이동근 이솔 CTO 발표
"경쟁사 대비 가격 경쟁력 높아"
반도체 노광 공정에 극자외선(EUV)이 도입되면서 관련 생태계가 새롭게 구성되고 있다. EUV 장비 전문기업 이솔은 EUV 생태계에 필요한 관련 장비들을 개발하는 기업이다. 지난해에는 고객사에 EUV 마스크 리뷰 설비, EUV 펠리클 투과율 검사기 등을 공급하기도 했다.
이동근 이솔 CTO는 《디일렉》이 지난 12일 개최한 '리소그래피&패터닝 테크 콘퍼런스 2023'에서 "(반도체 공정에 EUV 노광기가 도입되면서) 전용 솔루션에 대한 수요가 증가했다"며 "이솔은 EUV 광과 반응하는 새로운 마스크, 펠리클 개발 등에 필요한 장비를 개발하고 있다"고 말했다.
EUV 공정에서 새로운 소재과 부품이 필요한 이유는 EUV 파장이 불화아르곤(ArF) 기반 심자외선(DUV) 대비 파장이 매우 짧아 대부분의 매질에 흡수되기 때문이다. EUV 파장은 13.5nm로 ArF(193nm) 파장의 7% 수준이다. 이러한 이유로 국내 기업들이 EUV용 블랭크마스크와 펠리클 개발에 박차를 가하고 있다. 이솔은 이 블랭크마스크와 펠리클을 검사하는 장비를 만드는 기업이다.
이솔은 삼성전자 반도체 사업부 출신인 김병국 대표가 지난 2018년 설립한 업체다. 이솔이라는 이름은 'EUV 솔루션'의 줄임말이다. 국내 반도체 펠리클 업체 에프에스티가 40.88% 지분을 가지고 있다.
이솔의 대표 장비는 마스크 리뷰 장비 'SREM'과 펠리클 투과율 검사 장비 'EPTR'이다. SREM은 일종의 현미경 시스템으로 EUV 광원을 이용해 EUV용 블랭크마스크와 포토마스크의 디펙을 탐지한다. EPTR은 EUV 광원을 활용해 직접 EUV 펠리클의 투과도와 반사도 등을 초고속으로 측정할 수 있도록 설계됐다.
이 CTO는 "이솔의 EUV 관련 장비가 경쟁사(자이스 등) 대비 가격 경쟁력을 가지고 있다"며 "현재 출시한 장비 외에도 신규 장비(액티닉 블랭크 검사 장비, 액티닉 패턴 마스크 검사 장비 등) 개발을 준비 중이다"라고 강조했다.
디일렉=노태민 기자 [email protected]
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