진행 : 디일렉 한주엽 대표
출연 : 레드일렉 이종준 심사역
“EUV 같은 경우에는 이산화탄소(CO2)랑 수소를 쓰는 걸로 저는 알고 있는데 주석(Sn)이 일부 들어가는지는 잘 모르겠지만요. (※ CO2 레이저를 이용해 액상 주석 방울(droplet)에 쏜 결과, 방출된 빛을 모아 EUV 광원으로 씀. 수소는 주석(Sn) 부스러기 세정용.) 어쨌든 KrF(불화크립톤) 혹은 ArF(불화아르곤)라고 하는 걸 보면 크립톤(Kr)하고 아르곤(Ar) 같은 경우에는 비활성 기체고 불소는 굉장히 반응성이 좋고요. 이렇게 우리가 빛을 낼 때 원자 혹은 분자가 결합을 하게 되는 겁니다. KrF(불화크립톤), ArF(불화아르곤) 이런 식으로 순간적으로 에너지를 얻었다가 이게 내려오면서 여기 상태에서 내려온다고 하는데 내려오면서 빛이 나옵니다. 이것도 특정 파장의 빛이 나오는데요.”
-마무리 좀 편하게 해주시죠. “이게 레이저라고 하니까 좀 더 그렇긴 한데요. 레이저 같은 경우 증폭이 더 들어가니까요. 우리가 사실 OLED 발광 같은 경우도 원리는 비슷합니다. 전기를 특정 물질에 가하고 그러면 에너지를 받게 되고 에너지를 올라갔다가 에너지가 내려갔을 때 방출, 이게 광자라는 건 빛이죠. 빛 에너지가 방출되는데 광자(Photon), 이게 에너지가 일정하다는 사실이 예전부터 밝혀졌고요. 그러다 보니까 같은 파장의 빛을 계속 똑같은 빛을 낼 수가 있는 겁니다.” -네온 얘기는 그럼 언제 나오게 됐습니까? “네온 같은 경우에는 KrF(불화크립톤)가 됐든지 혹은 ArF(불화아르곤)가 됐든지 간에 에너지를 얻었다가 이렇게 내려오면 특정한 파장의 빛이 나온다고 제가 말씀을 드렸죠. 이거를 계속 중첩을 시키면 이게 레이저인 겁니다. 그렇게 만들려면 두 가지 물질만 넣는 게 아니고 여기서는 KrF는 크립톤하고 불소가 되겠고 ArF는 아르곤하고 불소가 되겠죠. 그것만 넣는 게 아니고 네온가스를 넣어야 됩니다. 그러니까 레이저 발생기라고 해야 될까요. 거기에다 가스를 채워 넣는데 거기에 가스가 네온가스가 95% 이상 들어가고요.” -많이 들어가네요. “나머지가 KrF(크립톤과 불소) 혹은 ArF(아르곤과 불소) 이렇게 들어갑니다.” -한 번 가스를 쓰게 되면 계속 필요한 거죠? “대부분의 제품 혹은 물질이랑 원리가 비슷한데요. 우리가 일상적으로 접하는 배터리를 예로 들면 배터리 아무리 잘 만들어도 이렇게 오래 쓰다 보면 우리가 보통 디그라데이이션(degradation)이라고 표현을 하죠. 퍼포먼스가 점점 떨어지는, 엑시머 레이저도 마찬가지입니다. 그러니까 반도체 공정이라는 게 지구상의 거의 모든 산업군 가운데 최고 수준을 요구하는데, 이 레이저도 마찬가지입니다. 그래서 조금만 떨어져도 안 되기 때문에 레이저 가스들을 바꿔줘야 됩니다. 제가 알고 있기로는 한 2주에 한 번 정도 정기적으로 바꿔야 합니다.” -네온가스 얘기가 길어졌는데, 어쨌든 중요한 것은 노광공정할 때 쓰는 레이저죠. 이레이저를 발생할 때 네온가스가 쓰인다는 거구요. 노광이 되게 중요한 공정인데, 이거(네온가스)는 계속 해외에서 우리가 수입을 해왔었나요? “그렇습니다.” -그러면 지금 한국에서는 없습니까? “이번에 국산화를 했고 그 얘기를 하려고 합니다.” -어디입니까? “티이엠씨(TEMC)라는 곳입니다.” -TEMC.“올해 초에 포스코와 협력해서 네온가스를 국산화했다고 발표를 했습니다. 바로 어제죠(※ 촬영일 10월6일 기준). SK하이닉스에서 보도자료를 통해서 올해 4월에 TEMC에 네온가스를 노광공정에 도입을 했고 그리고 현재는 전체 네온 사용량의 40%를 TEMC의 가스로 대체를 했으며 2024년에는 전량 국산화를 하겠다는 계획을 밝혔습니다.”
