지난 2분기 국내 반도체 장비 업계는 호실적을 기록했다. 반도체 슈퍼사이클(장기호황)에 따른 주요 반도체 업체의 시설투자 확대 영향 덕분이다. 이 같은 추세는 하반기에도 이어질 전망이다.  20일 <디일렉>이 국내 반도체 장비 업체 31곳의 2분기 실적을 분석한 결과 분기 매출 1000억원이 넘는 장비업체가 작년 5곳에서 올해 9곳으로 늘었다. 세메스, 원익IPS, 에스에프에이, 케이씨, AP시스템, 피에스케이, 이오테크닉스, 한미반도체, 테스 등이다. 세 자릿수 이상의 매출 성장률을 기록한 업체는 와이아이케이, 뉴파워프라즈마, 주성엔지니어링, 인텍플러스, 엑시콘 등 5곳이다. 제너셈, 엑시콘은 흑자전환에 성공하며 장비 업계 상승세에 올라탔다. 반면 유니테스트와 예스티는 적자전환에 들어가며 부진했다.  삼성전자의 장비 자회사인 세메스는 분기 기준으로 사상 처음으로 매출 1조원대를 달성했다. 세메스의 2분기 매출은 1조43억원으로 전년 동기 보다 57.9% 증했고, 영업이익은 1283억원으로 전년 동기 보다 7.6% 늘어났다. 세메스의 매출에서 반도체가 차지하는 비중은 올해 상반기 기준으로 76.5%에 달한다. 그 중에서 고객사의 신규 라인에 설치되는 물류자동화장비 OHT(OverHead Transport)이 차지하는 매출 비중이 가장 높았다. 주력 장비인 코팅 장비, 식각 장비 등도 매출 성장을 이끌었다.  원익IPS는 매출 4325억원, 영업이익 1007억원으로 전년 보다 각각 42.6%, 96.7% 증가했다. 특히 2분기 반도체향 매출액은 지난해보다 40% 증가한 3678억원으로 역대 최고 수준을 기록했다. 삼성전자향 낸드 매출이 늘어난 덕분에 2분기 낸드향 매출은 작년 연간 낸드 매출과 유사한 수준을 기록했다.  피에스케이는 매출1257억원, 영업이익은 316억원으로 전년동기 보다 각각 93.7%, 305% 증가하며 괄목할만한 성적을 냈다. 피에스케이는 '포토레지스터(PR) 스트립 장비' 업계 1위이며 이 장비의 매출 비중은 60%에 달한다. PR 스트립은 D램, 낸드, 비메모리 등에 쓰이는 전공정 장비이기 때문에 국내뿐 아니라 글로벌 고객사에게 공급량이 늘면서 매출에 반영됐다.  한미반도체는 매출 1089억원, 영업이익 364억원을 기록하며 전년 동기 보다 각각 75.9%, 82%로 껑충 뛰었다. 한미반도체가 분기 매출 1000억원을 넘긴 것은 이번이 처음이다. 한미반도체는 후공정에서 웨이퍼를 절단 검사하는 '비전 플레이스먼트 장비' 시장 1위이며 'EMI 실드 장비'도 주력한다. 최근 시스템반도체 수요 증가로 국내외 후공정 업계의 투자가 늘면서 한미반도체는 수주 물량이 지난해 하반기부터 늘어났다. 2분기에는 EMI 실드 장비에 들어가는 '마이크로쏘 장비' 국산화에 성공했고 삼성전기, 칩패킹테크놀로지, UTAC 등의 고객사를 확보해 첫 생산을 시작했다.  메모리 테스트 장비 업체들의 실적이 눈에 띄게 상승했다. 내년부터 DDR5 전환에 따른 신규 장비 공급이 발생하고 있기 때문이다. 와이아이케이는 2분기 매출 995억원, 영업이익 170억원으로 전년 동기 보다 각각 115%, 143% 세 자릿수로 증가했다. 