로옴 그룹사 사이크리스탈, SiC 웨이퍼 제조 공장도 2022년 가동
로옴이 실리콘카바이드(SiC) 파워 디바이스 생산량을 확대할 계획이다. 로옴은 2019년 2월부터 아폴로 치쿠고 공장에 신규 건물을 건설해, 지난해 12월 준공을 완료했다고 7일 밝혔다.
신규 SiC 공장은 올 1월부터 순차적으로 제조장비를 설치할 계획이다. 본격 가동은 2022년부터 시작된다. 본 건물은 사용 전력을 100% 재생 가능 에너지로 충당하는 환경 배려형 최신 공장이다. 향후 SiC 파워 디바이스의 중장기적인 수요 증가에 대응할 계획이다.
이번 신규 건물뿐만 아니라, 로옴의 그룹사 사이크리스탈(SiCrystal)의 GmbH(독일) SiC 웨이퍼 제조 공장도 2022년부터 가동될 예정이다. 해당 공장은 재생 가능 에너지 사용률 100%, CO2 배출량은 제로인 시스템이다. 이에 따라, 로옴의 SiC 웨이퍼의 주요 생산 공정은 모두 재생 가능 에너지를 이용한 환경 배려형의 생산 체제가 된다.
로옴은 2010년에 SiC 파워 디바이스인 SiC 쇼트키 배리어 다이오드(SBD), SiC 모스펫(MOSFET)의 양산을 시작했다. 이후 SiC 파워 모듈, 트렌치 구조를 채용한 SiC MOSFET의 양산으로 확대했다.
로옴은 "로옴 그룹은 앞으로도 전기자동차와 산업기기에서 저전력과 SiC 파워 디바이스의 성능 향상을 위해 노력하겠다"며 "생산 공정에 환경 배려형 설비와 재생 가능한 에너지 도입을 추진함으로써 환경 부하 경감에 기여하겠다"라고 말했다.
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