한국머크가 10일 경기 안성시에 한국SOD어플리케이션센터(KSAC)를 열었다. SOD는 ‘Spin On Dielectric’의 머릿글자를 딴 말로, 직역하면 ‘회전 코팅 방식의 절연막’이다.
SOD어플리케이션센터가 한국에 설립된 것은 일본에 이어 아시아에선 두 번째다. SOD의 소재를 측정하고 분석할 수 있는 첨단 장비를 대거 갖춘 이 곳은 머크의 글로벌 연구개발(R&D) 네트워크 가운데 하나로 운영된다.
SOD는 회전 방식으로 절연 물질을 웨이퍼 위에 도포하는 것으로 막 두께를 얇고 고르게 형성할 수 있다. 전기적 간섭을 줄여 고밀도 회로 구현에 적합하다.
개소식에는 카이 베크만 머크 본사 전자사업 부문 최고경영자(CEO), 슈레시 라자라만 글로벌 박막사업 부문 수석부사장, 김우규 한국머크 대표, 김동연 경기도 지사, 김보라 안성시장, 박성준 삼성전자 소재개발부문 부사장, 길덕신 SK하이닉스 기반기술센터 소재개발부문 부사장 등이 참석했다.
라자라만 수석부사장은 “센터의 개소로 한국과 아시아 태평양 지역 고객사들의 요청에 대한 기민한 대응, 첨단 고순도 SOD의 개발과 안정적인 공급이 기대된다“고 말했다.
머크는 2022년 말 ‘레벨 업’ 성장 프로그램의 일환으로 2025년까지 한국에 약 6억 유로(우리돈 약 8900억원) 규모의 투자 계획을 발표했다. 현재까지 절반 넘게 투자가 이뤄졌다.
1668년 설립된 머크는 반도체, 디스플레이 박막 기술 분야에서 원자층 증착공정(ALD), 화학 증착공정(CVD), 회전 코팅 방식의 절연막(SOD)의 역량을 보유한 기업으로 주목받는다. 한국머크는 1989년 설립됐다.