-TEMC라는 회사는 대박이네요. 뭐 이렇게 얘기할 건 아니지만... “그러니까 외부적인 요인, 우크라이나와 러시아가 전쟁을 하면서 네온가스의 가격이 폭등을 하면서 훨씬 국산화에 대한 요구가 커졌고요. 그렇게 기술개발을 그동안 열심히 해왔고 그리고 때마침 기술 개발이 완료돼서 지금 수요 기업에서도 “쓰는데 문제없다”라고 발표를 한 거니까요.” -사실 TEMC라는 기업은 SK하이닉스하고 굉장히 끈끈한 관계를 갖고 있는 기업 아닙니까? “2018년 SK하이닉스 기술혁신기업 2기입니다. SK하이닉스 기술혁신기업이라는 게 말만 들어도 협력사 동반성장 프로그램 그러니까 SK하이닉스가 많이 도와줄 수 있는 거고 끈끈한 관계가 되는 것이죠. 기술혁신기업 같은 경우는 올해는 6기였습니다.” -6기. 과거 6년 동안 계속 매년 뽑아왔다라는 거죠? “그렇습니다.” -몇 개 기업씩 뽑나요? 1기에 우리가 잘 아는 오로스테크놀로지 혹은 에이피티씨(APTC)는 그 이후에 상장 한 걸로 알고 있는데요. “TEMC 같은 경우에는 4년 전에 선정이 됐고 그때 개발을 열심히 했고 성과가 지금 나왔고요. 그리고 올해 7월에 상장 신청을 지금 해놓은 상태입니다.” -상장하는 거군요. 상장하겠는데요? 이렇게 SK하이닉스에서 전량 국산화 계획을 밝혔을 정도면... 이게 또 기술혁신기업이기 때문에 전량 국산화랑 어차피 여기밖에 없으니까 지금 그렇죠? “그렇습니다. 당연히 네온가스 가격이 올라가기 때문에 이거를 국산화하려고 혹은 다른 판매 루트를 가지려고 하는 기업들은 꽤 나타났지만 아무래도 가장 앞선 그러니까 이걸 실제로 만들어낼 수 있는 기업 중에서는 가장 앞선 기업으로 보입니다.” -SK하이닉스 기술혁신기업이라는 프로그램을 참 잘 만든 것 같아요. 주로 비상장사 위주로 가능성이 있는 부품이나 장비나 소재에 대해서 공급할 수 있는 뭔가 잠재력이 있는 기업을 우리가 딱 선정해서 뭔가 R&D에 대해서도 문호를 개방해서 같이 연구개발도 많이 하고 커뮤니케이션도 계속하고 또 필요하면 금융 지원도 많이 해주는 건데요. 일단 여기 들어가는 것 자체로 그쪽 업계에서는 회사 가치가 몇 배는 뛴다라는 얘기가 있을 정도로, 뒤에 얘기하겠지만 유비머트리얼즈 같은 회사는 이거 되자마자 여러 군데서 돈 구하러 다니는 모습도 보이기도 했지요. TEMC는 대박이네요. 오늘 날짜가 10월 6일이고 어제 10월 5일날 보도자료를 냈다는 거죠? “그렇습니다.” -TEMC에 관심 보인 곳이 여러 군데 있다면서요?“올해 초에 삼성벤처투자(SVIC52호신기술사업투자조합)에서 TEMC에 지분 투자를 좀 했습니다. 프리IPO 성격의 투자겠죠.(※SVIC52호 투자 이후에도 벤처펀드로부터 후속투자 유치)”
-밸류는 얼마죠?“그것까지는 제가 확인을 못했는데(※포스트벨류 1500억원 가량) 지분율은 그렇게 적지 않고, 한 10%대로 투자한 것으로 보입니다. 그리고 당연히 SK그룹에서 출자한 펀드가 TEMC에 지분 투자도 돼 있고 포스코도 마찬가지로 같은 형태로 하고요. TEMC 같은 경우에는 말씀하셨던 것처럼 반도체 산업에서는 꽃길을 걸어가고 있었는데, 이번 SK하이닉스 발표로 레드카펫이 깔린 게 아닌가 생각이 듭니다.”
