이종수 대표 "향후 반도체 공정내 보호코팅은 필수 적용될 것"
반도체 공정 설비 특수코팅 전문기업 그린리소스가 자체 개발한 초고밀도 특수코팅 기술을 통해 글로벌 반도체 시장을 선도하겠다고 밝혔다. 또한 고집적화, 초미세화의 반도체 추세에 따라 반도체 공정내 보호코팅은 필수적으로 적용될 것이라고 전망했다.
이종수 그린리소스 대표이사는 7일 서울 여의도 63컨번션센터에서 열린 기업공개 기자간담회(IPO)에서 “글로벌 반도체 부품 보호코팅 시장의 폭발적인 수요에 대응하고, 올해부터 양산 납품을 시작하는 초전도선재 장비사업을 확장할 것"이라며 "이와 더불어 현재 개발 중인 소재와 코팅 기술을 통해 다양한 분야로 사업 영역을 넓힐 것“이라며 포부를 밝혔다.
2011년 설립된 그린리소스는 반도체에 적용되는 초고밀도 특수코팅 사업 등을 주력으로 하고 있다. 2013년 일본 기업이 독점하던 코팅 소재를 처음으로 국산화에 성공했으며 2016년부터 반도체 및 디스플레이 식각장비 부품 코팅 시장으로 사업반경을 넓히고 있다.
반도체의 초미세화로 인해 식각 공정의 중요성은 점차 커지는 추세다. 시장조사기관 ‘글로벌 인포메이션’에 따르면 글로벌 반도체 분야의 식각장비 시장은 2030년 약 490억달러 규모가 될 전망이다. 식각 공정은 반도체 웨이퍼 중 필요한 부분만 남기고 나머지 부분을 제거하는 공정이다.
이종수 대표이사는 “식각 공정 과정에서 챔버 내부 부품으로부터 웨이퍼에 파티클이 발생할 수 있다”며 “파티클은 웨이퍼의 수율에 직접적인 영향을 미쳐 제어가 매우 중요한데, 챔버 내부 상단에 자체개발한 PVD(Physical Vapor Deposition) 기반 특수 보호코팅 적용한다면 이를 제어할 수가 있다”고 설명했다.
PVD 기반의 특수 보호코팅은 기존 코팅 기술에 비해 매우 밀도가 높다. 소재 입자 크기가 분자 단위이며 코팅층 밀도는 99.9% 이상이다. 기존 범용 코팅 기술인 APS(Atmospheric Plasma Spray)는 10~45 마이크로미터의 소재 입자 크기를 밀도 95%로 코팅할 수 있다. SPS(Suspension Plasma Spray) 코팅기술은 0.5~10 마이크로미터의 소재 입자 크기이며 코팅층 밀도는 99%다.
또한, PVD 기반의 특수 보호코팅은 APS, SPS 코팅기술과 달리 분말이 아닌 증기로 시작되며 분자 단위 코팅막으로 내식성 측면에서 우수하다. 현재 회사는 반도체 파운더리 시장을 목표로 2024년 하반기 이후 본격 양산 적용을 확대할 예정이다. 향후 반도체 식각 장비사를 통해 회사의 코팅기술을 적용한 장비를 글로벌 반도체 제조사에도 납품할 계획이다.
그린리소스는 초전도선재 등 신규 사업도 추진 중이다. 이종범 그린리소스 연구소장은 “최근 빌게이츠가 핵융합 산업에 관심을 가지는 등 최근 3년간 초전도선재 시장에 대한 관심이 커지고 있다”며 “초전도선재는 핵융합 발전에 자기장을 생성하는 중요 부품”이라고 말했다.
초전도선재는 금속 모재 위에 여러 층의 박막을 코팅해 만들 수 있는데, 그린리소스는 PVD 코팅 기술을 기반으로 초전도선재 양산용 IBAD(In Beam Assisted Deposition) 증착장비를 개발하고 있다. 지난 2021년 말 글로벌 고객사로부터 초전도선재 장비 수주에 성공했으며 납품 레퍼런스를 바탕으로 시장에 본격 진출할 예정이다. 초전도선재는 특정 온도 이하에서 전기저항이 0이 되는 성질을 이용해 구리선 대비 170배 이상의 전류를 보낼 수 있는 고효율 전기에너지 소재다.
공모를 통해 조달되는 자금은 시설·기계 장치 구입 및 신사옥 건축 관련 비용 등에 활용할 예정이다. 2022년 회사의 매출은 250억원, 영업이익은 37억3100만원을 기록했다. 전년동기 대비 매출은 83%, 영업이익은 20% 증가했다. 올 상반기 매출은 89억원, 영업이익은 22억원1900만원이다. 회사의 올해 추정 영업이익은 46억원이다.
그린리소스의 총 공모주식수는 신주 164만주다. 주당 공모 희망 밴드는 1만1000~1만4000원이며 총 공모 예정금액은 희망가 상단 기준 230억원이다. 3일부터 9일까지 수요예측을 진행하고 16일 최종 공모가가 확정될 예정이다. 상장예정일은 11월24일이며 상장 주관사는 NH투자증권이다.
디일렉=이민조 기자 [email protected]
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