반도체 위탁생산(파운드리) 업체인 TSMC가 올 3분기 5나노미터(nm) 공정 첫 실적을 냈다. 15일(현지시간) TSMC 3분기 실적 발표에 따르면 매출은 3564억3000만 대만달러(NTD, 약 14조2천억원)를 기록했다. 미화로는 약 121억4000만달러다. 이번 매출은 작년 3분기 대비 21.6% 증가, 지난 2분기 대비 14.7% 늘어난 것이다. 영업이익률은 42.1%로 1500억달러(약 5조9830억원)를 넘었다. 순이익은 1373억1000만달러(약 5조4600억원)에 달했다.  컨퍼런스콜에서 웬델 황 TSMC의 부사장 겸 최고재무책임자(CFO)는 "3분기 공장 가동률이 예상 보다 훨씬 높았다. 3분기 매출총이익율이 53.4%를 달성했다. 5나노 초기 시설 투자 비용 지출에 따라 발생된 총이익 감소를 상쇄하는데 도움이 됐다"며 "내년에도 올해와 마찬가지로 5나노 공정은 전체 총이익율을 2~3% 감소시킬 것으로 본다. 향후 5나노 매출이 총이익율 평균인 50%에 도달하는 데 약 7~8분기가 소요될 것으로 예상된다"고 설명했다. TSMC는 올 하반기부터 본격적인 5나노 공정 기반 반도체 생산에 들어갔다. TSMC가 5나노 공정에서 매출을 내기 시작한 것은 이번 3분기가 처음이다. 3분기 전체 매출에서 5나노 공정이 차지하는 비중은 8%다. 그 밖에 7나노에서 35%, 16나노에서 18%를 차지함으로써 16나노 이하 초미세공정이 전체 매출의 61%에 달한다.  5나노 매출에는 5G 스마트폰 애플리케이션 프로세서(AP), 고성능컴퓨팅(HPC), 사물인터넷(IoT) 등의 수요가 견인했다. 특히 애플의 아이폰12 시리즈용 A14 바이오닉 칩셋을 위탁생산한 가운데 AMD, 미디어텍, 퀄컴 등 주요 고객사의 주문이 포함된 실적으로 관측된다.  올해 TSMC는 5나노 공정 미만 생산을 위해 막대한 투자를 했다. 지난 5월 TSMC는 미국 애리조나주에 120억 달러(약 14조 7500억원)를 투자한 극자외선(EUV) 기반 5나노 공정 최첨단 반도체 공장 건설 계획을 밝혔다. 이 공장은 내년에 착공해 2024년 가동될 예정이다. 3분기는 EUV 공급업체인 ASML로부터 경쟁사인 삼성전자 보다 많은 장비를 구입했다. ASML에 따르면 EUV 장비 구입 비중이 TSMC 47%, 삼성전자 26%이라고 밝혔다. EUV 장비는 대당 1500억원에 달하는 고가의 장비다.  TSMC는 4나노와 3나노 공정 계획도 밝혔다. 4나노는 5나노 공정의 호환 가능한 설계 규칙을 사용해서 구축할 계획이다. 4나노 첫 생산은 내년 4분기 또는 2022년 양산을 목표로 한다고 밝혔다. 3나노는 5나노 보다 집적도가 최대 70% 향상, 성능 15% 향상, 전력 30% 감소될 것을 목표로 한다. 업계에 따르면 TSMC는 3나노 공정 제조에 엔비디아, 그래프코어 등의 고객사를 확보한 것으로 알려졌다.   시장조사업체 트렌드포스에 따르면 3분기 글로벌 파운드리 점유율은 TSMC가 53.9%를, 삼성전자는 17.4%를 기록했다.