-레드카펫? “왜 그럼 포스코랑 좀 관련이 있냐라고 하면 네온가스가 원래 대기 상에는 굉장히 적은 양을 가지고 있고 그래서 이걸 포집을 하려면 대규모 설비가 필요하고 걸러줘야 되니까요. 그래서 제철소에서 네온가스를 분리해 낸다고 하고.” -TEMC는 아무튼 대박이네요. SK하이닉스의 기술혁신기업 2기라고 하셨잖아요? 같은 기수에 뽑힌 기업들이 있죠? “2기에 3곳이 뽑혔는데. TEMC 그리고 미코 등이 있습니다.” -미코는 워낙 유명한 회사죠. “당시에도 상장사였고요. TEMC, 미코, 유비머트리얼즈 이렇게 3곳이 있었는데, 미코 같은 경우가 당시에도 상장사였고 그런데 선정될 당시에는 SK하이닉스가 관심을 가졌던 사업은 세라믹으로 만든 반도체 부품이었던 것 같고요. 그래서 2020년에 미코에서 이 사업을 물적분할을 했습니다. 그래서 미코세라믹스가 되었는데, 그 회사는 물적분할을 하면서 투자를 많이 받았고 그중에 한 곳은 삼성전자가 직접 투자하기도 했고요.” -지금 같으면 물적분할 못 할 텐데 말이죠. 여러가지 이유로 주주들의 반대가 꽤 있고 DB하이텍도 그렇고 풍산인가요? 거기도 그렇고 LG에너지솔루션의 아주 나쁜 선례를 남긴 거 아닌가 이런 생각도 좀 드는데. 어쨌든 그때 물적분할 잘했군요. “그렇습니다.” -유비머트리얼즈는 어떻습니까? “유비머트리얼즈가 SK하이닉스 기술혁신기업 2기의 '아픈 손가락'입니다. TEMC는 앞서 말씀드렸다시피 꽃길에 레드카펫까지 깔렸고, 미코세라믹스는 원래 그냥 잘 포장된 도로 계속 가고 있었죠. 그런데 유비머트리얼즈는 거의 자갈밭을 지금 가고 있는 상황이 아닌가 싶습니다. 비유하자면...” -레드카펫과 잘 포장된 도로, 그리고 여기는 자갈밭이라... 작년에 여기 어디에 팔렸다면서요? “작년 말에 이엔에프테크놀로지에서 인수했습니다. 중견기업이죠.” -재료 잘하는 기업 아닙니까. “그렇습니다. 이엔에프테크놀로지가 유상증자를 통해서 유비머트리얼즈 지분 60%를 확보를 했습니다.” -얼마를 넣었습니까? “인수 금액은 150억원 정도입니다.” -60%에 150억원이면 300억원 넘는 거네요. 전체 밸류로 따지면. “300억원이 조금 안 돼죠.” -그렇죠. 60%에 150억원이니까. 300억원이 조금 안 되는 밸류로 이렇게 한 건데, 왜 한 거죠? 그 전에 유비머트리얼즈는 뭘 하는 회사입니까?“그거는 제가 확인은 할 수 없었는데요. 작년까지 이엔에프테크놀로지에서 인수를 하기 전까지 20% 넘는 최대주주로 박재근 교수가 계셨으니 아마도 설립 때도 박재근 교수가 최대주주이지 않았을까 싶습니다. (※2018년부터는 최대주주였던 것으로 확인)”
-자본금이 19억원이면 적은 돈은 아닌데요. “그렇습니다.” -증자를 어디서 받아나요? 그거는 뭐 우리가 모르겠습니다만... “그 뒤에 여러 번 증자를 받았고요.” -근데 설립 당시에 시드를 얼마나 높은 밸류로 증자를 받았는지 어쨌는지, 19억원 이렇게 가니까 예전에 마치 무슨 디스패치 나오는 무슨 빗썸 회장 얘기가 생각나네요. “230억원은 어디서 난 돈인가” 이런 얘기 나오는 것 같은데 그건 잘 모르겠고요. 어쨌든 그렇게 해서 유비머트리얼즈가 텅스텐 CMP 슬러리 기술을 확보를 하게 되었군요. “그렇습니다. 제가 이렇게 길게 말씀을 드렸던 이유는 유비머트리얼즈의 기술이 유비프리시젼으로 이전을 받았다고 했는데, 그렇게 볼 게 아니라 박재근 교수팀이 원래 가지고 있던 기술이 유비프리시젼과 연구를 통해서 유비프리시젼이 가지게 되고, 거기서 장비도 여러 대 샀죠. 