디스플레이 장비업체 필옵틱스가 반도체 패키지 글래스 코어 기판용 TGV(Through Glass Via:글래스 관통 전극 제조) 양산장비 출하식을 열었다고 28일 밝혔다.  글래스 코어 기판은 기판 뼈대인 코어를 플라스틱(레진)에서 유리 재질로 바꾼 제품이다. 글래스 코어 기판은 온도에 따른 변형과 신호 특성이 우수해 미세화·대면적화에 유리하다.  TGV는 글래스 코어 기판에 미세한 전극 통로를 형성할 때 사용한다. 글래스가 얇고 정교하기 때문에 전극 통로를 정밀하게 만들어야 한다. 필옵틱스는 앞서 글래스 코어 기판용 △TGV △DI(Direct Imaging) 노광기 △레이저 ABF(아지노모토빌드업필름) 드릴링 장비 등을 개발해 고객사 시운전 라인에 공급한 바 있다.  이번 TGV 양산장비 출하에 대해 필옵틱스 관계자는 "주요 고객사로부터 필옵틱스 기술이 해외 선진업체보다 낫다는 최종 평가를 받았다"고 밝혔다. 이어 "TGV 레이저 가공에 대한 인식이 부족했던 5년 전부터 핵심 광학·제어 기술을 개발했다"며 "15년간 쌓은 유기발광다이오드(OLED) 패널용 레이저 가공 기술이 바탕이 됐다"고 덧붙였다.  한기수 필옵틱스 대표는 "반도체 패키지 글래스 코어 기판 TGV 양산장비가 고객사의 차세대 공정 라인에서 긍정 평가를 받았다"고 밝혔다.  한편, 글래스 코어 기판 영률(Young's Modulus, 탄성계수)은 기존 유기재료 소재 영률(20 내외)의 4배 수준인 70~80이어서 잘 휘지 않는다. 글래스 코어 기판은 표면이 매끄러워 미세회로를 형성하기 좋고, 신호손실이 적다. 글래스 코어 기판은 서버 CPU용, 인공지능(AI) 가속기 등 고성능 반도체가 탑재되는 하이엔드 제품 중심으로 성장할 수 있다. 

디일렉=이기종 기자 [email protected]
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