반도체 식각장비 제조기업인 에이피티씨(APTC) 전 대표인 김남헌씨가 지난해 식각장비 기업인 ‘나이스플라즈마(NysePlasma)’를 설립한 것으로 뒤늦게 확인됐다. 김남헌씨는 현재 에이피티씨 대주주로, 최근 회사를 상대로 경영권 분쟁 관련 소송을 제기한 상태다. 본인이 최대주주로 있는 회사(에이피티씨)의 잠재적 경쟁업체가 될 수 있는 장비회사를 설립한 와중에, 경영권 분쟁도 제기했다는 점에서 향후 논란이 예상된다. 26일 업계에 따르면 김남헌 전 대표는 지난해 6월25일(설립등기일 기준) ‘나이스플라즈마’란 이름의 반도체 장비 기업을 설립했다. 김남헌 전 대표는 에이피티씨 창업자이자, 약 13.9%(특수관계인 지분 포함)의 지분을 보유한 최대주주다. 김 전 대표가 설립한 나이스플라즈마의 주력 제품은 유전체 식각(dielectric etch) 장비다. 등기사항전부증명서 및 나이스플라즈마 홈페이지에 따르면 김 전 대표는 지난해 7월 법인을 설립한 후 그해 11월 테스트 제품 개발에 착수했다. 올해 5월에는 벤처기업 인증을 받고 7월부터 시스템 제품 개발을 진행하고 있다. 최근에는 일부 투자 유치도 받은 것으로 전해진다. 나이스플라즈마는 내년부터 매출을 일으켜 2025년 연매출 2500억원 달성을 목표로 하고 있는 것으로 알려졌다. 식각(Etching)은 반도체 핵심 제조 공정 중 하나로 회로 설계에 맞게 반도체 웨이퍼를 미세하게 깎는 작업을 말한다. 식각 공정은 화학물질을 사용하는 습식과 기체 및 플라즈마를 활용하는 건식 방식으로 구성된다. 건식은 습식보다 미세한 공정이 가능하다는 점에서 건식 방식이 주로 쓰이고 있다.  건식 식각 장비는 대체로 플라즈마를 통해 이뤄지는데 플라즈마 형성 방법에 따라 전도체 식각(Conductor Etch, 폴리에칭)과 유전체 식각(Dielectric Etch, 옥사이드에칭)으로 나뉜다. 전도체 식각은 폴리실리콘이나 메탈류, 유전체 식각은 실리콘 다이옥사이드(Silicon Dioxide)나 실리콘 나이트라이드(Silicon Nitride) 계열을 식각할 때 쓰인다.  D램이나 로직 공정 등에 활용되는 유전체 식각 시장은 전도체 식각 시장보다 성장률이 가파르다. 나이스플라즈마가 유전체 식각 장비를 주력으로 삼은 것도 그만큼 향후 성장 가능성이 높기 때문으로 풀이된다.  문제는 김 전 대표가 대주주로 있던 에이피티씨 또한 현재 유전체 식각 장비를 개발하고 있다는 점이다. 에이피티씨는 올해부터 유전체 식각 장비 ‘TIGRIS’ 개발에 착수했다. 내년 데모 테스트를 진행하는 것이 목표다. 개발 과정에 따라 김 전 대표가 설립한 나이즈플라즈마와 향후 경쟁구도를 형성할 것으로 예상되는 대목이다.  게다가 김남헌 전 대표는 별도 회사를 설립한 와중에 자신이 최대주주로 있는 회사(에이피티씨)를 상대로 경영권 분쟁 소송을 추진 중이다. 금융감독원 전자공시시스템에 따르면 김 전 대표는 지난 23일 에이피티씨를 상대로 ‘회계장부 등 열람 및 등사 가처분 신청'을 법원에 제출했다. 이같은 형태의 가처분 신청은 통상 경영권 분쟁을 위한 사전 절차로 받아들여진다.  에이피티씨 측은 “김남헌 전 대표가 주주로서 상법 제466조에 근거해 수원지방법원 여주지원에 회계장부등 열람 및 등사 가처분 신청을 접수했다”며 “관할법원 문의 결과 가처분 신청서 부본은 추후 송달될 예정임을 확인했으며 이를 확인하는 대로 관련내용 등을 반영해 정정 공시할 예정”이라고 밝혔다.  이번 가처분 신청에 앞서 김 전 대표는 에이피티씨 지분 약 13.9%(특수관계자 지분 포함) 매각을 시도했다. 희망 매각 가격은 1000억원 안팎이었지만 여러 이유로 아직 성사되지 않았다. 이번 가처분 소송도 지분 매각 추진과 무관치 않은 것으로 관측된다.    

디일렉=강승태 기자 [email protected]
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