예스파워테크닉스가 국내 최초로 실리콘카바이드(SiC) 모스펫(MOSFET) 양산 장비를 도입한다고 8일 밝혔다. 이달 말 독일 C사로부터 SiC 모스펫 양산을 위한 필수 장비인 게이트 옥시대이터(Gate Oxidator)와 이온 액티배이터(Ion Activator)를 구매해 설치할 예정이다. 게이트 옥시대이터는 1400~1500도 고온 환경에서 게이트 위에 산화막을 올려주는 장비다. 이온 액티배이터는 이온(불순물)을 주입한 뒤 이를 활성화해주는 역할을 한다. 예스파워테크닉스는 이미 지난 5월 일본 N사에서 고가의 이온 투입 장비를 도입한 바 있다. 게이트 옥시대이터와 이온 액티배이터를 도입으로 예스파워테크닉스는 기존 로 테크 SiC 쇼트키배리어다이오드(SBD)와 함께 부가가치가 높은 SiC MOSFET을 양산할 수 있게 됐다. 예스파워테크닉스는 지난해 12월 설립된 창업벤처기업이다. 국내에서 유일하게 SiC 파워반도체를 양산 중이다. 지난 8월 중소기업진흥공단으로부터 30억원의 자금 지원을 받은 바 있다. 이후 8월 23일 반도체 디스플레이 열 제어 장비 전문회사 예스티로부터 70억원 자금을 투자받으면서 관계사로 편입됐다. 8월 31일자로 회사 이름이 파워테크닉스에서 예스파워테크닉스로 변경됐다. 예스파워테크닉스는 올해 웨이퍼 투입 기준 월 300매 생산을 목표로 가동을 시작한다. 안정화 과정을 거쳐 내년에는 월 550매로 생산량을 확대할 계획이다. 2020년 이후에는 약 1500매 이상 양산을 계획하고 있다. 예스파워테크닉스 생산 공장은 경북 포항시 포항공과대학교 나노융합기술원에 위치해 있다. 지난 7월 양산 기념식을 열고 SiC SBD를 양산 중이다. 예스티 관계자는 "관계사를 통해 SiC 파워반도체 분야에 진출함으로써 성장 발판을 마련했다"면서 "국내외 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이 업계 투자 회복으로 인한 신규장비 매출 증가와 더불어 파워반도체 분야 매출 성장을 바탕으로 4분기 실적 회복이 가시화 될 것"이라고 말했다. SiC 전력반도체는 실리콘 기반 제품 대비 전력 변환 효율이 높아 최근 산업용 신재생에너지 인프라와 전기차 등으로 탑재가 확대되고 있다. 독일 인피니언, 유럽 ST마이크로, 미국 크리, 일본 로옴 등이 주요 플레이어로 시장에 참여하고 있다. 업계에 따르면 SiC 파워반도체 세계 시장 규모는 지난해 3억200만달러(약 3500억원)에서 2023년 15억달러(1조7250억원) 이상 규모를 형성할 것으로 전망된다. 연평균 31% 고성장이 예고돼 있다.