대를 훌쩍 뛰어넘는 굉장히 대단한 영업 이익률.

이: 제조업으로서는 정말 꿈의 영업 이익률인 거죠.

한: 그리고 또 회사 운영하다 보면 아마 제가 생각할 때는 제품 단위 영업 이익률은 그거보다 더 높을 수도 있어요. 왜냐하면 회사의 봉급으로 도카이카본에 송금한 돈도 있고 여러 가지가 있기 때문에 업계에서는 반 정도로 남기는 거 아니면 뭐 이런 식의 얘기들도 있는데 이게 되게 사실 어려운 기술들은 맞긴 하지만 후발 주자들이 계속 들어온 것을 특허로 누르고 있는 게 있는데 오늘 촬영 날짜가 4월 29일입니다. 근데 오늘 티씨케이 주가 완전히 폭락했잖아요.

이: 폭락했죠. 10% 이상 낮아졌고요. 빠졌고요.

한: 근데 왜 그렇게 빠졌는지 저희가 이유에 대해서는 사실 주가 빠진 데는 이유가.

이: 이유가 완전히 다양하죠.

한: 다양한데 4월 27일 날 후발 주자라고 해야 합니까? 경쟁사라고 해야 합니까? 그와의 특허 심판 결과가 하나 나온 게 있어요.

이: 나왔습니다.

한: 그게 오늘 얘기들이 좀 많이 돈 거 같은데 디에스테크노라는 회사랑 티씨케이가 일단 먼저 그 전에 무효 소송한 거 같은데 민사로 특허 침해에 대한 것을 티씨케이가 디에스테크노에 걸었고 디에스테크노는 걸어 있는 특허를 갖고 특허 무효 심판을 걸었죠. 근데 두 가지입니다. 특허가 두 가지인데 하나가 뭐냐면 특허 제1866869호 SiC 소재와 관련된 특허이고 또 하나가 특허 제1914289호 투과도가 다른 복수 개의 층을 갖는 SiC 반도체 제조형 부품 및 제조 방법에 대한 무효 심판인데 27일 날 나온 게 이거에요. 간단하게 설명을 해드리면 저는 사실은 이 특허 심판원의 심결 내용을 쭉 읽어보면서 이거 저희가 어떻게 입수를 한 건데 참 어려워요.

이: 법정 용어, 주문 같은 경우에도 의미 파악하기가 쉽지가 않죠.

한: 어려운데 어쨌든 특허의 청구 범위가 있는데 여기서 1항, 3항, 8항에 기재된 발명에 대한 특허를 무효로 한다. 그리고 나머지는 기각한다. 디에스테크노가 무효 소송한 거에 대해서 1항, 3항, 8항을 인용하고 나머지는 기각한다. 안 받아드리겠다는 건데 1항, 3항, 8항이 뭐냐면 제품에 관련된 겁니다. (*8개 무효 9개 유지*)링이 만들어지고 나면 나온 제품에 대한 특허에 대한 건데 그 특허가 뭐냐면 우리가 SiC 링을 그라파이트 위에다가 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방식으로 몇 층을 쌓아 올리지 않습니까? 3개 층 정도 쌓아 올린다고 보면 층별로 광 투과율이 다르다는 걸 티씨케이가 특허를 낸 거에요. 이게 디에스테크노 쪽에서 주장하고 또 이번에 특허 심판에서 받아들여진 요지는 뭐냐면 케이크를 만들 때도 빵을 삼단으로 쌓으면 두 개가 조금씩 다를 수도 있지 않습니까? 근데 다르다는 게 똑같을 수가 없잖아요? 다르다는 게 특허다. 말이 안 된다는 얘기로 이번에 인용했고 그리고 나머지 받아들여지지 않은 것은 장치에 대한 거예요. 만드는 방법, 만드는 장치에 대한 것들인데 그거는 기각이 되었지만 회피할 수 있는 최종 제품에 대해 걸려있는 특허 하나가 파괴된 거니까 만드는 건 회피할 방법이.

이: 회피할 수 있는 방법이 많이 있죠. 이게 처음에 나왔을 때 일부 인용, 일부 기각이었거든요. 근데 일부 인용된 부분을 보면 결국, 이 제품 자체에 대한 거니까 이건 사실상 굉장히 티씨케이 입장에서는 아킬레스건이 좀 당한 거다.

한: 항소는 하겠죠? 아마.

이: 항소는 당연히 하겠죠. 항소는 할 텐데 지금 나온 거는 이거고 하나 또 있습니다. 아까 제가 말씀드렸듯이 제1866869호의 SiC 소재 및 SiC 복합 소재에 관한 특허인데 지난번에도 저희가 말씀드렸지만 SiC가 딱딱하지 않습니까? 딱딱한 거에 대한 특허를 걸어놨다고 디에스테크노에서는 기초 물성에 대한 것을 특허로 거는 게 말이 되느냐는 게 디에스테크노의 주장입니다. 주장인데 그 주장은 계속하면서 강력한 증거를 하나 찾았다 그래요. 뭐냐면 이 특허 나오기 전에 이미 선행 특허가 똑같은 특허 하나 나와 있다는 걸 증거를 찾아서 제출했더니 티씨케이 쪽에서는 정정. 특허의 단어나 이런 용어를 정정하겠다고 신청을 했는데 그걸 또 디에스테크노가 막았어요. 정정하지 못하게 했는데 그건 디에스테크노 손을 들어줬고 정정할 수 있게 다시 해달라고 또 티씨케이가 뭘 걸어온 상태인데 복잡하게 돼 있는데 이 특허 같은 경우는 일단 아까 기초 물성에 대한 건 말이 안 된다는 주장을 하면서 선행 특허가 있기 때문에 무효라고 돼 버리면 정정에 대한 게 받아들여지지 않으면 이건 지는 거고요. 지게 되면 기초 물성 할 것 없이 이걸 더 행사할 수 없는 건데 만약에 진다.

