"오는 7~8월 테스트 완료 예정"
반도체 장비업체 ACM리서치가 화학 기상증착 장비인 울트라퍼니스를 공개했다.
ACM리서치는 11일 중국과 한국 지사의 협업으로 울트라퍼니스를 개발했다고 밝혔다. 해당 제품은 건식 공정용이다.
울트라 퍼니스는 최대 100장의 12인치(300mm) 웨이퍼 배치 공정을 할 수 있게 설계됐다. 일부 구성 요소와 레이아웃을 바꾸면 다른 공정에도 적용할 수 있다.
김영율 ACM리서치코리아 대표는 "최근 중국의 한 반도체 회사에 장비 납품을 완료했다"며 "아직 국내 기업(삼성전자, SK하이닉스)에 공급할 구체적인 계획은 없는 상태"라고 말했다.
설령 장비가 국내 공급에 성공하더라도 납품까진 다소 시간이 걸릴 전망이다. 회사 관계자는 "당초 이번 달 중국 지사에서 테스트를 마치기로 했으나 신종 코로나 바이러스(코로나 19)때문에 일정을 미뤘다"며 "오는 7~8월 완료를 목표하고 있다"고 밝혔다.
이어 "(생산) 라인이 가동되면 관련 데이터를 바탕으로 (국내 기업에 납품을) 타진할 예정"이라고 전했다.
저작권자 © 전자부품 전문 미디어 디일렉 무단전재 및 재배포 금지