이 회사는 지난 4월에만 삼성전자에 두차례에 걸쳐 약 665억원 규모의 메모리 웨이퍼 테스트 장비 계약을 체결한 바 있다. 와이아이케이의 계열사 엑시콘도 매출 138억원으로 전년 동기 보다 334% 증가, 영업이익은 흑자전환했다. 주력 장비인 SSD 테스트 장비 공급이 증가한 덕분이다. 올 하반기에는 신규 장비인 메모리 번인 테스트 장비 매출이 발생될 예정이다.  디아이도 매출 804억원, 영업이익 112억원으로 전년 동기 보다 각각 67%, 80% 증가하며 좋은 성적을 냈다. 다이아는 삼성전자향 DDR5용 번인테스터를 상반기에만 1118억원(6건), 낸드용 번인테스터는 51억원을 수주한 바 있다. 본격적인 납품은 3분기부터 진행될 전망이다. 주성엔지니어링의 영업이익은 120억원으로 전년 동기 보다 60배가량 뛰면서 가장 높은 성장세를 보였다. 매출은 722억원으로 전년 동기 보다 103.4% 증가했다. SK하이닉스에 원자층증착(ALD) 장비를 다량으로 단독 수주한데 따른 실적이다. 2분기 반도체 장비 매출액은 490억원대를 기록했고, 디스플레이 장비도 230억원대의 매출을 올리며 견조한 성적을 거뒀다.  유진테크는 매출 529억원, 영업이익 62억원으로 전년 동기 보다 각각 16.3%, 75.7% 증가했다. 유진테크의 주력 사업은 화학기상증착장비(LPCVD), 플라즈마, ALD 등의 전공정 장비다. 신규 장비인 배치(Batch) ALD 장비가 1분기 SK하이닉스에 이어 2분기부터 삼성전자에 공급하면서 매출 성장을 이끌었다. 이 장비는 일본 고쿠사이의 장비 물량을 대체했다는 점에서 의미가 있다.  반도체 후공정 외관검사장비 업체인 인텍플러스도 크게 개선된 실적을 보였다. 매출 306억원, 영업이익 68억원을 기록하며 전년 동기 대비 각각 178.2%, 466.7% 증가했다. 삼성전자, SK하이닉스에 이어 대만, 일본 OSAT 업체들로 고객사를 확대에 성공했기 때문이다. 인텍플러스는 지난해 신규 일본 고객사인 교세라, 이비덴 등으로부터 장비 수주를 따냈다. 내년 대전 신공장이 가동되면 장비 생산능력이 2배 확대될 예정이다.  후공정 장비 업체인 제너셈은 제품 다각화에 성공하며 흑자전환했다. 2분기 매출은 196억원으로 전년 동기 대비 98% 증가했고 영업이익은 40억원이다. 신사업의 일환으로 지난 2016년도 개발한 EMI 실드 장비도 본격적으로 매출에 기여하기 시작했다. 또 신규 장비인 16파라(parallel) 비메모리 테스트 핸들러도 지난 2분기 국내 OSAT 업체에 공급한 것으로 알려져 있다. 

반도체 장비 업계는 하반기에도 실적 상승세가 이어질 전망이다. 삼성전자는 평택캠퍼스 2라인(P2)과 중국 시안 2공장에 투자에 주력하고 있다. 현재 구축중인 평택 3라인(P3)이 내년 하반기에 완공되면 장비 주문이 늘어날 전망이다. SK하이닉스는 내년 시설투자의 일부를 올해 하반기로 앞당겨 집행하기로 결정하면서 장비 주문량이 늘었다. 
 
국제반도체장비재료협회(SEMI)는 글로벌 반도체 산업의 장비 투자액은 올해 15.5% 성장해 700억달러(약 82조6140억원)을 넘어설 전망이다. 내년에는 12% 상승해 800억달러(94조4160억원) 이상을 기록할 것으로 내다봤다.