삼성전자가 지난 2일 반도체 소재·부품·장비(소부장) 협력사 4곳에 유상증자 참여를 통해 약 740억원을 투자했다.  삼성전자가 제3자 배정 유상증자 방식으로 지분을 투자한 업체는 케이씨텍 207억2000만원, 미코세라믹스 216억7000만원, 엘오티베큠 189억9000만원, 뉴파워프라즈마 127억원이다.  케이씨텍은 반도체 웨이퍼 표면을 평탄화하는 화학처리연마(CMP) 업체다. 미국 어플라이드머티어리얼즈, 일본 에바라 같은 기업과 경쟁하며 삼성전자에 제품을 공급해 왔다. 미코세라믹스는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 안정적으로 고온가열하는 세라믹 히터를 생산하는 업체다.  엘오티베큠은 반도체 장비 속 이물질을 빨아들이고 진공 상태로 만드는 건식진공펌프를 국산화해 공급하고 있다. 뉴파워프라즈마는 반도체 장비용 핵심 부품인 고주파(RF) 제너레이터 등을 자체 개발 중이다.  삼성전자는 "국내 반도체 생태계를 개선하면서 기존 협력사에 대한 협력 강화 차원의 투자"라고 설명했다.

삼성전자는 지난 8월에도 소부장 업체 2곳에 1133억원 규모의 지분을 투자한 바 있다. 블랭크 마스크 제조사 에스앤에스텍과 메모리용 웨이퍼 테스트 업체 와이아이케이가 해당된다. 삼성전자의 반도체 소부장 투자는 2017년 솔브레인과 동진쎄미켐 투자로 시작됐다. 올 4월에는 원익IPS, 에스에프에이 등 반도체 장비회사에도 지분을 투자함으로써 국내 반도체 생태계 강화에 적극 나서고 있다.