저스템이 LG디스플레이와 55억원 규모 수율 개선 제전장비 공급계약을 체결했다고 24일 밝혔다.
저스템이 공급하는 고진공 이오나이저시스템(VIS)은 OLED 제조공정에서 발광용 유·무기재료를 고열로 증착할 때 발생하는 정전기를 제거해 제품의 신뢰성을 높이는 장비다.
저스템의 VIS는 고진공 환경에서 이온만을 생성해 웨이퍼나 글래스의 유·무기물 증착 표면을 최대한 손상 없이 제전할 수 있는 장비다. 회사는 지난 2022년부터 LG디스플레이와 협업을 통해 VIS 장비의 양산성 검증을 했고, OLED 패널 제조 양산 라인에 장비를 공급하게 됐다고 설명했다.
하정민 저스템 기술연구소 부사장은 "반도체에 이어 디스플레이 분야에서도 수율 향상 솔루션을 공급하게 돼 기쁘다"며 "고해상도 OLED 제조공정에서 제전 기술이 더욱 중요해지는 만큼 저스템의 기술력이 높이 평가받을 것"이라고 말했다.
디일렉=노태민 기자 [email protected]
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