이: 지면 어떻게 되는 건가요?

한: 디에스테크노, 케이엔제이 등등 여러 가지 이것을 하기 위해서 기다리고 있는 후발 주자들이 시장에 튀어나오기 시작하면서 삼성전자나 이런 쪽에서는 때는 이때다 싶어서 다변화를 굉장히 강력하게 하겠죠. 결과는 또 나와봐야 하겠지만 지금 어쨌든 두 개 특허 중의 하나가 이런 결과가 나왔고 또 항소가 이어질 것이기 때문에 결과적으로 봐선 시간 더 걸릴 거다.

이: 그렇겠죠.

한: 그 중간 과정에서 저희가 찾아낸 것들을 알려드리려고 저희가 영상 찍는 거 아닙니까?

이: 그니까 제품 자체에 디에스테크노가 강력하게 특허를 걸어놨다는 거는 업계에서 좀 많이 알려진 사실이었는데 그걸 피할 수 있는 열쇠가 좀 만들어졌다는 점에서 의미가 있겠네요.

한: 디에스테크노가 걸어논 게 아니고 티씨케이가 걸어논 거에요.

이: 티씨케이가 걸어논 거죠.

한: 티씨케이가 걸어논 건데 풀려버리면 이쪽도 춘추전국시대처럼 다 뛰어 들어오기 시작하겠죠. 디에스테크노 같은 경우는 이미 삼성전자하고 협력사 거래 업체 등록도 했고 그랬기 때문에 삼성 내부에서도 이걸 다변화를 해야 비용을 좀 줄이는데.

이: 특히 도카이카본 티씨케이라고 하면 와닿지는 않지만, 이 회사가 일본 회사지 않습니까?

한: 한국 회사죠. 한국 회사인데 일본 자본의 자회사다. 이렇게 얘기를 했기 때문에 그렇게 얘기할 수 있죠.

이: 2년 전에 일본에서 여러 가지 불산이라든지 불화수소나 이런 것들에 대해서 여러 가지로 무역 분쟁이 좀 있었고 또 웬만하게 국산화를 할 부분들은 국산화하겠다는 게 삼성이나 하이닉스나 정부의 의지기 때문에 어떤 물꼬가 좀 될 수도 있어 보입니다.

한: 근데 일본계 자본의 자회사라서 그런지 몰라도 티씨케이는 저희가 몇 번 접촉하려고 연락해봐도 그쪽 대답은 미디어 쪽에는 어떠한 얘기도 할 수 없다는 답만 되돌아오기 때문에 저희가 한쪽 얘기만 듣고 이렇게 얘기할 수밖에 없는 상황인데요. 혹시라도 이 영상을 보시고 반론의 기회를 달라고 한다면 저희가 드리겠습니다. 얘기해주시면 충분히 실어줄 테고 지금은 전혀 언로가 막혀있죠.

이: 확실히 일본 기업들이 국내에 지사가 있고 공장도 있고 담당 직원도 있는데 본사에 문의를 해야 된다거나 이런 식으로 회피하는 경우가 꽤 많이 있죠.

한: 어쨌든 결과적으로 말씀드린다면 오늘 중간 과정을 저희가 말씀드렸고 완전하게 결론이 나려면 시간이 엄청나게 많이 걸릴 것이다. 만약에 티씨케이가 진다고 한다면 경쟁이 굉장히 치열해질 것이다. 대기하고 있는 회사들 많이 있거든요. 디에스테크노가 산 모은 장이지만 아까 말씀드린 케이엔제이도 그렇고 기존에 링 만드는 회사들 쿼츠 링이든 실리콘 링 만드는 회사들도 다 들어와서 하나머티리얼즈 같은 회사들도 들어와서 하면. 물론 하나머티리얼즈에는 건건 아니지만 제일 잘하는 사람 하나 때려야 밑에도 퍼지는 거니까 전장을 넓힐 필요는 없으니까 하나만 지금 때리고 있는데 여기서 진다면 어쨌든 경쟁은 굉장히 치열해지고 이익률은 떨어질 수밖에 없을 것이고 매출이 떨어질지는 모르겠지만 매출 성장률도 지금처럼 그렇게 급격하게.

이: 급속하게 올라가기에는 좀 쉽진 않죠.

한: 어렵겠죠? 여기까지 할까요?

이: 여기까지 하시죠.

한: 고맙습니다.

이: 고맙습니다.



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