엑스레이 검사장비 전문 기업 자비스가 유리 기판 시장에 진출한다. 지난 몇 년 동안 캐시카우 역할을 했던 배터리뿐 아니라 반도체로의 사업 영역 확대를 추진한다는 점에서 의미가 있다. 고객사 확보가 관건이 될 전망이다.
19일 업계에 따르면 자비스는 국내 반도체 S사에 유리기판 검사장비 공급을 추진하고 있다. 유리에 구멍을 뚫는 TGV(Through Glass Via) 공정 이후 구리 배선이 제대로 형성됐는지 살펴보는 검사장비가 대상이다. 현재 공급 논의가 이뤄지고 있다. 아직 개발은 완료되지 않았다. 고객사 의견을 받아 장비에 적용하는 단계다.
유리 기판은 차세대 반도체 패키지 기판인 FC-BGA(Flip-chip Ball Grid Array) 코어층 소재로 각광받고 있다. 그간 사용했던 유리섬유 강화 에폭시 레진과 비교해 열에 의한 휘어짐 문제가 적다. 세밀한 회로 형성도 가능하다. 인공지능(AI) 반도체는 집적도가 높아 다이(Die) 크기를 키워야 한다. 복잡한 미세 회로를 감당할 수 있는 기판이 필수적이다.
자비스가 개발하고 있는 검사장비는 전극을 만들기 위해 유리에 구멍을 뚫는 TGV 공정 이후, 이 구멍에 적용하는 구리 배선이 제대로 형성됐는지 살펴보는 것이다. 구멍 속을 구리로 채우는 도금 기술이 핵심이다. 구멍을 구리로 채워 기밀성이 갖춰지지 못하면 배선 패턴을 그릴 때 가스 등의 기체가 파고들어 레이어를 올리기가 어려워진다.
자비스는 기존 검사장비 외에 방사선 치매치료 의료기기, 국방부 국책과제인 폭발물 탐지·제거 로봇용 엑스레이 모듈 사업도 진행하고 있다. 방사선 치매치료기기는 시제품을 납품 후 임상을 준비하고 있다. 폭발물 탐지·제거 로봇용 엑스레이 모듈은 시제품 개발에 성공했다. 자회사인 자비스옵틱스는 대면적 30나노 공간 해상도를 가진 자동화 3D 엑스선 현미경을 개발한 바 있다.
자비스는 상반기 누적 연결기준 매출 234억원, 영업이익 20억원, 당기순이익 16억원을 기록했다. 전년 동기 대비 매출이 155% 증가했다. 창사 이래 최대 실적이다. 누적 영업이익도 20억원으로 개선했다. 당기순이익 흑자전환에도 성공했다.
자비스 관계자는 "배터리 검사장비의 고객사 검수 완료와 해외 수출 증가가 상반기 최대 매출 달성에 크게 기여했다"면서 "반도체는 기존 2D 엑스레이와 3D CT 장점을 결합한 하이브리드 검사장비의 개발을 완료해 고객사와 수주를 기대하고 있다"고 말했다.
디일렉=이수환 전문기자 [email protected]
《반도체·디스플레이·배터리·전장·ICT·게임·콘텐츠 전문미디어 디일렉》
