예스티가 고압 어닐링장비 특허 분쟁과 관련, HPSP의 3개 특허권에 대한 추가 무효심판 1건과 권리범위확인심판 2건을 각각 청구했다고 19일 밝혔다.
예스티는 경쟁사가 보유한 고압 어닐링 장비 특허권이 특허법에서 정한 신규성 및 진보성 요건을 갖추지 못했다고 판단해 신규로 무효심판을 제기했다. 또, 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비가 경쟁사의 특허와 무관하다는 사실을 입증하기 위해 권리범위확인심판도 청구했다.
예스티 관계자는 "이번 무효심판과 권리범위확인심판은 현재 진행 중인 특허소송 외에, 경쟁사가 추가적인 소송제기를 통해 특허분쟁을 확대 및 장기화하려는 의도를 사전에 차단하기 위한 것"이라며 "선제적 대응조치뿐 아니라 기존 특허소송도 공격적인 전략으로 분쟁을 조속히 종결짓겠다"고 설명했다. 이어 "개발 단계부터 특허분쟁을 예상하고 충분한 검토를 거쳤기 때문에 승소를 자신한다" 덧붙였다.
현재, 예스티는 국내 주요 반도체 기업들과 고압 어닐링 장비 상용화 및 양산 테스트에 속도를 내고 있다. 회사는 "경쟁사와의 특허분쟁에도 불구하고 고객사와 상용화를 전제로 한 테스트가 차질없이 진행되고 있다"며 "상용화 테스트에 회사의 역량을 집중해 양산 시기를 최대한 앞당기겠다"고 말했다.
디일렉=노태민 기자 [email protected]
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