마이크론 인도 구자라트 후공정 팹에 셋업 중
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에스에프에이가 마이크론에 500억원 규모 웨이퍼이송장치(OHT)와 스토커(Stocker)를 공급한다. 13일 업계에 따르면 에스에프에이가 마이크론의 인도 구자라트 팹에 OHT와 스토커 장비를 설치 중이다. 현재 500억원 규모 계약이지만, 향후 최대 700억원까지 확대될 수 있는 것으로 파악됐다. OHT는 웨이퍼를 운송용기(FOUP)에 담아 각 반도체 공정 장비로 이송하는 물류 설비다. 팹 천장에 레일을 설치하고, 이 레일을 따라 FOUP이 움직이는 형태다. 스토커는 FOUP을 보관하는 일종의 창고로 OHT와 연계되는 구조로 설치된다. 현재 에스에프에이의 OHT, 스토커 장비는 후공정 팹과 중간 물류에만 공급되고 있다. 향후 전공정 팹까지 공급하는 게 목표다. 에스에프에이가 마이크론에 OHT와 스토커 장비를 공급한 건 이번이 처음이 아니다. 마이크론 싱가포르 팹과 말레이시아 페낭 팹에도 에스에프에이 설비들이 구축됐다.디일렉=노태민 기자 [email protected]
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