지난 33년 동안 반도체 장비 시장의 독과점이 더욱 가속화된 것으로 나타났다. 특히 어플라이드머티어리얼즈(어플라이드), ASML, 램리서치, 도쿄일렉트론(TEL), KLA 등 상위 5개 기업의 장비 시장 지배력이 더 커졌다. 15일 테크인사이츠에 따르면 지난해 글로벌 10대 반도체 장비 기업의 시장 점유율이 75%까지 확대됐다. 1990년과 2000년 글로벌 10대 반도체 장비 기업의 시장 점유율은 각각 40%, 50% 수준이었다. 2022년 기준 글로벌 반도체 장비 매출 상위 10개 기업은  ▲어플라이드 ▲ASML ▲램리서치 ▲TEL ▲KLA ▲어드반테스트 ▲스크린홀딩스 ▲ASM ▲고쿠사이일렉트릭 ▲테라다인 등이다. 국가별로 보면 미국(4개)과 일본 기업(4개)이 많았다. 네덜란드도 ASML, ASM 2개 업체가 높은 매출을 올렸다.  반도체 장비 시장 매출이 상위 10개 기업에 몰린 이유는 반도체 미세 공정 확대 때문이다. 5nm 이하 반도체 생산에 필요한 장비들은 대부분 어플라이드, ASML, 램리서치와 같은 글로벌 반도체 장비 기업이 생산하고 있다. 대표적으로 7nm 이하 미세 공정에 필수적인 극자외선(EUV) 노광 장비는 ASML이 관련 시장을 독점하고 있는 상황이다.  업계에서는 이러한 매출 쏠림 현상이 향후 더욱 강화될 것으로 보고 있다. 반도체 장비 업계 관계자는 "반도체 미세화 공정이 확대되면서 주요 반도체 기업의 시장 점유율이 더욱 늘어났다"라며 "장비 기업 간의 R&D 역량이 계속해서 벌어지고 있는 만큼 이러한 경향성은 지속될 것으로 보인다"고 말했다. 이어 "이러한 현상은 반도체 장비 시장뿐 아니라 반도체 산업 전반에 나타나고 있다"고 부연했다. 지난 1990년 반도체 장비 매출 상위 10개 기업 중 지난해까지 순위를 유지하고 있는 기업은 어플라이드와 TEL, 어드반테스트 3개 기업이다. 1990년 당시 매출 규모 3위였던 어플라이드는 지난해 글로벌 반도체 장비 매출 1위를 달성했다. 1990년(5억8000만달러가량)부터 2022년(257억8500만달러)까지 매출이 40배 이상 성장했다. 1990년 글로벌 반도체 장비 매출 2위와 5위였던 니콘과 캐논은 반도체 장비 사업 부문을 축소하면서 매출 성장세가 꺾였고, 지난해 매출 상위 10개 기업에 들지 못했다. 제네랄 시그날 등 기업은 인수 합병으로 인해 사라지기도 했다. 

디일렉=노태민 기자 [email protected]
《반도체·디스플레이·배터리·자동차전장·ICT부품 분야 전문미디어 디일렉》