APS는 반도체패키지테스트업체(OSAT) 앰코에 칠러를 납품한다고 8일 밝혔다. APS가 지난 8월 인수한 반도체 다이싱 업체 SR이 칠러를 제작하고, APS가 앰코에 공급한다.
APS가 앰코와 거래하는 것은 이번이 처음이다. APS가 앰코 협력사로 등록된 것도 며칠 전이다. SR은 APS에 인수되기 전에도 앰코 협력사로 등록돼 있었지만, 평가 목적 외에 실제 적용하기 위한 장비를 제작하는 것은 이번이 처음이다.
APS 관계자는 "이번에 공급하는 칠러는 반도체 생산 공정에서 발생하는 열을 효과적으로 제어하고 생산효율을 높일 것"이라며 "기존 공정에 추가 도입되는 설비인데, 효과가 검증되면 기존 라인에 확대 적용될 수 있을 것"이라고 기대했다. 그는 "지난 8월 SR 인수 두 달 만의 성과"라며 "APS 영업망으로 시너지를 창출한 첫 사례"라고 강조했다.
APS는 칠러 추가 수주를 노리면서, 반도체 후공정 제품 라인업을 확대할 계획이다. 지난 8월 APS는 "SR의 블레이드 방식 쏘 장비에 APS 레이저 기술을 접목한 레이저 쏘 장비를 개발해 제품 라인업을 확대하겠다"고 밝힌 바 있다.
SR은 반도체 웨이퍼 절단 공장에서 사용하는 '다이싱 쏘'(Dicing Saw)를 만든다. SR은 일본 디스코(Disco)가 독점해온 반도체 웨이퍼 절단용 쏘 장비를 국내 최초로 국산화했다.
SR은 쏘 장비 관련 기술도 자체 개발했다. J-CET 등 후공정 업체에 납품한 이력이 있다. 삼성전기 카메라 모듈용 쏘 장비와 현대자동차 헤드램프에 적용하는 마이크로렌즈어레이(MLA) 쏘 장비 등을 국내 대기업 공급망에 공급했다.
디일렉=이기종 기자 [email protected]
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