<인터뷰 원문>
- 진행: 디일렉 이수환 전문기자
- 출연: 디일렉 한주엽 대표
-이번 시간은 SK하이닉스에 전구체를 공급하는 SK트리켐에 대해 이야기를 해보도록 하겠습니다. SK트리켐 최근에 사고가 있었다면서요?
“SK트리켐에 사고가 있었던 게 아니고 SK하이닉스에서 사고가 있었죠.”
-이슈죠. 이슈가 있었는데 어떤 사고였는지 말씀해 주시죠.
“하이K(고유전율) 프리커서를 증착하는 장비가 ALD 장비입니다. ALD 장비는 SK하이닉스의 주성엔지니어링과 원익IPS가 장비를 공급하고 있고요. 그 장비에서 문제가 일어났는데 장비 문제가 아니고 저희가 듣기로는 소재에서 문제가 생겼다고 합니다. SK트리켐에서 공급한 지르코늄(Zr)계 하이K(고유전율) 재료의 품질의 이슈가 생겨서, 아주 큰 사고는 아니었다고 합니다. 처음에 저희가 들었을 때는 웨이퍼 폐기가 있었다라고 얘기가 들렸는데 "웨이퍼 폐기는 없었다"라고 SK하이닉스에서 공식적으로 밝혀왔습니다. 문제가 생기자마자 장비 가동을 멈추고 다 청소하고 정상적으로 돌아가고 있다고 했습니다.”
-약간 어폐가 있는 게 장비 멈추고 중간에 공정이 빠지면 웨이퍼를 당연히 폐기해야 되는 거 아닌가요?
“글쎄요. 저도 그렇게 알고 있는데 (회사측에서) 그렇다고 하니까요. 그본격적으로 시작하기 전에 했을 수도 있는데, 그렇지는 않을 것 같습니다. 그렇다고 하더라도 처음에 한 번 딱 하면 몇 장 정도 이렇게 다시 갖고 와서 리페어를 해서 쓴 건지는 잘 모르겠지만, 회사의 아무튼 공식 입장은 "폐기는 없었다"는 겁니다. 그러나 장비를 세우고 잠깐의 어떤 소란이 있었겠죠. 그게 뚜껑을 열어보고 하는데 그 장비는 놀리게 되는 거니까 적지 않은 손해가 있을 수 있었겠다 정도로 압축할 수 있을 것 같습니다.”
-과거에 그냥 동일선상에 놓고 비교하기는 어렵겠습니다만, 삼성전자 평택 반도체 공장이 5분 멈췄는데 손해액이 200억원 이렇게 났었던 적이 있습니다.
“그런데 회사에서 아니라고 하니까요.”
-그것 때문은 아니고 다만 로스가 발생했다고 하니까 어쨌든 중간에 가동을 중단했다는 얘기 아닙니까.
“저희도 처음에 얘기를 듣기로는 SK트리켐의 하이K(고유전율) 지르코늄(Zr)계 물질이 불순물이 좀 섞여 있어서 뭐가 막혔대요. 그 파우더를 증착하고 난 뒤에 배기 통로를 통해서 빠져나가야 하는데 그게 막혀서 문제가 있었다, 사고가 났다라고 얘기를 하고 있고 순도에 문제가 있었다라는 거거든요. 근데 SK하이닉스도 그렇게 인지하고 있고 SK트리켐 재료의 문제였다는 겁니다. 그리고 SK트리켐에서는 모르겠습니다만, 저희 쪽에 또 얘기가 들어온 것은 내부에서는 장비의 문제라는 식으로 얘기하고 있습니다.”
-주성 ALD 장비를 굉장히 오랫동안 써왔던 장비로 알고 있었는데요.
“주성엔지니어링과 원익IPS 장비를 쓰는데요. 양사에서 공급한 장비가 각각 있었는데 어디서는 문제가 안 생겼고 어디서는 문제가 생겼으니까 '결국은 재료가 아닌 장비의 문제 아니냐?'라고 내부에서는 얘기하는 것 같은데요. 어쨌든 SK하이닉스는 "불순물이 섞여 있었다"고 얘기를 했고 순도의 문제를 해결하기 전까지는 조달을 안 한다고 합니다. 조달을 안 한다는 게 "문제 해결하고 다시 갖다주세요" 라고 얘기해서 지금 그런 상황이라고 합니다.”
-그러면 SK트리켐이 조달을 지금 당장 못 하게 되면 누가 어떻게 또 수혜를 받을 수 있나요?
“메카로의 화학사업부가 머크로 인수되서 엠케미칼로 바뀌었는데, 이 회사가 공급을 할 수 있고 유피케미칼도 공급을 할 수 있겠죠.”
-언제 다시 SK트리켐이 재공급할지는 알 수 없으니까요.
“순도에 문제가 있는지 없는지에 대해서 테스트를 또 하겠죠. 그러니까 저희가 듣기로는 한 3개월 정도를 추정하는 것 같은데, 모르겠어요. 더 길어질 수도 있고 더 빨라질 수도 있고요.”
-머크는 엠케미칼을 인수하자마자 약간 호재네요.
“그럴 수 있죠. 그런데 이게 D램의 하이K(고유전율) 물질을 커패시터에 정착하는 거는 선폭이 줄여지면서 재료도 계속 바뀌어 왔거든요. 지르코늄(Zr)은 비교적 최근이었고 지금 최선단은 하프늄(Hf)을 쓰는데요. 하프늄을 쓴다고 하프늄만 쓰는 게 아니고 지르코늄, 하프늄, 지르코늄, 하프늄 이런 식으로 여러 층을 이제 정착해서 쓰는데 어쨌든 지르코늄도 지금 선단에도 쓰이는데, 문제가 발생했다는 것이죠.”
