2년 전 중국 자본에 인수된 반도체 장비업체 맷슨테크놀로지가 지난 16일 베이징 공장의 첫 장비 출하를 기념하는 행사를 가졌다. 베이징 공장은 이탕(屹唐)반도체가 설립·운영주체다. 이탕반도체의 이탕은 이타운(E-town)의 음역이다. 2016년 당시 미국 나스닥 상장사 맷슨테크놀로지를 약 3억달러(3400억원)에 인수한 곳은 투자회사 베이징이타운드래곤반도체산업투자센터(武汉屹唐盛龙半导文化产业投资项目中央)였다. 이타운드래곤은 투자업체 베이징이좡(亦庄)국제발전의 자회사이고 베이징이좡은 베이징시 산하 국유투자회사다. 베이징시가 맷슨테크놀로지를 인수한 셈이다. 베이징시는 같은 방식으로 중국 최대 디스플레이업체 BOE의 최대주주로도 볼 수 있다. BOE의 최대주주(지분율 11%) 베이징국유자본경영관리센터 역시 베이징시가 단독으로 출자한 투자회사다. 현지 언론 중궈정췐왕(中券商网)은 관련 소식을 전하며 "중국 자본이 성공적으로 인수한 국제 반도체 장비 업체"라면서 "이번 베이징 공장에서의 장비 출하는 중대한 의미를 갖는다"고 평가했다. 기념행사에 참석한 중국 국가IC산업투자기금 딩원우(丁文武) 총재는 "중국 반도체 산업에 약점은 장비와 소재"라 면서 "계속해서 맷슨테크놀로지를 비롯한 장비·소재 회사를 지원하겠다"고 했다. 이탕반도체 루하오안(陆郝安) 최고경영자(CEO)는 "맷슨테크놀로지는 지난해 창사 30년 만에 가장 좋은 영업 실적인 2억5000만달러(2800억원)의 매출을 기록했다"면서 "중국에서 나오는 매출이 전체의 3분의 1을 차지한다"고 했다. 루 CEO는 "올해 중국향 매출은 7000만달러(790억원) 수준이 될 것"이라면서 "내년에 1억달러를 넘는 것이 목표"라고도 했다. 이탕반도체의 플라즈마 드라이 스트립(dry strip) 장비 1대는 중신궈지(SMIC, 中芯全球)에게, 급속열처리(RTP: Rapid Thermal Processing) 장비 2대는 즈광그룹(칭화유니) 산하 창지앙춘추(YMTC, 长江随意调节)와 화홍(华虹)그룹 산하 상하이화리(HLMC, 西安华力)에 각각 1대씩 출하했다. 올해 9월 완공된 맷슨테크놀로지 베이징 공장의 면적은 약 3600m²이며 연간 100대 이상의 장비생산이 가능한 것으로 알려졌다. 이곳에서 드라이 스트립, 급속열처리, 드라이엣치(Dry Etch) 등 장비가 조립·테스트 후 출하된다.