에프에스티가 올해 국내 반도체 제조사에 극자외선(EUV) 펠리클과 마스크 검사장비 공급에 성공했다. EUV 펠리클 납품은 아직이다. 하지만 EUV 펠리클과 관련 검사장비가 실적에 본격 기여하는 시점은 미정이다. 고객사 일정이 불확실하기 때문이다. 12일 에프에스티는 《디일렉》이 주최한 ‘어드밴스드 리소그래피&패터닝 테크 콘퍼런스 2023’에서 ‘EUV 기반 장비 및 전략’을 소개했다. 에프에스티는 반도체 소재 및 장비 업체다. EUV 펠리클과 관련 검사장비 등을 개발 또는 생산 중이다. 펠리클은 반도체 노광공정에 사용하는 포토마스크를 이물질로부터 보호하기 위한 부품이다. 정철우 에프에스티 상무는 “2011년부터 EUV 사업을 했으며 EUV 펠리클 개발을 위해 EUV 펠리클 개발용 장비까지 갖추게 됐다”라며 “10년 이상의 EUV 기술과 경험이 에프에스티의 장점”이라고 강조했다. 에프에스티는 ▲EUV 펠리클 공정 자동화 장비 ‘EPMD’ ▲EUV 펠리클 출고 검사기 ‘EPIS’ ▲EUV 포토마스크 포드 검사기 ‘EPODIS’ ▲EUV 광원 ‘EUVP’ 등을 갖추고 있다. EUV 마스크 패턴 검사기 ‘EMPIS’는 개발 중이다. EUV 펠리클은 반도체 수탁생산(파운드리) 업체 쪽에서 활용이 늘어나는 추세다. TSMC는 EUV 펠리클을 내재화한 것으로 알려졌다. 삼성전자는 일부 라인에서 시험 중인 것으로 전해졌다. 삼성전자는 지난 9월30일 기준 에스에프티 지분 7.00%를 보유했다. 현재 삼성전자가 적용한 EUV 펠리클은 에스에프티 제품은 아니다. 정 상무는 “EUV 펠리클 공급은 아직이지만 EUV 펠리클 관련 장비는 국내 업체에 공급한 상태”라며 “다만 본격적인 매출 기여는 고객사의 EUV 펠리클 활용 정도에 달렸기 때문에 시점을 특정하기는 어렵다”라고 설명했다.

디일렉=윤상호 기자 [email protected]
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