그거를 다시 유비머트리얼즈로 가져갔으니 박재근 교수께서 처음부터 어느 시점인지 모르겠습니다만, 본격적으로 사업에 뛰어들어야 되겠다라고 생각하신 시점이 어느 시점인지는 저는 확인할 수는 없지만, 박재근 교수께서 다 설립을 하셨다 혹은 다 준비도 하셨다라고 보는 게 적절하지 않을까 생각합니다." -그렇군요. 이 회사가 SK하이닉스의 기술혁신기업 2기로 선정됐던 당시에 제가 아까 백운규 전 산자부 장관(한양대 교수) 얘기를 한 건 당시 그분이 장관할 때 기술혁신기업이 됐거든요.” “2018년이죠. -2018년입니까? 기술혁신기업이 되었고 그래서 여쭤본 건데요. 연구를 같이 참여한 건지는 잘 모르겠다고 하시니까. 그때 되고 나서 들리는 얘기로는 어쨌든 뭔가 기술혁신기업이 되면 SK하이닉스에서 많이 도와주니까요. 그런데 그때도 파이프는 다 물려났고 했는데 언제 매출이 나냐 안 나냐 했는데, 매출이 계속 안 나고 투자받은 돈 다 까먹고 좀 힘들다는 얘기는 제가 들었던 것 같은데요. “이엔에프테크놀로지에서 만약 증자를 통해서 돈이 들어오지 않았으면, 작년 같은 경우에도 완전 자본잠식 상태였으니까요.” -매출이 없죠? “매출이 작년 기준으로 4000만원이었습니다.” -4000만원이요. “네. 이엔에프테크놀로지에서는 이렇게 공시도 안 하죠. 왜냐하면 이게 신사업 진출을 하는 이엔에프테크놀로지 입장에서는 매출액이 4000억~5000억원대의 중견기업인데, 신사업으로 “CMP 슬러리를 하겠다”라고 했는데 그거에 대한 자세한 내용을 들을 수가 없어서요.” -공시사항인가요? 아니 어쨌든 타법인 출자한 거니까 그게 자율공시예요? “그게 자율이기 때문에 안 한 것이 아닐까요. 왜냐하면 이엔에프테크놀로지는 규모가 크니까요. 매출이 4000억~5000억원 되는 회사라서 그럴 수도 있겠다는 생각은 드는데요. 어쨌든 그래서 작년에 재무적으로도 안 좋았고 매출 쪽으로도 안 좋았고요.” -매출이 없었니까 재무가 안 좋을 수밖에 없죠. 왜냐하면 기술혁신기업 2기 선정되고 나서부터 주성엔지니어링인가요, 그 기업이 직접 출자를 하기도 했죠. “주성엔지니어링도 출자를 했습니다.”-기술혁신기업 되고 난 다음에, 메카로에서는 금전대여를 아마 10억원인가 15억원인가 좀 찾아봐야 알겠지만, 10억입니까?(※15억원, 현재는 대여금 회수) 하여튼 그 정도 금액을 금전대여를 받아서 했는데 그 돈은 다 까먹고 없어졌고, 결국 주인이 바뀌었군요.
“그럼 이엔에프테크놀로지 입장에서는 여기를 왜 샀을까? 작년 같은 경우에 유비머트리얼즈의 지분 상태를 살펴보면 여기가 RCPS(상환전환우선주)라고 하죠. 어쨌든 우선주가 꽤 있었는데 그걸 다 보통주로 전환을 했습니다. 인수 전에 조건이었을 수도 있겠지요. 이엔에프테크놀로지 측에서... 그런데 우리가 보통 기업들을 봤을 때 우선주를 보통주로 다 전환하는 경우는 상장 직전에 보통 많이들 합니다. 그런 구상도 외부에서 보면 가능할 수 있을 것 같습니다. 이엔에프테크놀로지 입장에서는 CMP 슬러리 신사업을 여기가 SK하이닉스 기술혁신기업이기도 하고 선정이 됐기 때문에 기술특례상장이라든지를 통해서 IPO를 생각하는 거 아닌가하고 그렇게 볼 수도 있고요.” -지금 같은 상황이면 기술특례상장은 어렵지 않겠습니까? “유비머트리얼즈 같은 경우에는 이엔에프테크놀로지로 인수되고 나서 올해 6월까지 반기 매출은 한 4억원대까지 늘었습니다.” -이엔에프테크놀로지는 워낙 경영을 잘하는 회사니까요. 거기 들어가면 어떻게 잘 이렇게 만들어 갖고요. 국산화가 잘 되면 좋겠습니다. “그렇습니다.” -다른 나라 기업에서 좀 많이 사서 쓰니까요. 이 정도까지 하죠. 그래서 유비머티리얼즈는 '아픈 손가락'이고, 물론 또 꽃길로 갈 수 있겠죠. “그렇습니다. 언제 또 바뀔 수도 있습니다.”저작권자 © 전자부품 전문 미디어 디일렉 무단전재 및 재배포 금지
