일본 도쿄일렉트론(TEL)이 새로 개발한 하이브리드 옥사이드 식각장비를 삼성전자가 도입할 가능성이 커지면서, 하나머티리얼즈가 수혜주가 될 것이란 전망이 나온다. 하나머티리얼즈는 TEL 식각장비에 SiC링을 공급하는 비포마켓 파트너다. TEL 장비 도입이 본격화되면, 하나머티리얼즈의 SiC링 매출도 동반 증가할 수 있다.  1일 반도체 업계에 따르면 TEL의 신규 하이브리드 옥사이드 식각장비가 업계의 호평을 받으면서 TEL의 SiC링 비포마켓 파트너 하나머티리얼즈의 매출 상승 기대감이 커지고 있다. SiC링은 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 고정시키는 소모성 부품이다. 식각장비 안에 들어간다. SiC링은 기존에 사용되던 쿼츠나 실리콘 소재보다 내구성이 높다는 장점이 있다. 반도체 기업들은 3D 낸드플래시 등 고부가 제품을 생산할 때 SiC링 사용을 확대하는 추세다. 최근 삼성전자는 TEL 일본 본사에 테스트 웨이퍼를 보내는 방식으로 평가를 진행해, 식각 속도와 패턴 모양이 개선된 결과물 리포트를 받은 것으로 전해졌다. 이에 장비 도입 검토를 위한 데모 장비 설치를 계획하고 있는 것으로 알려졌다. 업계에서는 TEL 신규 식각 장비가 내후년 양산 예정인 3D 낸드플래시 V10 공정에 도입될 것으로 본다. 삼성전자가 이 식각장비 도입을 확대하면, TEL의 SiC링 비포마켓 협력사인 하나머티리얼즈 매출은 빠르게 증가할 것으로 예상된다. 현재 삼성전자 내 식각장비 점유율은 램리서치 60%, TEL 30% 수준이다. 하나머티리얼즈는 SiC링 비포마켓 사업을 하고 있다. TEL의 SiC링 파트너이기도 하다. 이와 관련, SiC링 시장은 비포마켓과 애프터마켓으로 나뉜다. 비포마켓은 SiC링을 반도체 제조기업이 아닌 장비업체에 납품하는 시장이다. 이와 달리 애프터마켓은 부품을 반도체 제조기업에 직접 납품하는 형태다. 이런 특성상 국내·외 반도체 기업이 TEL 식각장비 도입을 확대하면 하나미티리얼즈 매출도 증가하게 마련이다. 하나머티리얼즈 관계자는 ”신규 장비 도입 시 SiC링 워런티 기간이 보통 2년 정도”라며 “고객사의 장비 판매가 늘어나면 우리 매출도 증가하는 구조”라고 말했다. 삼성전자 등 국내 반도체 기업의 TEL 장비 도입 가능성이 커지면서 증권업계에서도 하나머티리얼즈 SiC 관련 실적이 증가할 것이라고 예상하고 있다. 백길현 유안타증권 연구원은 "하나머티리얼즈 SiC링 영업이익 기여도는 2022년 4% 수준에서 2023년 11%, 2024년 15%로 지속 높아지는 등 전사 성장을 견인할 것”이라고 내다봤다. 한편, 하나머티리얼즈는 지난해 4월 아산 2공장 신규 투자계획을 발표했다. 1253억원 규모 투자로 올해 8월 완공될 예정이다. 완공 후 하나머티리얼즈 연간 CAPA는 7000억~8000억 수준으로 증가할 것으로 예상된다. 신공장에서는 Si, SiC 부품 등을 양산할 것으로 알려졌다.

디일렉=노태민 기자 [email protected]
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