삼성디스플레이의 IT 제품용 8.5세대 OLED 건식 식각장비 시장을 놓고 원익IPS, 아이씨디, 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 3파전에 돌입했다. 장비를 먼저 개발하는 업체가 시장을 선점할 수 있을 전망이다. 10일 업계에 따르면 원익IPS와 아이씨디, 일본 TEL 세 곳이 삼성디스플레이가 검토 중인 IT 제품용 8.5세대 유기발광다이오드(OLED) 패널 생산을 위한 건식 식각장비(드라이 에처·Dry Etcher) 개발에 돌입한 것으로 파악됐다. IT 제품은 태블릿과 노트북, 모니터 등을 가리킨다. 삼성디스플레이가 현재 검토 중인 IT용 8.5세대(2200x2500mm) OLED 패널은 기존 6세대(1500x1850mm) OLED 패널보다 경제성 면에서 유리하다. 건식 식각장비는 디스플레이 전공정인 박막트랜지스터(TFT) 공정에서 전극(게이트·소스·드레인) 배선을 만들 때 사용하는 장비다. 건식 식각장비는 배선을 얇고 조밀하게 형성할 때 습식 식각장비(웻 에처·Wet Etcher)보다 유리하다. 화면 크기가 10인치 이상 비중이 큰 IT 제품의 OLED에서 적(R)녹(G)청(B) 개별 화소를 기판에 촘촘히 박아 고해상도 화면을 구현하려면 건식 식각장비가 적합하다. 삼성디스플레이가 양산 중인 6세대 중소형 OLED 패널의 배선 형성에도 건식 식각장비가 주로 사용된다. 6세대 OLED용 건식 식각장비는 원익IPS와 아이씨디, TEL 세 업체가 모두 공급해왔다. 삼성디스플레이의 고객사인 삼성전자와 애플 등이 IT 제품에 OLED 적용을 늘릴 예정이어서 8.5세대용 건식 식각장비를 먼저 개발하는 업체는 시장 선점을 기대할 수 있다. 업계 관계자는 "원익IPS와 아이씨디의 기술력이 TEL 못지 않게 좋아졌다는 평가를 받고 있다"고 전했다. 건식 식각장비 외에 8.5세대 OLED 패널 생산에 필수인 파인메탈마스크(FMM·섀도마스크) 개발도 본격화되고 있다. FMM은 유기물을 증착할 때 사용하는 얇은 금속 마스크다. 삼성디스플레이 6세대 OLED용 FMM 시장을 독점 중인 일본 다이니폰프린팅(DNP)이 지난 2분기부터 8.5세대용 FMM 개발에 돌입한 것으로 알려졌다. 유기물 증착 공정에서 FMM을 팽팽하게 당겨 고정하는 인장기는 8.5세대용으로 힘스 등이 개발할 것으로 예상된다. 장비업계에선 기술 개발과제가 남아 있지만 이르면 내년께 삼성디스플레이가 IT용 8.5세대 OLED 생산라인 투자에 나설 것으로 점치고 있다. 애플의 2022년과 2023년 아이패드용 OLED 패널 요청 물량은 많지 않은 것으로 알려졌지만 애플 로드맵에 따르면 OLED 노트북 등의 출시도 뒤따를 전망이어서다. 삼성전자도 태블릿과 노트북 등 IT 제품의 OLED 적용에 적극적이다. 삼성전자 무선사업부는 최근 스마트폰 시장에서 입지가 위축돼 OLED IT 제품으로 기술 선도력과 매출 규모를 유지할 계획인 것으로 알려졌다. 삼성디스플레이는 이미 태블릿과 노트북용 OLED를 양산 중이고, 올해 노트북용 OLED 패널 출하량 목표도 400만대에서 550만~600만대로 최근 높여 잡았다.

삼성디스플레이는 내년부터 애플에 납품할 아이패드용 OLED 패널은 기존 A3, 삼성전자 등에 공급 중인 노트북용 OLED 패널은 기존 A2 라인에서 생산 가능한 것으로 알려졌다. 기존 라인 생산능력을 넘어서는 물량 요청이 현실화하면 삼성디스플레이의 대규모 투자와 장비업계 수혜가 뒤따를 것으로 보인다. (▶참조기사: [디일렉] '1년째 소문만 무성'…삼성·LGD IT용 OLED 대규모 투자 언제쯤?)

한편, 8.5세대 유리원장은 6세대 유리원장보다 한번에 더 많은 패널을 만들 수 있다. 13.3인치 패널의 경우 6세대 원장에선 48대를 만들 수 있지만 8.5세대에선 96대(하프컷 48대씩) 제작이 가능하다. 유리원장에서 생산할 수 있는 패널 숫자가 커지면 경제성이 높아져 생산단가를 낮출 수 있다. 현재 OLED를 프리미엄 IT 제품 위주로 적용하는 것도 가격부담 때문이다.