엘에스이가 SK하이닉스에 고대역폭메모리(HBM)용 실리콘관통전극(TSV) 세정 장비를 셋업 중인 것으로 확인됐다. SK하이닉스가 올해 TSV 공정에 대규모 투자를 예고한 만큼, 엘에스이 실적도 전년대비 개선될 것으로 기대된다.  15일 업계에 따르면 엘에스이가 SK하이닉스와 진행한 HBM용 TSV 세정 장비 퀄테스트를 통과해 고대역폭메모리(HBM)용 실리콘관통전극(TSV) 세정 장비 공급을 시작했다. 초도 물량은 총 2대로 현재 청주캠퍼스에 TSV 라인에 셋업되고 있다.  엘에스이는 지난 2022년 엘티씨가 무진전자 반도체장비사업부를 461억원에 인수하면서 신설한 자회사다. 엘티씨가 87.8% 지분을 보유 중이다. 업계 관계자는 "엘에스이가 올해 초부터 청주에 HBM용 TSV 세정 장비를 셋업 중인 것으로 알고 있다"며 "현재 셋업 중인 물량 외에도 추가로 2대 정도 주문이 있다"고 말했다.  업계에서는 SK하이닉스가 엘에스이의 신규 장비 도입을 더욱 늘릴 것으로 보고 있다. SK하이닉스가 올해 HBM 생산능력 확대를 위해 대규모 TSV 투자 의사를 밝혔기 때문이다. SK하이닉스는 지난 1월 개최한 2023년 4분기 실적발표 컨퍼런스콜에서 "수요 가시성 확보 하에 작년 대비 올해 TSV 캐파를 약 2배 확대할 계획"이라고 밝힌 바 있다. 또, 양사 관계도 SK하이닉스가 엘에스이 장비 도입을 늘릴 것이라는 관측이 나오게 하는 이유 중 하나다. 양사는 지난 2021년 있었던 무진전자 임직원들의 SK하이닉스 반도체 제조 및 세정 기술 유출 전까지 끈끈한 협력 관계를 유지한 바 있다. 양사 관계는 엘티씨가 무진전자 장비사업부를 인수한 이후, 서서히 회복되고 있는 상황이다. 올 하반기에는 지난해 지연됐던 엘에스이 세정 장비 출하도 재개될 것이라는 전망도 나오고 있다. 업계 관계자는 "엘에스이는 지난해에만 SK하이닉스로부터 1000억원에 가까운 구매주문(PO)을 받았었다"며 "지난해 반도체 업황 악화로 대부분의 주문이 지연됐는데 올해 이 장비들의 출하가 재개될 가능성도 높다"고 설명했다.  한편, 엘에스이의 지난해 3분기 누적 기준 매출액은 343억원이다. 당기순손실은 106억원을 기록했다. 주요 고객사인 SK하이닉스의 설비 투자 축소 여파다. 2022년에는 매출액 1138억원, 당기순이익 19억원을 거뒀다. 

디일렉=노태민 기자 [email protected]
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