램테크놀러지가 충첨남도 당진에 불화수소 신공장을 증설하려 했지만, 지역 주민들의 반대로 인해 해당 지자체로부터 건축 불허 결정을 받았다. 이에 램테크놀러지는 당진시에 행정소송을 제기한다는 입장이다. 당진시청 허가과는 지난 9일 램테크놀러지의 공장증설 허가 신청에 대해 불허 결정을 내리고 반려했다. 램테크놀러지 관계자는 "건축 허가를 받기 위해 제출한 서류에서 법적으로 문제가 없었으나, 주민 수용성 문제로 반려됐다"고 설명했다. 이어 "변호사를 선임해 충남도지사 또는 당진시장을 대상으로 행정심판을 청구하고, 관할 법원에 행정소송도 제기할 예정"이라며 "행정심판은 두세달 정도 소요되지만, 행정소송의 경우에는 대법원까지 가게 되면 장기화될 수 있다"고 전했다. 당진시 관계자는 "주민들이 램테크놀러지의 충남 금산의 생산공장에서 사고가 났던 이력에 대해 걱정하고 있다"며 "주민 의견 등을 수렴하고 관련 부서들이 최종 검토한 결과 불허하기로 결정했다"고 설명했다. 램테크놀러지는 지난해 11월 당진 석문국가산업단지로부터 불화수소 공장 입주가 승인받았다. 신공장은 2022년 완공을 목표로 부지 면적 2만3948㎡의 규모로 건축될 예정이었다. 신공장 가동 시 불화수소 생산량이 기존 월 2100톤에서 월 1만3000톤으로 약 6배 이상 증가할 것으로 기대됐다. 하지만 이번 불허 결정으로 당진 공장 증설은 장기간 파행이 불가피할 전망이다. 

불화수소는 반도체 주요 공정 중 세정 작업에 필수적으로 쓰이는 소재다. 이 소재는 모리타, 스텔라 등의 일본 회사들이 70% 이상의 점유율을 차지하고 있다. 불화수소는 2019년 일본 정부가 한국에 수출 불허를 한 반도체 핵심 3대 소재 중의 하나다. 이후 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯해 반도체 소재 업체들이 대안책을 찾기 위해 나선 결과 국산화에 성공했다. 현재 램테크놀러지는 SK하이닉스에, 솔브레인은 삼성전자에 불화수소와 에칭가스를 납품하고 있다.