미국 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)가 삼성디스플레이에 비(non)-파인메탈마스크(FMM) 방식 수직 증착기를 공급한다. AMAT에선 자사 기술이 8세대 유기발광다이오드(OLED)까지 대응할 수 있다고 주장했지만, 삼성디스플레이는 양산 적용 가능성부터 검토할 것으로 예상된다. 20~30인치대 OLED나, 좌우로 길쭉한 차량 OLED처럼 기존 FMM 방식으로 양산이 어려울 수 있는 분야가 후보군으로 추정된다.  AMAT는 지난 21일(현지시간) "삼성디스플레이에 '맥스(MAX) OLED 솔루션'을 공급한다"고 밝혔다. AMAT는 맥스 OLED 솔루션에 대해 "기존 FMM을 사용하지 않고, 특별히 설계된 공정을 통해 적(R)녹(G)청(B) OLED 서브픽셀을 패터닝하는 기술"이라고 소개했다.  AMAT의 맥스 OLED 솔루션은 업계에서 이른바 'e립'(eLEAP, JDI의 기술명)으로 부르는 기술이다. JDI의 e립, 비전옥스의 ViP 등은 FMM을 사용하지 않고 노광 공정으로 RGB OLED 발광층과 공통층을 형성(패터닝)하는 기술이다. 노광 공정을 이용하기 때문에 기존 FMM 방식보다 고해상도 디스플레이 구현이 가능하고, 개구율도 높일 수 있다. R과 G, B 각각의 재료세트 구성도 다를 수 있다.  JDI의 e립, 비전옥스의 ViP 등 파일럿 라인에서 사용 중인 증착기 모두 AMAT 제품이다. AMAT로선 관련 수직 증착기를 이미 납품한 이력이 있지만, 고객사가 삼성디스플레이여서 이번에 부각한 것으로 추정된다.  AMAT의 해당 장비는 삼성디스플레이 A2 5.5세대 라인에 반입된다. AMAT는 맥스 OLED 솔루션이 8세대까지 대응 가능한 기술이라고 소개했지만, 삼성디스플레이는 양산 가능성부터 검토할 것으로 예상된다. JDI의 e립과 비전옥스 ViP 모두 아직 양산성이 검증되지 않았다.  AMAT도 보도자료에서 "삼성디스플레이가 (맥스 OLED 솔루션) 알파 시스템을 반입해 평가할 것"(Samsung Display will be bringing in an alpha system to assess this new technology)이라고 밝혔다. 알파 시스템은 초기 테스트 장비나 시스템을 말한다. AMAT가 삼성디스플레이에 공급하는 장비는 1대로 알려졌다. 업계 일각에선 삼성디스플레이가 새로운 OLED 시장을 겨냥해 비-FMM 방식 적용 가능성을 검토할 것이란 관측이 나온다. 20~30인치대 중형 OLED 또는 좌우로 길쭉한 차량 OLED 등이 후보군이다. 이들 제품은 삼성디스플레이가 이미 가동 중인 5.5세대와 6세대 FMM 방식 OLED, 그리고 현재 구축 중인 8.6세대 FMM 방식 IT OLED 라인에서 대응이 쉽지 않을 것으로 예상되는 분야다.  삼성디스플레이가 8.6세대 FMM 방식 IT OLED 라인에서 우선 생산할 것으로 기대되는 품목은 10인치 중후반대 IT 제품 OLED이다. 그리고, 삼성디스플레이의 8.5세대 대형 퀀텀닷(QD)-OLED 라인에서 만드는 모니터 패널은 현재 27인치까지 하방 전개했다. 20~30인치대 OLED, 그리고 새로운 폼팩터 OLED는 아직 시장이 열리지 않았다.  비-FMM 방식 OLED는 양산성이 검증되더라도 노광 공정 확대 적용으로 제조원가가 오를 수 있기 때문에, 다품종 소량생산에 적합한 틈새시장을 겨냥할 수 있다. 동시에, 비-FMM 방식 OLED 양산성이 검증되면 현재 FMM 방식이 장악한 중소형 OLED 시장에 변화를 줄 수도 있다.  비-FMM 방식 OLED는 JDI와 비전옥스는 물론 삼성디스플레이와 SEL 등도 관심을 갖고 연구개발해왔다. 삼성디스플레이는 지난 4월 미국 오사거널(Orthogonal)로부터 비-FMM 방식 RGB OLED 관련 미국 특허 5건을 인수했다. 특허 5건 중 4건의 발명 명칭은 '유기전자장치의 포토리소그래피 패터닝'이다. 나머지 1건의 발명 명칭은 '개구율이 높은 컬러 OLED 디스플레이'다. 당시 업계에선 삼성디스플레이의 특허 매입을 두고 "향후 (비-FMM 방식 OLED) 기술 상용화 시점에서 발생할 수 있는 특허분쟁 위험을 줄이려는 의도"란 풀이가 나오기도 했다. 

디일렉=이기종 기자 [email protected]
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