-그러면 앞으로 SK트리켐이 재진입할 수 하게 된다면 과거보다 물량은 덜 받을 가능성이 좀 있었겠네요?
“그러니까 지금 "당장 문제 해결해서 가져오세요"라고 했을 때 유피케미칼이 6, 엠케미칼이 4 정도로 6:4. 혹은 5:5. 6:4 정도로 보는 것 같아요. 근데 이렇게 들어갔는데 SK트리켐이 다시 그 사이를 비집고 들어갈 수 있을 것인지에 대해선...들어갈 수 있을 거라고는 봅니다만, 하프늄 프리커서를 SK트리켐이 단독 공급을 하고 있기 때문에요. 그래서 지금 SK트리켐 매출이 계속 늘었거든요. 2020년, 2021년에 연 매출이 한 1500억원 정도였는데 작년에 한 2000억원을 넘긴 것으로 나옵니다. 이게 사실 만든 지 얼마 안 되는 회사거든요. 일본의 트리케미칼이라는 회사랑 SK머트리얼즈랑 이 합작해서 만든 회사인데 그쪽 기술과 특허를 갖고 와서 한국에 생산해서 한국에 우리가 관계사인 SK하이닉스에 넣겠다는 그림으로 합작했었던 것 같아요. 지금 짧은 시간 안에 이렇게 매출 2000억원 정도 나올 정도로 키워놓으면 굉장한 성과인데요. 저희가 작년인가 올해 초인가 SK트리켐 얘기를 한번 하지 않았습니까. 올해는 실적이 SK하이닉스 자체가 그렇게 좋지 않기 때문에 "여러 가지 가격에 대한 좀 깎아주세요"라고 네고에 대한 얘기들이 있어서요. 그리고 실질적으로 아까 전에도 저희가 이제 노태민 기자랑 같이 얘기했지만, 포토레지스트 수입 물량 자체가 늘었다는 것은 생산량 자체가 지금 줄었기 때문에 재료 매출액도 줄 수밖에 없거든요. 그래서 올해도 2000억원이 과연 넘겨서 계속적으로 이렇게 성장할 수 있을지에 대해서는 지켜봐야 하겠다라고 했는데요. 올해 초에 2월에 일어난 사고라고 합니다. 2월에 이렇게 사고가 일어났는데 매출이 올해도 그렇게 성장할 수 있을지는 모르겠고, 제가 주변에서 들리는 얘기는 하프늄은 단독 공급을 하고 있기 때문에 네고를 잘 안 해준다고 얘기가 있어요.”
-이래서 솔벤더를 다들 싫어하는 거죠.
“싫어하죠. 근데 특허 때문에 어쩔 수 없이 혼자서 공급하는 측면이 있습니다. 그 특허에 대해서 지금 머크 쪽에서 지금 무효 소송을 걸어놨지 않습니까. 조만간 결과가 나오면 그러면 확 풀리는 거죠. 그러니까 소자 제조업체 쪽에서는 특허가 무효가 되기를 바라고 있죠.”
-그래야 많은 데서 받아와서 가격 협상력도 높일수 있고요.
“한편으로는 SK라는 이름을 각각 같이 달고 있지만 어쨌든 하이닉스가 갑이거든요.”
-결국에는 쓰는 입장인 거 아닙니까.
“갑인데 을이 "나 혼자 공급한다고 다 힘드니까. 어느 정도 가격을 낮췄으면 좋겠습니다." 라고 했을 때 그거에 대해서 들어주지 않았다라고 했을 때는 굉장히 미움을 살 수밖에 없죠. 또 SK트리켐이 지금 하이K(고유전율)만 하는 것도 아니고 로우K 재료도 있고 몇 가지의 재료들이 있어요. 그런 재료들은 다 대체가 가능한 경쟁사들이 있는 품목들이거든요. 그러니까 SK하이닉스가 SK트리켐이 물량 가격을 조정해주지 않는다고 하면 여러 가지 보복이라고 해야 합니까? 할 수 있는 수단은 있습니다. 대체할 수 있는 품목들은 다른 집에 맡겨도 되니까요.”
-딴 기업에서 받아오면 되니까요.
“그런 게 아직 확인은 되지 않았지만, 그런 정황 증거들이 지금 곳곳에서 계속 나오고 있기 때문에 그것에 대해서 조금 더 확인하면 저희가 전해드리도록 하겠습니다. 왜냐하면 SK트리켐으로 가야 할 물량이 다른 경쟁사로 한 네다섯 가지 품목들이 어떤 거는 저기로 어떤 거는 저기로 가면 반사 이익을 그쪽에서 얻기 때문에요. 그런 것의 대한 내용은 조금 더 취재가 면밀하게 되면 저희가 전해드리도록 하겠습니다. 그러나 SK트리켐 하이K(고유전율) 재료의 품질 이슈로 SK하이닉스 D램 공정 사고 났다는 저희 보도가 나가고 나서 사실 관련된 업체들로부터 항의를 굉장히 많이 받았는데 그게 저희 일입니다.”
-저희는 그런 걸 받을 수밖에 없는 입장이죠. 더 말씀하실 게 있습니까?
“없습니다. 여기까지 하시죠.”
-오늘 여기까지 하겠습니다. 방송 시청해 주셔서 고맙습니다.
“감사합니다.”
