피에스케이와 램리서치 간 베벨 에치 2심 소송 결과가 나왔다. 결과가 나온 3건 중 피에스케이가 2건을 이겼고, 1건은 패소했다. 피에스케이가 램리서치와의 특허 분쟁에서 일부 승소하면서 내년 베벨 에치 장비를 국내 고객사에 공급할 수 있다는 관측도 나온다.
24일 업계에 따르면 특허법원에서 진행된 2심에서 피에스케이가 일부 승소했다. 피에스케이가 2건 승소했고, 1건은 패소했다.
현재 피에스케이와 램리서치는 베벨 에치 관련 소송 6건을 진행 중에 있다. 피에스케이가 승소한 소송은 '2022허4994', '2022허6570' 2건이다. 패소한 소송은 '2022허6587'다. 남은 3건은 내년 초 정도에 결과가 나오는 것으로 알려져 있다.
베벨 에치는 웨이퍼 가장자리에 남아있는 금속, 비금속막을 제거하는 데 쓰이는 장비다. 12인치 웨이퍼는 가장자리 에칭이 잘 이뤄지지 않는 문제가 발생하고 있어 베벨 에치를 통한 에칭이 필요하다.
두 기업 간 특허 소송이 발생한 건 3년 전이다. 지난 2021년 피에스케이는 다년간의 R&D를 통해 엣지 클린(베벨 에치) 장비 개발에 성공했다. 피에스케이가 베벨 에치 장비를 개발하기 전까지 베벨 에치 시장은 램리서치가 독점하고 있었다. 램리서치의 베벨 에치 특허는 원래 국내 기업 소슬이 보유하고 있었다. 하지만 참엔지니어링의 소슬 인수, 램리서치의 참엔지니어링 베벨 에치 사업 인수 등을 거치면서 램리서치가 최종 보유하게 됐다.
램리서치는 피에스케이의 시장 진출을 막기 위해 특허 침해 관련 내용 증명을 보냈고, 피에스케이는 램리서치의 베벨 에치 관련 특허 6건에 대해 특허 무효 심판을 제기해 대응했다. 업계에서는 피에스케이 2심에서 2승 1패를 거둠에 따라 향후 국내 고객사에 베벨 에치 장비를 공급할 수 있을 것으로 전망하고 있다.
한편, 피에스케이는 베벨 에치 특허 분쟁건에 대해 "현재 소송을 진행 중이기 때문에 답변하기 힘들다"고 말했다.
디일렉=노태민 기자 [email protected]
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