반도체 장비업체 세메스가 반도체 제조에 필요한 고온 매엽식 인산 세정장비 '블루아이스 프라임'을 개발했다고 7일 밝혔다. 세메스는 고온 매엽인산 세정장비를 연내 양산할 계획이다.  세메스는 "그간 매엽인산 세정장비는 웨이퍼 상부에 170℃ 이상 고온 인산(H3PO4)을 토출해 패턴면을 처리할 때 식각 균일도와 불순물 제거 기술 확보가 어려워 많은 기업들이 개발에 실패했다"며 "세메스는 자체 개발한 척(Chuck)을 장착해 웨이퍼를 170℃ 이상 고온으로 가열해 웨이퍼 중앙과 가장자리 온도 균일도를 높이고, 기존 배치 타입 습식 세정 한계로 지적됐던 불순물 제거율을 90% 이상 높여 매엽인산 공정 기술 차별화에 성공했다"고 설명했다.  또, 세메스는 작업 과정에서 발생하는 오폐수를 최소화하기 위해 약액 재사용 기술을 개발해 90% 이상 약액 재사용이 가능하다고 밝혔다.  정태경 세메스 대표는 "고온 매엽인산 기술은 산업통상자원부 국가첨단기술과 제품으로 등록됐다"며 "다양한 반도체 공정 기술이 융복합화된 제품을 개발해 매출을 늘리고 친환경설비 경쟁력을 확보하겠다"고 밝혔다. 

디일렉=이기종 기자 [email protected]
《반도체·디스플레이·배터리·전장·ICT·게임·콘텐츠 전문미디어 디일렉》