램리서치가 반도체 업계 최초로 웨이퍼 제조장비 유지∙보수 협동 로봇 ‘덱스트로(Dextro)’를 출시했다고 11일 발표했다. 덱스트로는 서브미크론(1㎛ 미만) 정밀도를 요구하는 웨이퍼 제조장비의 유지∙보수 작업을 반복 수행한다. 팹 안에서 엔지니어들을 도와 장비 다운타임과 생산 변동성을 최소화하고, 최초 작업 성공(FTR∙First-Time-Right) 결과를 통해 한계 수율을 개선한다.  반도체 공정은 나노미터(㎚∙ 10억분의 1m) 단위의 정밀도를 요한다. 팹(반도체 제조 공장)에는 고도의 기술을 유지∙보수하기 위한 수많은 공정 장비들이 설치돼 있다.  크리스 카터 램리서치 고객 지원 사업부 부사장은 “반도체 제조 장비 유지∙보수 분야에서 이뤄낸 중요한 도약”며 “칩 제조기업들이 생산성과 비용을 최적화할 수 있다”고 말했다. 회사에 따르면 덱스트로는 현재 전 세계 여러 반도체 제조 기업의 팹에서 활용 중이다. 우리나라의 삼성전자도 활용한다.  김영주 삼성전자 메모리사업부 에치기술팀장(상무)은 “반도체 제조 장비에 유지∙보수가 필요한 경우, 장비 가동 중단 시간을 줄이고 비용 낭비를 방지하기 위해 신속하고 효율적으로 작업해야 한다”며 “덱스트로가 공정 변동성을 최소화하고 수율 개선을 돕는다”라고 말했다.  한편 램리서치는 차세대 반도체 팹의 효율성을 높이고 운영 비용을 최적화하기 위한 다양한 스마트 솔루션을 내놓고 있다.