중화권 파운드리 등 5개 이상 기업과 퀄테스트 진행
SK엔펄스가 SK하이닉스에 불화아르곤(Arf)용 블랭크마스크를 지난해부터 공급 중인 것으로 확인됐다. 국내 기업이 블랭크마스크 사업화에 성공한 것은 에스앤에스텍에 이어 두 번째다. 후발주자인 SK엔펄스는 고부가 제품인 Arf용 위상변위마스크(PSM) 집중하고 있다. 올해는 중화권 시장 공략을 목표하고 있다. 현재 5개 이상의 중화권 기업과 퀄테스트를 진행하고 있는 만큼, 연내 중화권 공급이 시작될 확률도 높다.
6일 업계에 따르면 SK엔펄스는 지난해부터 SK하이닉스에 Arf용 블랭크마스크를 공급 중이다. 2018년 블랭크마스크 사업을 시작한 후 첫 성과다. SKC는 지난 2018년부터 430억원을 투자해 2019년 말 블랭크마스크 공장을 완공했다. 양산이 늦어진 데에는 코로나19, 높은 난도 등이 영향을 끼친 것으로 추정된다. SK엔펄스는 SKC의 100% 자회사다.
블랭크마스크 업계 관계자는 "SK엔펄스의 경우 블랭크마스크 사업을 시작할 때부터 고부가 시장인 Arf, PSM 시장을 타깃으로 했다"며 "지난해부터 양산을 시작해 SK하이닉스에 소량 공급 중"이라고 말했다.
블랭크마스크는 웨이퍼에 반도체 회로를 새기기 위한 포토마스크의 원재료다. 고순도 쿼츠를 가공해 생산한다. 국내에서는 SK엔펄스와 에스앤에스텍이 양산 중이다.
블랭크마스크는 크게 두 가지 제품군으로 나뉜다. 위상 반전막이 없는 바이너리(BIN) 제품과 위상 반전막이 있는 PSM이다. 위상 반전막은 노광 장비의 빛을 투과하는 막으로, 노광기 빛의 세기를 감쇠시키는 역할을 한다. 빛의 세기가 너무 강하면 패턴 미세화가 어려움이 생기며, 위상 반전막을 통해 조절한다. SK엔펄스는 고부가 제품인 PSM에 집중하고 있다.
해외 판로 확대도 꾀하고 있다. 현재, SK엔펄스는 현재 중화권 파운드리와 마스크샵에 블랭크마스크를 공급하고 퀄테스트를 진행 중이다. 업계 관계자는 "SK엔펄스가 SMIC와 중국, 대만 마스크샵 등 5개 이상의 기업에서 퀄테스트를 진행 중인 것으로 알고 있다"고 전했다.
중화권 기업에 블랭크마스크 공급 을 본격화하게 되면 SK엔펄스 매출은 대폭 늘어날 것으로 예상된다. 최근 중국의 반도체 굴기 등 영향으로 중국 내 블랭크마스크 수요가 크게 증가했기 때문이다. 국내 블랭크마스크 기업 에스앤에스텍의 경우, 지난해 매출(1503억원)과 영업이익(250억원)이 전년동기대비 각각 21.7%, 56.4% 증가한 바 있다.
한편, SKC는 자회사 SK엔펄스의 파인세라믹스 사업부를 지난달 31일 한앤컴퍼니(한앤코)에 3600억원 금액에 양도했다. SKC는 "양도 대금을 고부가가치 소재 및 부품 중심의 반도체 사업 재편에 활용하겠"는 입장을 내놨다. 한앤코는 파인세라믹스 양수 후 솔믹스로 사명을 바꿨다.
디일렉=노태민 기자 [email protected]
《반도체·디스플레이·배터리·전장·ICT·게임·콘텐츠 전문미디어 디일렉》
